单晶炉石英坩埚的升降装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及单晶炉石英坩埚的升降装置，包括底座，所述底座上固定设有固定杆和固定板，固定杆顶部固定安装有电机一，电机一的输出轴一端部固定安装有转盘，转盘的半圆周上焊接有卡齿一，固定板顶部固定安装有单晶炉，底座上活动贯穿设有L滑杆，L滑杆侧壁上固定套设有横板一，横板一与底座之间的L滑杆侧壁上套设有弹簧，L滑杆底部固定连接有横板二，L滑杆之间固定有框体，框体内壁左右对称焊接有与卡齿一啮合的卡齿二，框体顶部固定有支撑杆，支撑杆顶部活动贯穿单晶炉底部与坩埚托盘固定连接，坩埚托盘上固定设有石英坩埚；本实用新型专利技术提供的技术方案有效弥补了现有单晶炉石英坩埚的升降装置存在的操作不便，调试过程复杂的缺陷。

【技术实现步骤摘要】
单晶炉石英坩埚的升降装置
本技术涉及单晶炉
，尤其涉及单晶炉石英坩埚的升降装置。
技术介绍
单晶炉是一种在惰性气体(氮气、氦气为主)环境中，用石墨加热器将多晶硅等多晶材料熔化，用直拉法生长无错位单晶的设备。石英坩埚，具有高纯度、耐温性强、尺寸大精度高、保温性好、节约能源、质量稳定等优点，应用越来越广泛。石英坩埚的检测工作是一个十分重要的环节，而且石英坩埚的检测朝向现场检测方向发展。石英坩埚是生产单晶硅的单晶炉中的重要部件。然而现有的单晶炉中，石英坩埚固定安装在单晶炉内，石英坩埚在竖直方向上的高度无法进行调节；因此当石英坩埚内液体较少时，析出的单晶硅位于单晶炉内较低的位置，造成单晶硅的取出困难。在公开号CN207347692U，公开日期为2018年5月11日的技术专利中公开了一种能够对单晶炉内石英坩埚在竖直方向上的高度可以调节的单晶炉石英坩埚的升降装置。该单晶炉石英坩埚的升降装置，包括坩埚托盘；坩埚托盘下方设置有拖杆；拖杆穿过单晶炉的底部；单晶炉下方设置有坩埚旋转系统；拖杆与坩埚旋转系统传动连接；单晶炉内腔底部设置有环形凸台；环形凸台的内圈内设置有与环形凸台螺纹配合的旋转套；旋转套与坩埚托盘通过离合器连接；拖杆上设置有离合器的控制装置。采用该单晶炉石英坩埚的升降装置，便于单晶炉内单晶硅的取出，便于对设备的安装调试。但现有的单晶炉石英坩埚的升降装置存在操作不便，调试过程复杂的缺陷。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对上述存在的问题，本技术提出了单晶炉石英坩埚的升降装置。本技术所提供的技术方案能够在一定程度上有效弥补上述缺陷。(二)技术方案为了实现上述的目的，本技术采用以下的技术方案:单晶炉石英坩埚的升降装置，包括底座，所述底座上固定设有固定杆和固定板，所述固定杆顶部固定安装有电机一，所述电机一的输出轴一端部固定安装有转盘，所述转盘的半圆周上焊接有卡齿一，所述固定板顶部固定安装有单晶炉，所述底座上活动贯穿设有L滑杆，所述L滑杆侧壁上固定套设有横板一，所述横板一与所述底座之间的所述L滑杆侧壁上套设有弹簧，所述L滑杆底部固定连接有横板二，所述L滑杆之间固定有框体，所述框体内壁左右对称焊接有与所述卡齿一啮合的卡齿二，所述框体顶部固定有支撑杆，所述支撑杆顶部活动贯穿所述单晶炉底部与坩埚托盘固定连接，所述坩埚托盘上固定设有石英坩埚。优选的，所述电机一为伺服电机，且所述电机一与外部电源电性连接。优选的，所述弹簧的两端分别固定在所述横板一底部和所述底座顶部。优选的，所述框体的高度大于所述转盘的周长。