一种靶板制造技术

本实用新型专利技术涉及光电检测技术领域，提供了一种靶板。应用于红外波段光电系统分辨率检测中，包括：温控模块、设于所述温控模块上的第一区域以及设于所述第一区域上的第二区域，所述第二区域包括多个；所述第一区域和所述第二区域的红外辐射发射率不同。该靶板不受环境中其他热辐射源影响，抗干扰性强。

【技术实现步骤摘要】
一种靶板
本技术涉及光电检测
，尤其涉及一种靶板。
技术介绍
传统的靶板光电系统检测一般是基于黑体或者灰体与靶条之间的温度差异来进行，这种方式因为要精准控制黑体或者灰体与靶条之间的温差，所以仅适用于实验室环境的检测，不能用于室外或者周围有辐射源干扰的复杂环境。光电系统分辨率包含两部分，一部分是温度分辨率，即最小可分辨温差(MRTD)，另一部分空间分辨率。靶标作为光电系统检测功能和参数的标准，目前已经广泛用于各类光电系统的检测中。但绝大部分适用于只能室内实验室环境，特别是红外谱段光电系统的检测，能够用于野外复杂辐射环境的靶标很少。或者即使能够实现检测，也存在室外或者周围有辐射源干扰使检测数据不准确的问题。
技术实现思路
鉴于上述问题，本技术提出了一种靶板，以解决现有技术中红外红外光谱波段的光电系统不适用于室外或野外环境检测的问题。本技术的目的可通过以下技术措施来实现：本技术第一方面提供一种靶板，包括温控模块，所述靶板应用于红外波段光电系统中，还包括：设于所述温控模块上的第一区域以及设于所述第一区域上的第二区域，所述第二区域包括多个；所述第一区域和所述第二区域的红外辐射发射率不同；所述第一区域和所述第二区域共同构成所述靶板的工作区域。需要说明的是，在本技术中，第一区域可以为基板或靶条，相应地，第二区域可以为靶条或基板，只要第一区域的材料与第二区域的材料的红外辐射发射率不同，两者之间能够形成一定的发射率差异即可。可选地，所述靶板还包括基底，所述基底设置在所述温控模块和所述第一区域之间，用于为所述第一区域或第二区域提供温度控制。可选地，所述基底集成在所述温控模块的表面形成一个整体。可选地，所述第二区域可固定的连接在所述第一区域的表面上；或所述第二区域通过镀膜或涂覆的方式设于所述第一区域的表面上；或将所述第二区域材料填充在对所述第一区域的表面刻蚀后形成的刻蚀区域中。可选地，所述温控模块包括测温元件和温度控制元件，所述第一区域与所述温度控制元件连接，所述测温元件用于测量第一区域温度，所述温度控制元件用于根据测温元件的测量结果对所述第一区域进行升温或降温。可选地，所述第二区域与所述第一区域的红外辐射发射率差异为0.05～0.99。可选地，所述第一区域与所述第二区域的红外辐射发射率差异为0.69～0.99。可选地，所述基底通过导热胶与所述温度控制元件连接；和/或所述温度控制元件设于所述基底中。可选地，所述测温元件为热电偶、热电阻或热敏电阻中任意一种；和/或所述温度控制元件为半导体制冷器件、高阻值金属膜层、非金属半导体膜层、量子隧道材料膜层或电阻丝中的任意一种。与现有技术相比，本技术提供的靶板不仅适用于实验室环境的红外光谱段光电系统的分辨率检测，还能适用于室外或野外复杂辐射环境中对红外光谱段光电系统的分辨率检测，不受环境中其他热辐射源影响，提高了检测数据的准确性；本技术提供的测试方法简单、对比度精确可控，测试精度高。附图说明图1是本技术实施例提供的第一种靶板结构示意图；图2是本技术实实施例提供的第二种靶板结构示意图；图3是本技术实实施例提供的第三种靶板结构示意图；图4是本技术实实施例提供的第四种靶板结构示意图；图5是本技术实实施例提供的第五种靶板结构示意图；图6是本技术实施例提供的一种靶板装置。图中：1、靶条；2、基板；3、基底；4、温控模块；5、第一机构；6、第二机构；7、可调节三角架；8、靶板；9、外壳。具体实施方式为了使本技术的目的、技术方案及优点更加清楚明白，下面结合附图和具体实施例对本技术作进一步详细说明。应当理解，此处所描述的具体实施例仅用以解释本技术，并不用于限定本技术。为了使本揭示内容的叙述更加详尽与完备，下文针对本技术的实施方式与具体实施例提出了说明性的描述；但这并非实施或运用本技术具体实施例的唯一形式。实施方式中涵盖了多个具体实施例的特征以及用以建构与操作这些具体实施例的方法步骤与其顺序。然而，亦可利用其它具体实施例来达成相同或均等的功能与步骤顺序。本技术提供了一种靶板，请参阅图1至图5所示，该靶板从下到上依次包括自动温控模块4、基板2以及设在基板2表面上的靶条1，靶条1与基板2的红外辐射发射率不同，也就是说：所述靶条和基板在材料成分、材料晶体结构、材料厚度、材料表面状态中的一个或者几个不同。靶条1和基板2共同构成测试面。