BaZrS3薄膜及其制备方法及其应用技术

本发明专利技术属于材料技术领域，提供了一种BaZrS3薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤S1、以BaZrO3作为反应材料，对其进行硫化处理制成靶材；步骤S2、利用步骤S1获得的靶材进行镀膜处理；步骤S3、对步骤S2获得的产物进行二次硫化处理。本发明专利技术首次提出了制备BaZrS3薄膜的制备方法，以BaZrO3作为反应材料，通过硫化处理，镀膜处理以及二次硫化处理，获得的BaZrS3无机不含铅硫属钙钛矿材料。该材料具有优良的可见光吸收能力，在太阳能电池领域具有较大的应用前景。

【技术实现步骤摘要】
BaZrS3薄膜及其制备方法及其应用
本专利技术属于材料
，特别涉及BaZrS3薄膜及其制备方法及其应用。
技术介绍
目前，太阳能电池按光吸收层材料分类来说的话，可以分为三类太阳能电池。第一类是硅基太阳能电池，这类电池技术成熟，光电转换效率较高，也是目前市场上已经实现商业化应用的的一类电池。第二类是多元化合物薄膜太阳能电池，主要包括GaAs，InP，铜铟镓硒CIGS，碲化镉CdTe太阳能电池等，这类电池的转换效率较高，器件性能稳定，电池吸光层厚度较薄，可以大幅减少原材料消耗，是业界比较看好的薄膜型太阳能电池，但是这类电池使用的材料部分元素有毒性或者储量稀少，限制了大面积的推广使用。第三类新型太阳能电池，主要包括钙钛矿太阳能电池，染料敏化太阳能电池，有机太阳能电池，量子点太阳能电池等。其中，钙钛矿太阳能电池是一种由人工合成的新型薄膜太阳能电池，具有廉价、柔韧性、重量轻等特点。和硅材料相同，钙钛矿属于半导体，但具有更为优异的吸光性，其特质被光伏行业“降本增效”寄于厚望。最近这几年新型的钙钛矿太阳能电池迅速受到世界瞩目，因其在很短的时间内能量转换效率增加至22.1％(2016年)，这本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种BaZrS3薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、以BaZrO3作为反应材料，对其进行硫化处理制成靶材；步骤S2、利用步骤S1获得的靶材进行镀膜处理；步骤S3、对步骤S2获得的产物进行二次硫化处理。

【技术特征摘要】
1.一种BaZrS3薄膜的制备方法，其特征在于，包括如下步骤：步骤S1、以BaZrO3作为反应材料，对其进行硫化处理制成靶材；步骤S2、利用步骤S1获得的靶材进行镀膜处理；步骤S3、对步骤S2获得的产物进行二次硫化处理。2.根据权利要求1所述的BaZrS3薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述硫化处理采用硫化处理装置，所述硫化处理装置包括氩气管道、冷肼和化学气相沉积炉，所述氩气管道通过第一管道与所述冷肼和所述化学气相沉积炉串接连通，所述氩气管道通过第二管道与所述化学气相沉积炉串接连通，所述第一管道中设有第一气阀，所述第二管道中设有第二气阀。3.根据权利要求2所述的BaZrS3薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S1中，所述硫化处理的具体步骤如下：步骤S11、将BaZrO3粉末放置到所述化学气相沉积炉中，打开所述第二气阀，通入氩气直至排空炉中氧气，开始对所述化学气相沉积炉升温加热至800-1100℃；步骤S12、关闭第二气阀并打开第一气阀，将氩气通入到装有硫源的冷阱中，保温；步骤S13、待炉内温度降至800℃，关闭第一气阀并打开第二气阀，使氩气通入化学气相沉积炉直至炉内温度降至室温。4.根据权利要求1所述的BaZrS3薄膜的制备方法，其特征在于，所述步骤S2中，镀膜处理的具体...

【专利技术属性】
技术研发人员：张垠，于忠海，曹开颜，王鼎臣，
申请(专利权)人：扬州旭磁智能科技有限公司，
类型：发明
国别省市：江苏,32