一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉制造技术

本实用新型专利技术实施例涉及一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉，多室卧式真空炉包括炉体、加热反应器、反应冷却装置、冷却收集器、收集冷却装置和抽真空装置；可移动半炉体与固定半炉体机械连接，使固定半炉体与可移动半炉体之间实现紧密贴合；固定半炉体内固设一个或多个加热反应器；反应冷却装置安装于固定半炉体的炉壁内，用以对固定半炉体的炉壁进行冷却降温；每个加热反应器均通过法兰连接一个冷却收集器，且法兰连接处通过密封圈密封；收集冷却装置设置在可移动半炉体的炉壁内，用以对可移动半炉体和冷却收集器进行冷却降温；抽真空装置分别与多个加热反应器和冷却收集器相连通，用以对加热反应器和冷却收集器内进行抽真空。

A Multi-chamber Horizontal Vacuum Furnace for Silicon Monoxide Production

【技术实现步骤摘要】
一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉
本技术涉及硅氧化合物的生产
，尤其涉及一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉。
技术介绍
一氧化硅是一种宽带隙半导体光学材料，是用于制备光学镀膜、锂离子电池负极材料的重要原料，其制备方法多为将金属硅与氧化硅的混合物在真空和高温下反应，生产一氧化硅的蒸汽，在低温下沉积。早期的一氧化硅生产装置仅是一个高氧化铝瓷质耐火管，其常开的一端内壁衬有钼质或镍质衬片，工作时，将混合好的二氧化碳和硅的混合原料置于管内封闭的一端，耐火管封闭抽真空后，直接在空气中加热管子表面，原料汽化后，沉积在耐火管另一端的钼片或镍片上，这种生产装置，由于直接在空气中加热高氧化铝瓷质耐火管，而其内又是抽真空的，因此很容易破裂，且生产效率低。目前，国内一氧化硅的生产设备多为单体式真空炉，产量低，且耗能高，同时，现有技术中单体式真空炉的密封性较差，批次稳定很差，此外，采用单体式真空炉加热时间较长，且等待冷却的时间也较长，无法实现一炉体同工同时的量产工作，对行业的大量需求表现极弱，尤其不能满足锂离子电池硅基负极材料的发展。因此，急需一种能够解决上述问题的生产一氧化硅的多室卧式真空炉。
技术实现思路
本技术的目的是针对现有技术存在的问题，提供一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉，多个真空炉集于一套系统内同时加热收集，产量高，且在生产过程中不需要停止加热，稳定性强，一套多室卧式真空炉工作，炉体打开关闭时采用定向移动滑轮，进出料方便，实现了设备的连续工作，提高了生产效率，能够更好的满足行业需求。为实现上述目的，本技术提供了一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉，所述多室卧式真空炉包括：炉体，包括固定半炉体和可移动半炉体；所述可移动半炉体与所述固定半炉体机械连接，使所述固定半炉体与所述可移动半炉体之间实现紧密贴合；加热反应器，所述固定半炉体内固设一个或多个所述加热反应器；反应冷却装置，装置于所述固定半炉体的炉壁内；冷却收集器，每个所述加热反应器均通过法兰连接一个所述冷却收集器，且法兰连接处通过密封圈密封；收集冷却装置，所述收集冷却装置设置在所述可移动半炉体的炉壁内；抽真空装置，所述抽真空装置分别与多个所述加热反应器和所述冷却收集器相连通。优选的，所述加热反应器包括加热反应罐体、加热装置和保温装置；所述加热反应罐体设置于所述固定半炉体内；所述加热装置环设于所述加热反应罐体的外侧表面上，对所述加热反应罐体内的所述原材料进行加热；所述保温装置设置于所述加热反应罐体与所述加热装置之间。进一步优选的，所述冷却收集器包括收集罐体；所述收集罐体的一端为开口端，所述收集罐体的另一端为封闭端，所述开口端的直径大于所述封闭端的直径；所述收集罐体与所述加热反应罐体之间通过所述法兰连接，且法兰连接处采用所述密封圈密封。优选的，所述收集冷却装置与多个所述冷却收集器之间通过冷却介质连接。优选的，所述加热反应器还包括温度探测器。优选的，所述固定半炉体的下表面上均匀设置多个第一支撑柱；所述可移动半炉体的下表面上均匀设置多个第二支撑柱，且所述第二支撑柱上设有滑轮。进一步优选的，所述多室卧式真空炉还包括导轨，所述滑轮滑设于所述导轨上。优选的，所述反应冷却装置和所述收集冷却装置均为水循环冷却装置。优选的，所述抽真空装置包括机械泵、罗茨泵、分子泵、扩散泵中的一种或几种及其相对应的真空计。本技术实施例提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉，多个真空炉集于一套系统内同时加热收集，即本申请中多室卧式真空炉包括多个相互可拆卸密封连接的加热反应罐体和收集罐体，一次性产量高，且采用冷却介质与冷却循环水相结合的低成本冷却方式，等待冷却时间短，同时，一套加热系统满足多个罐体同时加热，加热温度稳定，且各罐体内的物料加热均匀，生产效率高，此外，生产一氧化硅的多室卧式真空炉采用导轨移动式进出料，进出料省力方便，一次性进出料较多，产量高，有利于设备实现机械化批量生产，能够更好的满足生产一氧化硅的行业需求与产品质量保证。同时，在生产过程中，加热反应器在取放料时不需要停炉，稳定性好，使其保持生产状态，从而实现了多室卧式真空炉的连续生产，进一步提高了生产效率，节约能源。附图说明图1为本技术实施例提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉的结构示意图；图2为本技术实施例提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉采用感应加热的加热反应器的内部侧剖视图；图3为本技术实施例提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉采用电阻加热的加热反应器的内部侧剖视图；图4为本技术实施例提供的采用生产一氧化硅的多室卧式真空炉制备一氧化硅方法的流程示意图。具体实施方式下面通过附图和实施例，对本技术的技术方案做进一步的详细描述。本技术实施例涉及提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉，多个真空炉集于一套系统内同时加热收集，一次性产量高，且采用冷却介质与冷却循环水相结合的低成本冷却方式，等待冷却时间短，同时，一套加热系统满足多个罐体同时加热，加热温度稳定，且各罐体内的物料加热均匀，生产效率高，此外，生产一氧化硅的多室卧式真空炉采用导轨移动式进出料，进出料省力方便，一次性进出料较多，有利于设备实现机械化批量生产，能够更好的满足生产一氧化硅的行业需求与产品质量保证。并且，在生产过程中，加热反应器在取放料时不需要停炉，稳定性好，使其保持生产状态，从而实现了多室卧式真空炉的连续生产，进一步提高了生产效率，节约能源。可以理解的是，下述所描述的具体实施例仅用于解释本技术，而非对本技术的限定。图1、图2、图3分别为本技术实施例提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉的结构示意图、采用感应加热的加热反应器的内部侧剖视图和采用电阻加热的加热反应器的内部侧剖视图。结合图1、图2和图3所示：本技术实施例所提供的生产一氧化硅的多室卧式真空炉包括加热部、收集部和真空系统三部分，加热部与收集部可合并分开，即该多室卧式真空炉分为两段合并体，加热部包括多个加热反应罐体21，收集部包括多个相对应的收集罐体4，两部分的加热反应罐体21和收集罐体4上均设有抽真空接口，通过真空系统对其内部进行抽真空。具体的，生产一氧化硅的多室卧式真空炉包括：炉体1、加热反应器2、反应冷却装置3、冷却收集器(图中未示出)、收集冷却装置5和抽真空装置6。其中，炉体1包括固定半炉体11和可移动半炉体12，可移动半炉体12与固定半炉体11机械连接，使固定半炉体11与可移动半炉体12之间实现紧密贴合。优选的，炉体1的外壳选用普通碳钢、合金、不锈钢等材质。加热反应器2为本申请生产一氧化硅的多室卧式真空炉中的加热部分，具体的，固定半炉体11内固设一个或多个加热反应器2，加热反应器2包括加热反应罐体21、加热装置22和保温装置23，详细的，加热反应罐体21设置于固定半炉体11内，用以盛放生产一氧化硅的原材料，加热装置22环设于加热反应罐体21的外侧表面上，对加热反应罐体21内的原材料进行加热，保温装置23设置于加热反应罐体21与加热装置22之间。需要理解是的，本申请多室卧式真空炉中的“多室”指的是具有多个加热反应器2及其相对应的冷却收集器，一方面，为保证一炉能够尽可能多的生产一氧化硅成品，另一方面，又需要保证整个装置较轻，方便加热部与收集部的合并分开，因此，卧式真空炉本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉，其特征在于，所述多室卧式真空炉包括：炉体，包括固定半炉体和可移动半炉体；所述可移动半炉体与所述固定半炉体机械连接，使所述固定半炉体与所述可移动半炉体之间实现紧密贴合；加热反应器，所述固定半炉体内固设一个或多个所述加热反应器；反应冷却装置，装置于所述固定半炉体的炉壁内；冷却收集器，每个所述加热反应器均通过法兰连接一个所述冷却收集器，且法兰连接处通过密封圈密封；收集冷却装置，所述收集冷却装置设置在所述可移动半炉体的炉壁内；抽真空装置，所述抽真空装置分别与多个所述加热反应器和所述冷却收集器相连通。

