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本发明涉及一种超薄工件平面支撑装置及可移式静电吸盘的制备方法，包括下主机构以及与其配合使用的上主机构，上主机构上方设有气动升降装置，气动升降装置连接有支撑板，下主机构内部设有中央处理器以及与中央处理器连接的气源控制器、高压控制器，气源控制器...
该专利属于广东海拓创新精密设备科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过广东海拓创新精密设备科技有限公司授权不得商用。

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