优选的，所述框体顶部与所述单晶炉底部之间的距离大于等于所述框体的高度。优选的，所述底座底部固定设置有支腿，所述单晶炉侧壁上铰接有门体。优选的，所述单晶炉侧壁上固定设置有电机二，所述电机二的输出轴二侧壁上固定套设有齿轮一，所述单晶炉顶部通过内嵌轴承与转动轴垂直插接，所述转动轴侧壁上固定套设有与所述齿轮一垂直啮合的齿轮二，所述输出轴二与所述转动轴端部均固定安装有叶片。(三)有益效果由于采用上述的技术方案，本技术的有益效果是：本技术通过电机一的正常工作，不需要重复改变电机一转向，仅控制电机一的开启和关闭即可实现石英坩埚在竖直位置上的上下往复运动，操作简单，设计合理，有效的克服了现有技术存在的缺陷，值得推广。此外，装置需要从方便移动的状态(图1)变换到固定状态时，转动滚轮，使得L铁杆的横杆与滚轮上的其中一个通孔位于一条直线上时，在放置盒内放入磁块，磁块吸引L铁杆的横杆，使得L铁杆向滚轮方向移动，最后，横杆穿过通孔，吸附在磁块上，限制了滚轮的自由移动，如此，实现了装置从移动状态向固定状态的转变，操作简单，设计合理。附图说明为了更清楚地说明本技术实施例或现有技术中的技术方案，下面将对实施例或现有技术描述中所需要使用的附图作简单地介绍，显而易见地，下面描述中的附图仅仅是本技术的一些实施例，对于本领域普通技术人员来讲，在不付出创造性劳动的前提下，还可以根据这些附图获得其他的附图。图1为本技术的结构示意图；图2为A部局部放大结构示意图；图3为B部局部放大结构示意图；其中：1、底座；2、固定杆；3、电机一；4、转盘；5、卡齿一；6、L滑杆；7、横板一；8、弹簧；9、横板二；10、框体；11、卡齿二；12、支撑杆；13、单晶炉；14、坩埚托盘；15、石英坩埚；16、支腿；17、电机二；18、齿轮一；19、转动轴；20、齿轮二；21、叶片。具体实施方式为使本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例，对本技术实施例中的技术方案进行清楚、完整地描述。基于本技术的实施例，本领域普通技术人员在没有作出创造性劳动前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。单晶炉石英坩埚的升降装置，如图1-3所示：包括底座1，所述底座1上固定设有固定杆2和固定板，固定杆2顶部固定安装有电机一3，电机一3的输出轴一端部固定安装有转盘4，转盘4的半圆周上焊接有卡齿一5，固定板顶部固定安装有单晶炉13，底座1上活动贯穿设有L滑杆6，L滑杆6侧壁上固定套设有横板一7，横板一7与底座1之间的L滑杆6侧壁上套设有弹簧8，L滑杆6底部固定连接有横板二9，L滑杆6之间固定有框体10，框体10内壁左右对称焊接有与卡齿一5啮合的卡齿二11，框体10顶部固定有支撑杆12，支撑杆12顶部活动贯穿单晶炉13底部与坩埚托盘14固定连接，坩埚托盘14上固定设有石英坩埚15。电机一3为伺服电机，且电机一3与外部电源电性连接，弹簧8的两端分别固定在横板一7底部和底座1顶部，框体10的高度大于转盘4的周长，框体10顶部与单晶炉13底部之间的距离大于等于框体10的高度，底座1底部固定设置有支腿16，单晶炉13侧壁上铰接有门体，单晶炉13侧壁上固定设置有电机二17，电机二17的输出轴二侧壁上固定套设有齿轮一18，单晶炉13顶部通过内嵌轴承与转动轴19垂直插接，转动轴19侧壁上固定套设有与齿轮一18垂直啮合的齿轮二20，输出轴二与转动轴19端部均固定安装有叶片21。