本实用新型专利技术涉及附属装置的技术领域，特别是涉及一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置；其可以提高夹紧效果，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，同时防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏；无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性；包括工作台、四组支腿、固定盘、左弧形调节板、右弧形调节板、左弧形夹板、右弧形夹板、左调节螺栓、右调节螺栓、左限位圈、右限位圈、多组左缓冲弹簧、多组右缓冲弹簧、两组左螺纹管、两组左螺纹杆、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块、两组左限位方柱、两组右限位方柱、移动块、带动电机、摇臂、环形调节圈、安装板、限位环和伸缩杆。
【技术实现步骤摘要】
一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置
本技术涉及附属装置的
，特别是涉及一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置。
技术介绍
众所周知，用于晶圆生产加工的表面研磨装置是一种对切片完成的晶圆切片表面因切片引起的刀痕和凹凸面进行打磨，以便于更好的规整晶圆切片厚度，降低片与片之间的厚度差，提高平行度的辅助装置，其在晶圆生产加工的领域中得到了广泛的使用；现有的用于晶圆生产加工的表面研磨装置包括工作台、四组支腿、放置板、左卡板和右卡板，四组支腿的顶端分别与工作台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，并且放置板的底端与工作台顶端中部连接，左卡板和右卡板的底端分别与放置板顶端的左侧和右侧连接，工作台的顶端右侧放置有打磨砂盘；现有的用于晶圆生产加工的表面研磨装置使用时，首先将待打磨的晶圆切片放置在放置板上，并且通过左卡板和右卡板将晶圆切片卡紧，然后人工使用打磨砂盘对晶圆切片的顶端表面进行打磨就可；现有的用于晶圆生产加工的表面研磨装置使用中发现，左卡板和右卡板与晶圆切片左端和右端的接触面积较小，导致其夹紧效果较差，且不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，适应能力较差，同时左卡板和右卡板在对晶圆切片卡紧过程中容易将晶圆切片的左端和右端损坏，导致其使用可靠性较差；并且人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，浪费较多人力，且不能保证打磨面的水平度，影响打磨效果，导致实用性较差。
技术实现思路
为解决上述技术问题，本技术提供一种提高夹紧效果，可以不能适应不同大小的晶圆切片的夹紧，提高适应能力，同时防止将晶圆切片在夹紧过程中被损坏，提高使用可靠性；并且无需人工使用打磨砂盘对晶圆切片顶端表面进行打磨，节省人力，可以保证打磨面的水平度，提高打磨效果，提高实用性的用于晶圆生产加工的表面研磨装置。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台和四组支腿，四组支腿的顶端分别与工作台底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台的顶端右侧放置有打磨砂盘；包括固定盘、左弧形调节板、右弧形调节板、左弧形夹板、右弧形夹板、左调节螺栓、右调节螺栓、左限位圈、右限位圈、多组左缓冲弹簧和多组右缓冲弹簧，所述固定盘的底端与所述工作台的顶端中部连接，并且固定盘的顶端中部设置有圆形放置槽，所述圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，所述左弧形调节板和右弧形调节板分别设置在所述圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且所述左限位圈的右端与所述左弧形调节板的左端中部连接，并且所述右限位圈的左端与所述右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘，并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，所述左调节螺栓的右端自固定盘的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓的右端穿过左限位圈的左端并伸入至左限位圈内部与所述左限位盘的左端同心连接，所述右调节螺栓的左端自固定盘的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与所述右限位盘的右端同心连接，所述左弧形夹板设置在左弧形调节板的右侧，并且所述多组左缓冲弹簧的右端均布与所述左弧形夹板左端连接，并且多组左缓冲弹簧的左端均布与所述左弧形调节板的右端连接，所述右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且所述多组右缓冲弹簧的左端均布与所述右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与所述右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管、两组左螺纹杆、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块、两组左限位方柱、两组右限位方柱、移动块、带动电机、摇臂、环形调节圈、安装板、限位环和伸缩杆，所述固定块的底端设置有方形固定槽，并且所述移动块的顶端与所述方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，所述两组左限位方柱的右端分别与移动块左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，所述两组右限位方柱的左端分别与移动块右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盘横向设置在移动块的底端，所述安装板的左端与所述方形固定槽左端内壁下侧连接，并且所述带动电机的后端与所述安装板的前端左侧连接，所述摇臂的左端与所述带动电机的前部输出端连接，并且摇臂的前端右侧设置有调节轴，所述限位环的后端与安装板的前端右侧连接，并且所述伸缩杆的左端与所述环形调节圈的右端中部连接，伸缩杆的右端自限位环的左端可滑动穿过限位环的内部并伸出至限位环的右端外界与所述移动块的左端连接，所述调节轴的前端自环形调节圈的后端插入至环形调节圈的内部，所述工作台顶端的左前侧和左后侧均设置有左固定槽，并且两组左固定槽内部均固定设置有左滚珠轴承，所述两组左螺纹管的底端分别插入并固定安装至两组左滚珠轴承的顶端内部，所述两组左螺纹杆的顶端分别与所述固定块底端的左前侧和左后侧连接，并且两组左螺纹杆的底端分别插入并螺装至两组左螺纹管的顶端内部，所述工作台顶端的右前侧和右后侧均设置有右固定槽，并且两组右固定槽内部均固定设置有右滚珠轴承，所述两组右螺纹管的底端分别插入并固定安装至两组右滚珠轴承的顶端内部，所述两组右螺纹杆的顶端分别与所述固定块底端的右前侧和右后侧连接，并且两组右螺纹杆的底端分别插入并螺装至两组右螺纹管的顶端内部。