【技术特征摘要】
1.一种生产一氧化硅的多室卧式真空炉，其特征在于，所述多室卧式真空炉包括：炉体，包括固定半炉体和可移动半炉体；所述可移动半炉体与所述固定半炉体机械连接，使所述固定半炉体与所述可移动半炉体之间实现紧密贴合；加热反应器，所述固定半炉体内固设一个或多个所述加热反应器；反应冷却装置，装置于所述固定半炉体的炉壁内；冷却收集器，每个所述加热反应器均通过法兰连接一个所述冷却收集器，且法兰连接处通过密封圈密封；收集冷却装置，所述收集冷却装置设置在所述可移动半炉体的炉壁内；抽真空装置，所述抽真空装置分别与多个所述加热反应器和所述冷却收集器相连通。2.根据权利要求1所述的生产一氧化硅的多室卧式真空炉，其特征在于，所述加热反应器包括加热反应罐体、加热装置和保温装置；所述加热反应罐体设置于所述固定半炉体内；所述加热装置环设于所述加热反应罐体的外侧表面上，对所述加热反应罐体内的原材料进行加热；所述保温装置设置于所述加热反应罐体与所述加热装置之间。3.根据权利要求2所述的生产一氧化硅的多室卧式真空炉，其特征在于，所述冷却收集器包括收集罐体；所述收集罐体的一端为开口端，...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘柏男，罗飞，褚赓，陆浩，
申请(专利权)人：溧阳天目先导电池材料科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32