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本发明公开了一种平面结构的电场传感器及其制备方法，电场传感器包括屏蔽盒，在所述屏蔽盒内设置有不导电衬底和非线性介电材料，在非线性介电材料表面设置有若干叉指电极；在相邻的叉指电极间设置有传感电极，传感电极通过导线与位于屏蔽盒外部的电荷收集器连...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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