电机一3和电机二17型号为EDSMT-2T130-040B，通过导线并联在外部电源上。开启电机一3，电机一3带动转盘4转动，转盘4侧壁上的卡齿一5与卡齿二11啮合，带动框体10向上运动(在底座1具有一定厚度，保证了L滑杆6在底座1上上下滑动的正常进行)，框体10通过支撑杆12带动坩埚托盘14向上移动，从而石英坩埚15向上移动，当框体10移动到最高处时(转盘4从图1位置逆时针转动180°)，关闭电机一3，打开单晶炉13侧壁上的门体，便于将石英坩埚15内的单晶硅取出；开启电机一3，电机一3带动转盘4转动，转盘4侧壁上的卡齿一5与卡齿二11啮合，带动框体10向下上运动，框体10通过支撑杆12带动坩埚托盘14向下移动，最终石英坩埚15回到原位；本技术通过电机一3的正常工作，不需要重复改变电机一3转向，仅控制电机一3的开启和关闭即可实现石英坩埚15在竖直位置上的上下往复运动，操作简单，设计合理，有效的克服了现有技术存在的缺陷。当石英坩埚15运动到单晶炉13顶部时，开启电机二17，电机二17带动齿轮一18和叶片21转动，齿轮一18与齿轮二20啮合，带本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上固定设有固定杆(2)和固定板，所述固定杆(2)顶部固定安装有电机一(3)，所述电机一(3)的输出轴一端部固定安装有转盘(4)，所述转盘(4)的半圆周上焊接有卡齿一(5)，所述固定板顶部固定安装有单晶炉(13)，所述底座(1)上活动贯穿设有L滑杆(6)，所述L滑杆(6)侧壁上固定套设有横板一(7)，所述横板一(7)与所述底座(1)之间的所述L滑杆(6)侧壁上套设有弹簧(8)，所述L滑杆(6)底部固定连接有横板二(9)，所述L滑杆(6)之间固定有框体(10)，所述框体(10)内壁左右对称焊接有与所述卡齿一(5)啮合的卡齿二(11)，所述框体(10)顶部固定有支撑杆(12)，所述支撑杆(12)顶部活动贯穿所述单晶炉(13)底部与坩埚托盘(14)固定连接，所述坩埚托盘(14)上固定设有石英坩埚(15)。

【技术特征摘要】
1.一种单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于：包括底座(1)，所述底座(1)上固定设有固定杆(2)和固定板，所述固定杆(2)顶部固定安装有电机一(3)，所述电机一(3)的输出轴一端部固定安装有转盘(4)，所述转盘(4)的半圆周上焊接有卡齿一(5)，所述固定板顶部固定安装有单晶炉(13)，所述底座(1)上活动贯穿设有L滑杆(6)，所述L滑杆(6)侧壁上固定套设有横板一(7)，所述横板一(7)与所述底座(1)之间的所述L滑杆(6)侧壁上套设有弹簧(8)，所述L滑杆(6)底部固定连接有横板二(9)，所述L滑杆(6)之间固定有框体(10)，所述框体(10)内壁左右对称焊接有与所述卡齿一(5)啮合的卡齿二(11)，所述框体(10)顶部固定有支撑杆(12)，所述支撑杆(12)顶部活动贯穿所述单晶炉(13)底部与坩埚托盘(14)固定连接，所述坩埚托盘(14)上固定设有石英坩埚(15)。2.根据权利要求1所述的单晶炉石英坩埚的升降装置，其特征在于，所述电机一(3)为伺服电机，且所述电机一(3)与外部电源电性连接...

【专利技术属性】
技术研发人员：吕金虎，
申请(专利权)人：东海县太阳光新能源有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32