下载一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机的技术资料

文档序号:21450579

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。

本发明属于微型气体压缩机技术领域,具体涉及一种串联腔体阵列式微型压电气体压缩机,整体由外套、冷却套、上板、中间板、下板、密封圈、单向阀、第四单向阀、压电振子构成;上板的下端面与中间板的上端面之间从左到右依次安装有第一压电振子和第三压电振子,...
该专利属于浙江师范大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江师范大学授权不得商用。

详细技术文档下载地址

温馨提示:您尚未登录,请点 登陆 后下载,如果您还没有账户请点 注册 ,登陆完成后,请刷新本页查看技术详细信息。