成膜装置、成膜方法及有机EL显示装置的制造方法制造方法及图纸

本发明专利技术的成膜装置包含基板保持单元和静电吸盘，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部，所述静电吸盘设置于所述支承部的上方并用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件及所述第二支承部件分别能够在其基板支承面支承基板的方向上位移。

Film Forming Device, Film Forming Method and Manufacturing Method of Organic EL Display Device

【技术实现步骤摘要】
成膜装置、成膜方法及有机EL显示装置的制造方法
本专利技术涉及一种成膜装置，特别是涉及一种用于使基板无损伤且平坦地附着于静电吸盘的基板支承部。
技术介绍
最近，作为平板显示装置，有机EL显示装置受到关注。有机EL显示装置是自发光显示器，响应速度、视角、薄型化等特性优于液晶面板显示器，在监视器、电视、以智能手机为代表的各种便携式终端等中以较快的速度代替现有的液晶面板显示器。另外，其应用领域正在扩展到汽车用显示器等中。有机EL显示装置的元件具有在两个相对的电极(阴极电极、阳极电极)之间形成有引起发光的有机物层的基本构造。有机EL显示装置元件的有机物层及电极层通过将蒸镀材料经由形成有像素图案的掩模蒸镀到放置于真空腔室上部的基板(的下表面)而形成，所述蒸镀材料通过对设置于成膜装置的真空腔室的下部的蒸镀源进行加热而蒸发。在这样的上方向蒸镀方式的成膜装置的真空腔室内，基板由基板保持架保持，基板的下表面的周缘被基板保持架的支承部支承，从而不对形成于基板(的下表面)的有机物层/电极层造成损伤。在该情况下，随着基板的尺寸变大，没有被基板保持架的支承部支承的基板的中央部由于基板的自重而挠曲，成为蒸镀精度本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包含：基板保持单元，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部；以及静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述支承部的上方，用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件、和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件与所述第二支承部件能够分别在其基板支承面支承基板的方向上位移。

【技术特征摘要】
2017.12.26 KR 10-2017-01803251.一种成膜装置，用于经由掩模在基板上进行成膜，其中，包含：基板保持单元，所述基板保持单元包含用于支承基板的周缘部的支承部；以及静电吸盘，所述静电吸盘设置在所述支承部的上方，用于吸附基板，所述支承部包含设置于第一方向的第一支承部件、和以与所述第一支承部件相对的方式设置于所述第一方向的第二支承部件，所述第一支承部件与所述第二支承部件能够分别在其基板支承面支承基板的方向上位移。2.根据权利要求1所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件各自的基板支承面的高度能够位移。3.根据权利要求2所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件，各自包含用于支承基板的基板支承面部及以能够弹性位移的方式支承所述基板支承面部的弹性体部。4.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述弹性体部由于来自所述静电吸盘的压力而在支承基板的方向上弹性位移。5.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述基板支承面部的位移轴与所述弹性体部的弹性位移轴互相偏离。6.根据权利要求5所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件及所述第二支承部件进一步包含有引导所述基板支承面部的位移的引导部，以使各自的所述基板支承面部的位移方向与所述弹性体部的位移方向互相平行。7.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述弹性体部包含螺旋弹簧。8.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件的弹性体部比所述第二支承部件的弹性体部的长度长。9.根据权利要求3所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件的所述弹性体部的弹性模量比所述第二支承部件的所述弹性体部的弹性模量大。10.根据权利要求4所述的成膜装置，其中，所述第一支承部件包含配置于所述第一方向的多个支承部件，所述第二支承部件包含以与多个所述第一支承部件相对的方式配置于所述第一方向的多个支承...

【专利技术属性】
技术研发人员：柏仓一史，石井博，细谷映之，
申请(专利权)人：佳能特机株式会社，阿奥依株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP