【技术实现步骤摘要】
一种平面结构的电场传感器及其制备方法
本专利技术涉及电场传感器领域，具体地说，特别涉及到一种平面结构的电场传感器及其制备方法。
技术介绍
非线性介电材料在电场作用下发生极化，极化强度随电场变化，极化和外加电场具有非线性关系，根据这一性质，利用非线性介电材料可以制造电容可调的电容器，还可以实现电场传感。一般铁电体都是非线性介电材料，其中锆钛酸铅(PZT)和钛酸钡锶(BST)的应用较广泛。以BST为例说明，优点包括没有疲劳退化的问题；不含铅，符合环境标准；介电常数可达1000到4000，且介电性能可调，介电损耗小(tanδ＜0.01)。击穿场强高(Eb≈3kV/mm)；居里温度Tc在-233到120℃之间可调，满足常温工作温度等。铁电材料的高介电性质在用于直接测量电场时存在弊端。将铁电材料直接放置在空间电场E0中，材料两端产生异号的极化电荷，材料内部形成与原电场方向相反的退极化场Ed，其大小与介电常数成正比，使得作用到材料内部的电场(称为有效场)小于甚至是远小于E0，因此铁电材料特性对于空间电场的敏感度不显著。有技术提出可增大材料的长宽比，进而减小退极化因子。但只能在...
【技术保护点】
1.一种平面结构的电场传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)采用绝缘材料制作不导电衬底(1‑1)，并在所述不导电衬底(1‑1)上贴合一层非线性介电材料(1‑2)；2)根据预先确定的叉指电极参数，在所述非线性介电材料(1‑2)表面设置至少若干组第一电极导体(1‑3)和第二电极导体(1‑5)，并在所述第一电极导体(1‑3)和第二电极导体(1‑5)上涂覆绝缘层或沉金处理，形成保护层(1‑4)；所述第一电极导体(1‑3)、第二电极导体(1‑5)和保护层(1‑4)组成叉指电极；3)在相邻的叉指电极间设置传感电极(1‑6)，采用屏蔽盒(1‑9)将所述的不导电衬底(1‑1)、非...
【技术特征摘要】
1.一种平面结构的电场传感器的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：1)采用绝缘材料制作不导电衬底(1-1)，并在所述不导电衬底(1-1)上贴合一层非线性介电材料(1-2)；2)根据预先确定的叉指电极参数，在所述非线性介电材料(1-2)表面设置至少若干组第一电极导体(1-3)和第二电极导体(1-5)，并在所述第一电极导体(1-3)和第二电极导体(1-5)上涂覆绝缘层或沉金处理，形成保护层(1-4)；所述第一电极导体(1-3)、第二电极导体(1-5)和保护层(1-4)组成叉指电极；3)在相邻的叉指电极间设置传感电极(1-6)，采用屏蔽盒(1-9)将所述的不导电衬底(1-1)、非线性介电材料(1-2)、叉指电极、传感电极(1-6)封装，将传感电极(1-6)通过导线(1-7)与位于屏蔽盒(1-9)外部的电荷收集器(1-8)连接。2.根据权利要求1所述的平面结构的电场传感器的制备方法，其特征在于，所述第一电极导体(1-3)、第二电极导体(1-5)和传感电极(1-6)通过溅射工艺制作。3.一种采用权利要求1所述制备方法制造的电场传感器，其特征在于，包括屏蔽盒(1-9)，在所述屏蔽盒(1-9)内设置有不导电衬底(1-1)、以及与不导电衬底(1-1)贴合的非线性介电材料(1-2)，在所述非线性介电材料(1-2)表...
【专利技术属性】
技术研发人员：文玉梅，李平，卞雷祥，郑文静，
申请(专利权)人：上海交通大学，
类型：发明
国别省市：上海,31
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。