导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器制造技术

本发明专利技术涉及一种导电薄膜，包括基材，其包括相对设置的第一表面及第二表面；硬涂层，分别附着于所述第一表面及第二表面；及金属层，分别附着于所述硬涂层远离所述基材的表面；所述硬涂层的水汽含量小于等于0.25％。此导电薄膜具有良好的抗刮伤性能的同时还具有较好的阻抗一致性。此外，本发明专利技术还提供一种薄膜电阻应变式压力传感器。

Conductive Film and Film Resistance Strain Pressure Sensor

【技术实现步骤摘要】
导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器
本专利技术涉及压感
，特别涉及一种导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器。
技术介绍
压力传感器是能感受压力信号，并能按照一定的规律将压力信号转换成可用的输出的电信号的器件或装置。随着现代科技的飞速发展，对于压力传感器的性能指标、极端工作环境不断提出新的需求，这就导致薄膜电阻应变式压力传感器应运而生。薄膜电阻应变式压力传感器一般包括衬底及附着于衬底表面，并由导电金属薄膜蚀刻而成的应变电阻。目前，形成上述应变电阻的导电金属薄膜一般包括基材，以及形成于基材两侧的金属层。用作高品质压力感应的导电金属薄膜对其阻抗均一性有极高的要求，现有的导电金属薄膜一直无法达到要求。
技术实现思路
基于此，有必要提供一种阻抗均一性较好的导电薄膜及薄膜电阻应变式压力传感器。一种导电薄膜包括基材，其包括相对设置的第一表面及第二表面；硬涂层，分别附着于所述第一表面及第二表面；及金属层，分别附着于所述硬涂层远离所述基材的表面；其中，所述硬涂层的水汽含量小于等于0.25％。导电薄膜包括硬涂层使得导电薄膜具有较好的抗刮伤性，在具备硬涂层的情况下进一步控制硬涂层的水汽含量在0.25％以下本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种导电薄膜，其特征在于，包括：基材，包括相对设置的第一表面及第二表面；硬涂层，分别附着于所述第一表面及第二表面；及金属层，分别附着于所述硬涂层远离所述基材的表面；其中，所述硬涂层的水汽含量小于等于0.25％。

【技术特征摘要】
1.一种导电薄膜，其特征在于，包括：基材，包括相对设置的第一表面及第二表面；硬涂层，分别附着于所述第一表面及第二表面；及金属层，分别附着于所述硬涂层远离所述基材的表面；其中，所述硬涂层的水汽含量小于等于0.25％。2.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述水汽含量范围为0.05％-0.2％。3.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述硬涂层为亚克力树脂材料，且包含纳米颗粒的金属氧化物。4.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述基材为聚对苯二甲酸乙二醇酯薄膜。5.根据权利要求1所述的导电薄膜，其特征在于，所述...

【专利技术属性】
技术研发人员：余飞，候晓伟，古荣治，
申请(专利权)人：南昌欧菲显示科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江西,36