三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线制造技术

本发明专利技术公开了三银LOW‑E玻璃真空镀膜生产线，依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连。本发明专利技术提供的三银LOW‑E玻璃真空镀膜生产线能够实现各类镀膜的大批量、低成本生产，而且溅射沉积速率高，工艺通用性强，特别适合大规模工业化生产。

【技术实现步骤摘要】
三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线
本专利技术涉及三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线，属于真空镀膜

技术介绍
玻璃是重要的建筑材料，随着对建筑物装饰性要求的不断提高，玻璃在建筑行业中的使用量也不断增大。然而，当今人们在选择建筑物的玻璃门窗时，除了考虑其美学和外观特征外，更注重其热量控制、制冷成本和内部阳光投射舒适平衡等问题。这就使得镀膜玻璃家族中的新贵——Low-E玻璃脱颖而出，成为人们关注的焦点。Low-E玻璃又称低辐射玻璃，是在玻璃表面镀上多层金属或其他化合物组成的膜系产品。其镀膜层具有对可见光高透过及对中远红外线高反射的特性，使其与普通玻璃及传统的建筑用镀膜玻璃相比，具有以下明显优势：(一)优异的热性能外门窗玻璃的热损失是建筑物能耗的主要部分，占建筑物能耗的50％以上。有关研究资料表明，玻璃内表面的传热以辐射为主，占58％，这意味着要从改变玻璃的性能来减少热能的损失，最有效的方法是抑制其内表面的辐射。普通浮法玻璃的辐射率高达0.84，当镀上一层以银为基础的低辐射薄膜后，其辐射率可降至0.1以下。因此，用Low-E玻璃制造建筑物门窗，可大大降低因辐射而造成的室内热能向室外的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.三银LOW‑E玻璃真空镀膜生产线，其特征在于：依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连，所述传动台用于传送镀膜基片，所述镀膜质检台用于检测基片质量，所述溅射腔室设有十六对旋转阴极，五个平面阴极，镀膜产品膜层为Si3N4/SnO2/AZO/Ag/NiCr/SnO2/Si3N4/AZO/Ag/NiCr/SnO2...

【技术特征摘要】
1.三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线，其特征在于：依次连接的上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室、质检腔室和卸片区，所述上片区、进口腔室、进口缓冲腔室、进口传送腔室、溅射腔室、出口传送腔室、出口缓冲腔室、出口腔室和卸片区内均设有依次连接的传动台，所述质检腔室内设有镀膜质检台和质检系统，所述出口腔室内传动台与镀膜质检台相连，所述传动台用于传送镀膜基片，所述镀膜质检台用于检测基片质量，所述溅射腔室设有十六对旋转阴极，五个平面阴极，镀膜产品膜层为Si3N4/SnO2/AZO/Ag/NiCr/SnO2/Si3N4/AZO/Ag/NiCr/SnO2/Si3N4/AZO/Ag/NiCr/Si3N4。2.根据权利要求1所述的三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜质检台包括至少一真空镀膜基片架(11)、一轨道和传动机构(13)，每个所述真空镀膜基片架(11)均在其对应轨道上往返滑动，所述传动机构(13)与真空镀膜基片架(11)连接并为其提供动力，所述真空镀膜基片架(11)上安装有若干基片孔(12)，真空镀膜基片安装于基片孔(12)内。3.根据权利要求2所述的三银LOW-E玻璃真空镀膜生产线，其特征在于：所述镀膜质检台包括两个真空镀膜基片架(11)和两条轨道和传动机构(13)，所述两条轨道贴合且并行安装，每个所述真空镀膜基片架(11)均在其对应轨道上往返滑动，所述质检系统的光源与光电探测器分设于轨道两侧。4.根据权利要求2或3所述的三银LOW-E玻...

【专利技术属性】
技术研发人员：黄乐，孙桂红，祝海生，陈立，凌云，黄夏，黄国兴，
申请(专利权)人：湘潭宏大真空技术股份有限公司，
类型：发明
国别省市：湖南,43