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一种真空镀膜机制造技术

技术编号:21448998 阅读:43 留言:0更新日期:2019-06-26 03:19
本发明专利技术公开了一种真空镀膜机,包括底板、扩散泵和机械泵,所述底板的下端表面左右两侧均固定安装有支架,所述罩体的内部左侧设置有真空计,所述罩体的内部右侧设置有放气阀,所述罩体的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆,所述电动伸缩杆的上端外表面等间距固定连接有待镀金属,所述电动伸缩杆的内侧设置有框体,所述框体的右侧表面固定安装有电机,所述连动结构上安装连接有固定盘,所述底板的上表面右侧固定安装有储液箱。该真空镀膜机,可以通过真空计了解控制罩体内的真空状态,且有对罩体的清洗装置,镀膜效率高,而且不需要将罩体反复打开,装置的密封性较好,而且方便进行安装拆卸,扩散泵与机械泵配合机构设计合理。

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜机
本专利技术涉及镀膜机相关
,具体为一种真空镀膜机。
技术介绍
真空镀膜机的种类多种多样,因为其采用的镀膜原理各不相同,包括真空离子蒸发、磁控溅射、MBE分子束外延、PLD激光溅射沉积等,主要思路是分成蒸发和溅射两种,所以只能根据不同的产品特性选择不同类型的镀膜机,而且为了提高一些产品表面的光滑度和硬度,使其具有金属光泽,装饰性好的优点,那么常常通过真空镀膜的方式可以使硬度及耐磨性大大增加,提高耐候性,在目前的市场上应用广泛,具有十分重要的意义。但是现有的真空镀膜机在使用过程中存在着以下问题:无法了解控制罩体内的真空状态,且没有对罩体的清洗装置;对镀件镀膜的操作不够连续,需要依次进行镀膜,效率低下,而且需要将罩体反复打开,影响真空环境;装置的密封性容易出现问题,而且不方便进行安装拆卸,扩散泵与机械泵配合机构不够合理,影响了镀膜效果。
技术实现思路
本专利技术的目的在于提供一种真空镀膜机,以解决上述
技术介绍
中提出的无法了解控制罩体内的真空状态,且没有对罩体的清洗装置;对镀件镀膜的操作不够连续,需要依次进行镀膜,效率低下,而且需要将罩体反复打开,影响真空环境;装置的密封性本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜机,包括底板(1)、扩散泵(24)和机械泵(29),其特征在于:所述底板(1)的下端表面左右两侧均固定安装有支架(2),且底板(1)的上表面通过螺栓安装连接有罩体(3),所述罩体(3)的内部左侧设置有真空计(4),且真空计(4)贯穿在底板(1)的内部,所述罩体(3)的内部右侧设置有放气阀(5),且放气阀(5)贯穿设置在底板(1)的内部,所述罩体(3)的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆(6),且电动伸缩杆(6)的顶端固定安装有蒸发电极(7),所述电动伸缩杆(6)的上端外表面等间距固定连接有待镀金属(8),且电动伸缩杆(6)的底端固定在支架(2)的内表面,所述电动伸缩杆(6)的内侧设...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜机,包括底板(1)、扩散泵(24)和机械泵(29),其特征在于:所述底板(1)的下端表面左右两侧均固定安装有支架(2),且底板(1)的上表面通过螺栓安装连接有罩体(3),所述罩体(3)的内部左侧设置有真空计(4),且真空计(4)贯穿在底板(1)的内部,所述罩体(3)的内部右侧设置有放气阀(5),且放气阀(5)贯穿设置在底板(1)的内部,所述罩体(3)的内部左右两侧均设置有电动伸缩杆(6),且电动伸缩杆(6)的顶端固定安装有蒸发电极(7),所述电动伸缩杆(6)的上端外表面等间距固定连接有待镀金属(8),且电动伸缩杆(6)的底端固定在支架(2)的内表面,所述电动伸缩杆(6)的内侧设置有框体(9),且框体(9)的上端贯穿在底板(1)的内部,所述框体(9)的右侧表面固定安装有电机(10),且电机(10)上安装连接有活动组(11),所述活动组(11)上安装连接有固定盘(12),且固定盘(12)的外表面等间距固定安装有夹持结构(13),并且夹持结构(13)的内部设置有镀件(14),所述底板(1)的上表面右侧固定安装有储液箱(15),且储液箱(15)的右端固定连接有入料口(16),所述入料口(16)的内部上端安装有第一过滤网(17),且第一过滤网(17)的下端设置有第二过滤网(18),所述储液箱(15)的后侧连接有增压泵(19),且增压泵(19)的上端连接有导流管(20),所述导流管(20)的左端安装连接有喷头(21),且喷头(21)固定在罩体(3)上端内部,所述框体(9)的后侧设置有第一连接管(22),且第一连接管(22)的上端贯穿连接在底板(1)的内部,所述第一连接管(22)的右端连接有第二连接管(23),所述扩散泵(24)固定连接在第一连接管(22)的下端,且扩散泵(24)的下端内部设置有加热丝(25),并且加热丝(25)的下端通过电性连接有加热器(26),所述加热丝(25)的右侧贯穿连接有第三连接管(27),且第三连接管(27)和第二连接管(23)的右侧均连接有第四连接管(28),所述机械泵(29)固定连接在第四连接管(28)的右端。2.根据权利要求1所述的一种真空镀膜机,其特征在于:所述罩体(3)在底板(1)上为拆卸结构,且支架(2)关...

【专利技术属性】
技术研发人员:不公告发明人
申请(专利权)人:赵晓莉
类型:发明
国别省市:辽宁,21

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