A manufacturing process and acoustic detection method for grid-type acoustic sensing structure is to prepare a photoresist die with grid groove on the substrate, scrape carbon nanotubes and polyvinyl alcohol on the photoresist die, heat and shape the photoresist die with grid structure in the groove, and then place the photoresist die in the solution of soluble photoresist, sacrificing the photoresist die. A baseless grid structure is obtained, and gilded on the grid structure to obtain the grid-type sensing structure. The acoustic detection method of the grid-type sensing structure is to create a magnetic field environment and place the grid-type sensing structure in the magnetic field environment. The direction of the magnetic induction line in the magnetic field environment is nearly parallel to one side of the grid-type sensing structure, and along the grid in the direction of the non-parallel magnetic induction line. The other side of the square grid of a type of sensor structure leads out a wire to form a closed loop to obtain the induced current signal, and the manufacturing process of the invention is simple, and the weak sound wave transmission in the air medium can be detected.
【技术实现步骤摘要】
一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法
本专利技术属于微纳制造
,具体涉及一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法。
技术介绍
随着人类社会进入信息化时代,对信息进行感知、采集、转换、传输和处理的信息技术已经渗透到社会的各个领域并发挥着越来越重要的作用,而完成这些功能的器件也已经成为各个应用领域中不可或缺的重要技术工具。作为信息采集系统的首要部件,传感器是实现现代化测量和自动控制的主要环节,它既是现代信息产业的源头,也是社会在进入信息化时代后赖以生存与发展的物质与技术基础。声学传感器作为传感器的一种,是整个声探测系统中的首要部件,在现代社会中也有着无法取缔的地位,同时,由于声音依靠介质传播,声学传感器也能应用于微流动传感上,目前多种传感机制的声学传感器相继开发,然而压阻传感器与电容传感器往往测试系统较为复杂,压电传感器往往需要对材料进行防潮处理。基于电磁感应原理的传感器件具有频响范围宽、响应速度快并且能够直接反应微流体振动的特点,利用切割磁感线产生的动生电动势制备自供电传感器,是一种新型检测微流动的传感器件。要实现声波等以微流体振动的方式传播的信号的检测,需要传感结构在具有低质量的前提下,具有较高的强度和柔性,且传感结构能够随着介质的振动发生相应的振动,从而辨识微小振动。目前已报道的检测手段多数是基于压电原理、压阻原理及电容原理,存在制备工艺复杂,无法直观地反应介质振动本身的问题。
技术实现思路
为了克服上述现有技术的缺点,本专利技术的目的在于提供一种网格型声学传感结构的制造工艺及声波检测方法,制造工艺简单,制备的网格型传感结构在微流动检测 ...
【技术保护点】
1.一种网格型声学传感结构的制造工艺,其特征在于,包括以下步骤:第一步,光刻胶模具制备:使用光刻技术在基底(1)上制备一个网格凹槽的光刻胶模具(2),并对光刻胶模具(2)进行表面处理,使其利于后续填充充分;第二步,刮涂制备网格结构:在光刻胶模具(2)上使用刮刀(3)刮涂两次,材料分别使用碳纳米管和聚乙烯醇,在烘台上加热至定型,使用去离子水清除表面残留物后,制备出凹槽内有网格型结构(4)的光刻胶模具(2);第三步,牺牲模具获得网格型传感结构:将凹槽内制有网格型结构(4)的光刻胶模具(2)置于可溶解光刻胶的溶液中,牺牲光刻胶模具(2)获得无基底的网格型结构(4),在网格型结构(4)上镀金属,以提高其导电性,获得网格型传感结构(5)。
【技术特征摘要】
1.一种网格型声学传感结构的制造工艺,其特征在于,包括以下步骤:第一步,光刻胶模具制备:使用光刻技术在基底(1)上制备一个网格凹槽的光刻胶模具(2),并对光刻胶模具(2)进行表面处理,使其利于后续填充充分;第二步,刮涂制备网格结构:在光刻胶模具(2)上使用刮刀(3)刮涂两次,材料分别使用碳纳米管和聚乙烯醇,在烘台上加热至定型,使用去离子水清除表面残留物后,制备出凹槽内有网格型结构(4)的光刻胶模具(2);第三步,牺牲模具获得网格型传感结构:将凹槽内制有网格型结构(4)的光刻胶模具(2)置于可溶解光刻胶的溶液中,牺牲光刻胶模具(2)获得无基底...
【专利技术属性】
技术研发人员:陈小明,李颖杰,邵金友,田洪淼,李祥明,王春慧,
申请(专利权)人:西安交通大学,
类型:发明
国别省市:陕西,61
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