一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块制造技术

一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，涉及液体静压节流装置领域，包括滑块本体、及与滑块本体连接的压力传感器和流量控制器；滑块本体开设有滑块本体进油口、至少一个油腔、与油腔数量相对应的出油分流口和进油分流口；油腔设有油腔出油口，出油分流口与滑块本体进油口连通，进油分流口与油腔出油口连通；油腔的周边设有微织构封油面；流量控制器设有流量控制器进油口和流量控制器出油口，且流量控制器进油口和出油分流口连通，流量控制器出油口和进油分流口连通；压力传感器与油腔连通，以实时监测油腔的油压大小。安装有本发明专利技术模块的线性轴机台不仅可以具有高油膜刚度和高承载能力，而且还可以具有较好的运动直线度。

A Two-chamber Closed Hydrostatic Guide Slider Module

A two-chamber closed slider module of hydrostatic guideway relates to the field of hydrostatic throttling device, including slider body, pressure sensor and flow controller connected with slider body; slider body is provided with slider body oil inlet, at least one oil chamber, oil outlet and oil inlet corresponding to the number of oil chambers; oil chamber is provided with oil outlet and oil outlet, oil outlet and oil outlet. Connecting with the oil inlet of the slider body, the oil inlet and outlet of the oil chamber are connected; the oil chamber is surrounded by a micro-texture sealing surface; the flow controller has a flow controller inlet and a flow controller outlet, and the flow controller inlet and outlet are connected; the flow controller outlet and the flow controller outlet are connected; the pressure sensor is connected with the oil chamber to monitor the oil in real time. The oil pressure of the chamber. The linear shaft machine table with the module of the invention can not only have high oil film stiffness and high load-carrying capacity, but also have good motion straightness.

【技术实现步骤摘要】
一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块
本专利技术涉及液体静压节流装置领域，尤其涉及一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块。
技术介绍
液体静压支承因具有高运动精度、低摩擦阻力、高服役寿命以及良好的抗振性能等优点，而在超精密机床和超精密测量仪器中都有着广泛的应用。节流器是恒压供油液体静压支承系统中不可或缺的关键元件，它能够自动调节油腔压力，使恒压供油静压支承系统具有相应的油膜承载力和油膜刚度。常用的固定节流器主要有毛细管节流器和小孔节流器，虽然结构简单，但是节流比不可调，油膜刚度也有限；常用的可变节流器主要有薄膜式节流器和滑伐式节流器，尽管内部节流比可调，且具有更大的油膜刚度，但并不能实时、主动控制节流比。此外，传统静压导轨没有压力传感器作为油腔压力的直接反馈。
技术实现思路
本专利技术的目的在于解决现有技术中的上述问题，提供一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，集主动可变节流器、压力传感器和滑块本体于一体，既能实时、主动控制节流比，又能直接反馈油腔压力大小。为达到上述目的，本专利技术采用如下技术方案：一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，包括滑块本体、至少一个压力传感器和至少一个流量控制器；所述滑块本体的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，其特征在于：包括滑块本体、至少一个压力传感器和至少一个流量控制器；所述滑块本体的表面开设有滑块本体进油口、至少一个油腔、与油腔数量相对应的出油分流口和进油分流口；油腔设有油腔出油口，出油分流口与滑块本体进油口通过滑块本体内部通道连通，进油分流口与油腔出油口通过滑块本体内部通道连通；油腔的外沿周边设有微织构封油面，所述微织构封油面的高度高于滑块本体的表面；所述流量控制器与滑块本体连接，流量控制器设有流量控制器进油口和流量控制器出油口，且流量控制器进油口和出油分流口连通，流量控制器出油口和进油分流口连通；所述压力传感器与滑块本体连接，压力传感器通过滑块本体内部...

【技术特征摘要】
1.一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，其特征在于：包括滑块本体、至少一个压力传感器和至少一个流量控制器；所述滑块本体的表面开设有滑块本体进油口、至少一个油腔、与油腔数量相对应的出油分流口和进油分流口；油腔设有油腔出油口，出油分流口与滑块本体进油口通过滑块本体内部通道连通，进油分流口与油腔出油口通过滑块本体内部通道连通；油腔的外沿周边设有微织构封油面，所述微织构封油面的高度高于滑块本体的表面；所述流量控制器与滑块本体连接，流量控制器设有流量控制器进油口和流量控制器出油口，且流量控制器进油口和出油分流口连通，流量控制器出油口和进油分流口连通；所述压力传感器与滑块本体连接，压力传感器通过滑块本体内部通道与油腔连通，以实时监测油腔的油压大小。2.如权利要求1所述的一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，其特征在于：所述流量控制器包括套体、设于套体内的节流本体和压电促动器；套体的前端开设有所述流量控制器进油口和流量控制器出油口，压电促动器设于套体内的后端且压电促动器与节流本体连接，节流本体的外壁与套体的内壁之间设有密封件，节流本体的前端面与流量控制器出油口的后端面形成有缝隙。3.如权利要求2所述的一种二腔闭式液体静压导轨滑块模块，其特征在于：所述套体包括依次固定连接的前安装套、后安装套和端盖；前安装套和后安装套之间设有密封圈；前安装套设有朝向节流本体方向凸出的环形圆台，所述流量控制器出油口设于环...

【专利技术属性】
技术研发人员：彭云峰，施晨淳，王振忠，郭隐彪，
申请(专利权)人：厦门大学，
类型：发明
国别省市：福建,35