自动温控模块4包括测温元件和温度控制元件，该测温元件用于测量基板温度，并反馈给温度控制元件，温度控制元件根据反馈的结果对基板进行升温或降温；在本技术的一些实施例中，测温元件的测试精度控制在0.2℃以内。为了使得基底受热更均匀和稳定，在本技术的一些实施例中，如图1和图5中所示，在基板2和自动温控模块4之间还设有基底3，基底3由能够产生红外辐射的材料制成，基板2通过导热胶与基底3连接，而基底3通过导热胶与温度控制元件连接，因此自动温控模块4通过基底3为基板2提供均匀且稳定的温度控制，值得说明的是，基底3与温度控制元件也可以直接接触。在本技术的另一些实施例中，如图2中所示，温度控制元件集成在基底中，基底与自动温控模块一体化集成形成第一机构5，使得靶板的结构更简单化；在本技术的还有一些实施例中，如图4中所示，基底与基板合二为一形成基底板，基底板与自动温控模块一体化集成形成第二机构6，基底板与靶条1的红外辐射发射率不同。本技术提供的靶板是基于基板与靶条之间的较大发射率差异，以使得在相同温度下靶条与基板之间具有一定的辐射差异来实现对红外波段的光电系统分辨率进行检测。根据本技术的一些实施方式，靶条和基板的材料可以是红外辐射发射率不同的任意两种材料，例如靶条可以为金属材料(如铜、金、铁、铬或金铜混合物中的任意一种，当然也可以是其他金属材料)，基板可以为与上述靶条红外辐射发射率不同任一种材料，如石墨、木材、黑漆，或不同于靶条的金属材料或者材料与靶条相同，但是具有不同的厚度、晶体结构、或者表面形态等。当然，靶条也可以是非金属材料，此时基板可以为与靶条所使用材料红外辐射发射率不同的其他材料。本申请中靶条采用金属材料时，金属靶条对作为热辐射源的基底(或者基板)的红外热辐射具有向基底(或者基板)方向反射红外辐射的作用，使基板(或者基板)通过靶条向基板法向正方向的红外辐射保持低水平，或者趋近于零，也就是可以使靶条对基板法向正方向的红外辐射亮度保持低红外辐射亮度，或者达到红外辐射亮度与环境辐射亮度保持一致的效果；而基板(或者基底)辐射亮度可随着基底温度的升降变化而有较大的变化，进而使得靶条与基板(或者基底)的辐射亮度差随温度变化呈线性关系。优选靶条与基板的组合为铜和石墨，金和木材，铁和木材，黑漆和金和铜混合，两者材料可以互换，这些组合能够保证基板与靶条之间有较大的发射率差异，保证了两者之间有足够的辐射差异。根据本技术的另一些实施方式，靶条与基板的发射率差异可以为0.05～0.99，优选发射率差异在0.69～0.99之间，有利于分辨率测试结果更准确。可以通过本领域中任何合适的方式将靶条设置在基板的表面上，根据本技术的一些实施方式，靶条可以通过导热胶连接在基板上；也可以通过镀膜或涂覆的本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种靶板，包括温控模块，其特征在于，所述靶板应用于红外波段光电系统中，还包括：设于所述温控模块上的第一区域以及设于所述第一区域上的第二区域，所述第二区域包括多个；所述第一区域和所述第二区域的红外辐射发射率不同；所述第一区域和所述第二区域共同构成所述靶板的工作区域；所述温控模块包括测温元件和温度控制元件，所述第一区域与所述温度控制元件连接，所述测温元件用于测量第一区域温度，所述温度控制元件用于根据测温元件的测量结果对所述第一区域进行升温或降温；所述第一区域为基板或靶条，相应地，所述第二区域为靶条或基板，相同温度下通过靶条与基板之间的辐射差异来实现对红外波段的光电系统分辨率进行检测。

【技术特征摘要】
1.一种靶板，包括温控模块，其特征在于，所述靶板应用于红外波段光电系统中，还包括：设于所述温控模块上的第一区域以及设于所述第一区域上的第二区域，所述第二区域包括多个；所述第一区域和所述第二区域的红外辐射发射率不同；所述第一区域和所述第二区域共同构成所述靶板的工作区域；所述温控模块包括测温元件和温度控制元件，所述第一区域与所述温度控制元件连接，所述测温元件用于测量第一区域温度，所述温度控制元件用于根据测温元件的测量结果对所述第一区域进行升温或降温；所述第一区域为基板或靶条，相应地，所述第二区域为靶条或基板，相同温度下通过靶条与基板之间的辐射差异来实现对红外波段的光电系统分辨率进行检测。2.如权利要求1所述的靶板，其特征在于，所述靶板还包括基底，所述基底设置在所述温控模块和所述第一区域之间，用于为所述第一区域或/和第二区域提供温度控制。3.如权利要求2所述的靶板，其特征在于，所述基底...

【专利技术属性】
技术研发人员：高劲松，赵贵军，张元，王笑夷，张国秀，
申请(专利权)人：长春奥普光电技术股份有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22