一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法制造方法及图纸

本发明专利技术涉及一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法，包括下主机构以及与其配合使用的上主机构，上主机构上方设有气动升降装置，气动升降装置连接有支撑板，下主机构内部设有中央处理器以及与中央处理器连接的气源控制器、高压控制器，气源控制器连接有外部气源且所述气源控制器与气动升降装置相连，下主机构的上部开有凹槽一，凹槽一下方设有若干气体通道，凹槽一内由上至下依次设有石英玻璃、超薄工件、可移式静电吸盘。本发明专利技术能够实现对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件的平面校正及平面固定支撑功能，且能提供稳定吸附、不损伤表面、不残留污渍痕迹。

A Planar Supporting Device for Ultra-thin Workpiece and the Preparation Method of a Movable Electrostatic Sucker

The invention relates to a planar support device for ultra-thin workpiece and a preparation method of a movable electrostatic chuck, which comprises a lower main mechanism and an upper main mechanism used in conjunction with it. A pneumatic lifting device is arranged above the upper main mechanism, a support plate is connected with the pneumatic lifting device, and a central processing unit is arranged inside the lower main mechanism. The air source controller is connected with an external air source, and the air source controller is connected with a pneumatic lifting device. The upper part of the lower main mechanism is provided with a groove, and the lower part of the groove is provided with a number of gas channels. In the groove, quartz glass, ultra-thin workpiece and movable static are arranged from top to bottom. Electric sucker. The invention can realize the function of plane correction and plane fixing support for soft, bending, folding and ventilated ultra-thin workpiece, and can provide stable adsorption, no damage to the surface and no residual stain marks.

【技术实现步骤摘要】
一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法
本专利技术涉及支撑装置领域，具体来说，涉及一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法。
技术介绍
为了对柔软、弯曲、褶皱、透气超薄工件在自动化制造中进行减薄、研磨、抛光、清洗、曝光、刻蚀、镀膜、视觉检测等处理，在进行这些自动化制程中，需要对所加工的超薄工件进行平面校正及平面固定支撑，比如使用胶粘、机械夹持、真空吸附方式将超薄工件固定在平面基板上，实现平面校正及平面固定支撑。然而，在超薄工件自动化加工过程中时常伴随着酸碱、高温及真空气氛等带来的潜在风险。若采用胶粘方式，则需要采用耐酸碱溶液、耐高温等粘合剂，自动化加工处理结束，易残留杂质，或增加二次加工造成的损伤、污染、型变风险。采用机械夹持补强，不仅将产生夹持死角、超薄工件无法全部与平面基板接触，起到平面校正及平面固定支撑的作用，而且在高温状态下无法保持型变固定作用，同时将造成超薄工件边缘区域夹持死角，有效利用面积减小及损伤等问题。采用真空吸附方式，超薄工件边缘区域无法与平面基板实现有效的接触吸附，依然会存在边缘翘曲和褶皱现象；另外，真空吸附方式无法在真空气氛下实现吸附固定，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种超薄工件平面支撑装置，包括下主机构（11）以及与其配合使用的上主机构（5），其特征在于，所述上主机构（5）上方设有气动升降装置（4），所述气动升降装置（4）连接有支撑板（6），所述支撑板（6）位于上主机构（5）下部开有的凹槽二（501）内，所述下主机构（11）内部设有中央处理器（2）以及与中央处理器（2）连接的气源控制器（1）、高压控制器（3），所述气源控制器（1）连接有外部气源（16）且所述气源控制器（1）与气动升降装置（4）相连，所述下主机构（11）的上部开有凹槽一（1101），所述凹槽一（1101）下方设有若干气体通道（12），所述气体通道（12）与气源控制器（1）相连，所述凹槽...

【技术特征摘要】
1.一种超薄工件平面支撑装置，包括下主机构（11）以及与其配合使用的上主机构（5），其特征在于，所述上主机构（5）上方设有气动升降装置（4），所述气动升降装置（4）连接有支撑板（6），所述支撑板（6）位于上主机构（5）下部开有的凹槽二（501）内，所述下主机构（11）内部设有中央处理器（2）以及与中央处理器（2）连接的气源控制器（1）、高压控制器（3），所述气源控制器（1）连接有外部气源（16）且所述气源控制器（1）与气动升降装置（4）相连，所述下主机构（11）的上部开有凹槽一（1101），所述凹槽一（1101）下方设有若干气体通道（12），所述气体通道（12）与气源控制器（1）相连，所述凹槽一（1101）内由上至下依次设有石英玻璃（7）、超薄工件（8）、可移式静电吸盘（9），所述可移式静电吸盘（9）包括下部的增强基板（15）以及上部的柔性接触面（13），所述柔性接触面（13）由若干电极组（14）构成，所述电极组（14）与高压控制器（3）的高压端子（10）相连。2.根据权利要求1所述的一种超薄工件平面支撑装置，其特征在于，所述上主机构（5）与下主机构（11）材料为铝合金。3.根据权利要求1所述的一种超薄工件平面支撑装置，其特征在于，所述电极组（14）的接触点与高压端...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘斌，
申请(专利权)人：广东海拓创新精密设备科技有限公司，
类型：发明
国别省市：广东,44