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括安装螺栓，所述打磨砂盘设置为杯型砂盘，并且打磨砂轮的顶端内壁上中部设置有上下贯穿的安装通孔，所述移动块的底端中部设置有安装螺纹孔，并且所述安装螺栓的顶端自打磨砂轮的底端内部穿过安装通孔插入并螺装至安装螺纹孔内部。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括防滑胶垫，所述防滑胶垫设置在移动块与打磨砂盘之间。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左限位杆和右限位杆，所述左限位杆的右端的前侧和后侧分别与所述两组左限位方柱的左端连接，并且所述右限位杆左端的前侧和后侧分别与两组右限位方柱的右端连接。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左把套和右把套，所述左把套和右把套分别固定套装在所述左限位杆和右限位杆的外侧中部。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，还包括左上固定板、左下固定板、右上固定板、右下固定板、两组左滑柱和两组右滑柱，所述左上固定板的右端与所述固定块的左端连接，并且所述左下固定板的左端与所述工作台的左端连接，所述两组左滑柱的顶端分别与所述左上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组左滑柱的底端分别自左下固定板顶端的前侧和后侧穿过左下固定板的内部并伸出至左下固定板的底端外界，并且两组左滑柱分别与左下固定板内部的前侧和后侧滑动配合，所述右下固定板的左端与所述固定块的右端连接，并且所述右下固定板的左端与所述工作台的右端连接，所述两组右滑柱的顶端分别与所述右上固定板底端的前侧和后侧连接，并且两组右滑柱的底端分别自右下固定板顶端的前侧和后侧穿过右下固定板的内部并伸出至右下固定板的底端外界，并且两组右滑柱分别与右下固定板内部的前侧和后侧滑动配合。本技术的一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，本文档来自技高网...
【技术保护点】
1.一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台(1)和四组支腿(2)，四组支腿(2)的顶端分别与工作台(1)底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台(1)的顶端右侧放置有打磨砂盘(3)；其特征在于，包括固定盘(4)、左弧形调节板(5)、右弧形调节板、左弧形夹板(6)、右弧形夹板、左调节螺栓(7)、右调节螺栓、左限位圈(8)、右限位圈、多组左缓冲弹簧(9)和多组右缓冲弹簧，所述固定盘(4)的底端与所述工作台(1)的顶端中部连接，并且固定盘(4)的顶端中部设置有圆形放置槽，所述圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，所述左弧形调节板(5)和右弧形调节板分别设置在所述圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且所述左限位圈(8)的右端与所述左弧形调节板(5)的左端中部连接，并且所述右限位圈的左端与所述右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘(10)，并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，所述左调节螺栓(7)的右端自固定盘(4)的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓(7)的右端穿过左限位圈(8)的左端并伸入至左限位圈(8)内部与所述左限位盘(10)的左端同心连接，所述右调节螺栓的左端自固定盘(4)的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与所述右限位盘的右端同心连接，所述左弧形夹板(6)设置在左弧形调节板(5)的右侧，并且所述多组左缓冲弹簧(9)的右端均布与所述左弧形夹板(6)左端连接，并且多组左缓冲弹簧(9)的左端均布与所述左弧形调节板(5)的右端连接，所述右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且所述多组右缓冲弹簧的左端均布与所述右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与所述右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管(11)、两组左螺纹杆(12)、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块(13)、两组左限位方柱(14)、两组右限位方柱、移动块(15)、带动电机(16)、摇臂(17)、环形调节圈(18)、安装板(19)、限位环(20)和伸缩杆(21)，所述固定块(13)的底端设置有方形固定槽，并且所述移动块(15)的顶端与所述方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，所述两组左限位方柱(14)的右端分别与移动块(15)左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱(14)的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，所述两组右限位方柱的左端分别与移动块(15)右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盘(3)横向设置在移动块(15)的底端，所述安装板(19)的左端与所述方形固定槽左端内壁下侧连接，并且所述带动电机(16)的后端与所述安装板(19)的前端左侧连接，所述摇臂(17)的左端与所述带动电机(16)的前部输出端连接，并且摇臂(17)的前端右侧设置有调节轴，所述限位环(20)的后端与安装板(19)的前端右侧连接，并且所述伸缩杆(21)的左端与所述环形调节圈(18)的右端中部连接，伸缩杆(21)的右端自限位环(20)的左端可滑动穿过限位环(20)的内部并伸出至限位环(20)的右端外界与所述移动块(15)的左端连接，所述调节轴的前端自环形调节圈(18)的后端插入至环形调节圈(18)的内部，所述工作台(1)顶端的左前侧和左后侧均设置有左固定槽，并且两组左固定槽内部均固定设置有左滚珠轴承，所述两组左螺纹管(11)的底端分别插入并固定安装至两组左滚珠轴承的顶端内部，所述两组左螺纹杆(12)的顶端分别与所述固定块(13)底端的左前侧和左后侧连接，并且两组左螺纹杆(12)的底端分别插入并螺装至两组左螺纹管(11)的顶端内部，所述工作台(1)顶端的右前侧和右后侧均设置有右固定槽，并且两组右固定槽内部均固定设置有右滚珠轴承，所述两组右螺纹管的底端分别插入并固定安装至两组右滚珠轴承的顶端内部，所述两组右螺纹杆的顶端分别与所述固定块(13)底端的右前侧和右后侧连接，并且两组右螺纹杆的底端分别插入并螺装至两组右螺纹管的顶端内部。...
