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本发明属于材料技术领域，提供了一种BaZrS3薄膜的制备方法，包括如下步骤：步骤S1、以BaZrO3作为反应材料，对其进行硫化处理制成靶材；步骤S2、利用步骤S1获得的靶材进行镀膜处理；步骤S3、对步骤S2获得的产物进行二次硫化处理。本发明...
该专利属于扬州旭磁智能科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过扬州旭磁智能科技有限公司授权不得商用。

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