【技术实现步骤摘要】
【技术保护点】
一种高真空隔膜泵,包括缸体(10)和油池缸(20),活塞(30)位于缸体(10)内,活塞(30)的活塞杆(31)位于油池缸(20)内并由工艺流体浸没,位于活塞(30)一侧的缸体(10)上设有压力流体进液阀(40)和出液阀(50),其间设置隔膜(60)及其固定支架(70),其特征在于:所述的活塞(30)为阶梯状,缸体(10)内有与所述的活塞(30)配合的活塞腔,所述的活塞(30)的各直径段上均设有活塞环与对应段的活塞腔配合,所述的缸体(10)上还设有补偿阀(80)和油压调控阀(90),油池缸(20)经补偿阀(80)与活塞(30)和活塞腔之间的空腔单向连通,活塞(30)和活塞腔 ...
【技术特征摘要】
【专利技术属性】
技术研发人员:石海峡,李强,柴立平,叶晓琰,李彪昌,宫恩祥,姜漫,
申请(专利权)人:合肥华升泵阀有限责任公司,
类型:发明
国别省市:34[中国|安徽]
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