【技术特征摘要】
1.一种用于晶圆生产加工的表面研磨装置，包括工作台(1)和四组支腿(2)，四组支腿(2)的顶端分别与工作台(1)底端的左前侧、左后侧、右前侧和右后侧连接，工作台(1)的顶端右侧放置有打磨砂盘(3)；其特征在于，包括固定盘(4)、左弧形调节板(5)、右弧形调节板、左弧形夹板(6)、右弧形夹板、左调节螺栓(7)、右调节螺栓、左限位圈(8)、右限位圈、多组左缓冲弹簧(9)和多组右缓冲弹簧，所述固定盘(4)的底端与所述工作台(1)的顶端中部连接，并且固定盘(4)的顶端中部设置有圆形放置槽，所述圆形放置槽的左端内壁和右端内壁分别横向设置左螺纹通孔和右螺纹通孔，并且左螺纹通孔和右螺纹通孔均与外界相通，所述左弧形调节板(5)和右弧形调节板分别设置在所述圆形放置槽内部的左侧和右侧，并且所述左限位圈(8)的右端与所述左弧形调节板(5)的左端中部连接，并且所述右限位圈的左端与所述右弧形调节板的右端中部连接，左限位旋内部可转动设置有左限位盘(10)，并且右限位圈内部可转动设置有右限位盘，所述左调节螺栓(7)的右端自固定盘(4)的左端螺装至左螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且左调节螺栓(7)的右端穿过左限位圈(8)的左端并伸入至左限位圈(8)内部与所述左限位盘(10)的左端同心连接，所述右调节螺栓的左端自固定盘(4)的右端螺装至右螺纹通孔内部并旋入至圆形放置槽内部，并且右调节螺栓的左端穿过右限位圈的右端并伸入至右限位圈内部与所述右限位盘的右端同心连接，所述左弧形夹板(6)设置在左弧形调节板(5)的右侧，并且所述多组左缓冲弹簧(9)的右端均布与所述左弧形夹板(6)左端连接，并且多组左缓冲弹簧(9)的左端均布与所述左弧形调节板(5)的右端连接，所述右弧形夹板设置在右弧形调节板的左侧，并且所述多组右缓冲弹簧的左端均布与所述右弧形夹板右端连接，并且多组右缓冲弹簧的右端均布与所述右弧形调节板的左端连接；还包括两组左螺纹管(11)、两组左螺纹杆(12)、两组右螺纹管、两组右螺纹杆、固定块(13)、两组左限位方柱(14)、两组右限位方柱、移动块(15)、带动电机(16)、摇臂(17)、环形调节圈(18)、安装板(19)、限位环(20)和伸缩杆(21)，所述固定块(13)的底端设置有方形固定槽，并且所述移动块(15)的顶端与所述方形固定槽的顶端内壁可滑动接触，所述两组左限位方柱(14)的右端分别与移动块(15)左端的前侧和后侧连接，并且两组左限位方柱(14)的左端分别横向可滑动穿过方形固定槽的左端内壁的前侧和后侧并伸出至板的左端外界，所述两组右限位方柱的左端分别与移动块(15)右端的前侧和后侧连接，并且两组右限位方柱的右端分别横向可滑动穿过方形固定槽的右端内壁的前侧和后侧并伸出至板的右端外界，所述打磨砂盘(3)横向设置在移动块(15)的底端，所述安装板(19)的左端与所述方形固定槽左端内壁下侧连接，并且所述带动电机(16)的后端与所述安装板(19)的前端左侧连接，所述摇臂(17)的左端与所述带动电机(16)的前部输出端连接，并且摇臂(17)的前端右侧设置有调节轴，所述限位环(20)的后端与安装板(19)的前端右侧连接，并且所述伸缩杆(21)的左端与所述环形调节圈(18)的右端中部连接，伸缩杆(21)的右端自限位环(20)的左端可滑动穿过限位环(20)的内部并伸出至限位环(20)的右端外界与所述移动块(15)的左端连接，所述调节轴的前端自环形调节...
【专利技术属性】
技术研发人员：王昌华，
申请(专利权)人：江苏英锐半导体有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32
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