The invention discloses a parallel structure and a processing method of an embedded channel micro cantilever beam, which belongs to the field of MEMS. The invention is to form a microchannel inside the micro-cantilever beam, integrate the micro-fluidic chip into the micro-cantilever sensor, and connect two or more micro-cantilever beams with degrees of freedom. The parallel structure of the micro-cantilever beam is fabricated by a SON-based processing method, which can form both microchannels and cover plates. At the same time, combined with microfluidic chip technology, the separation, monitoring and detection of micro-nanoparticles and cells can be realized. The overall structure of the micro-cantilever beam includes the fixed end of the micro-cantilever beam, the embedded channel, the substrate and cover of the embedded channel, and the entrance and exit of the embedded channel. The invention is a new type of micro cantilever beam structure, the processing method is more concise, the application field is greatly increased by combining the micro fluidic chip technology with the micro cantilever beam sensor technology, and the detection accuracy is greatly improved.
【技术实现步骤摘要】
内嵌通道微悬臂梁的一种并联结构及加工方法
本专利技术主要涉及到集成电路中MEMS(Micro-Electro-MechanicalSystem)领域,特指一种新型的内嵌通道式的微悬臂梁装置、加工方法。
技术介绍
随着微纳米技术的快速发展,一种新型的交叉学科微机电系统技术-MEMS技术得到了飞速的发展。到1990年代,以微压力传感器和微加速度传感器为代表的微机电传感器凭借低成本、小体积、高性能的优势,成为精密传感器发展的主流。较成功的微机电传感器,如谐振式压力传感器和力平衡式电容微加速度传感器都采用了微悬臂梁结构。微悬臂梁装置作为一种最简单的MEMS器件之一,也是构建其他复杂MEMS器件的基本单元,一切的MEMS技术的优点都在它身上得以体现,对微悬臂梁的研究也在更加的深入。传统的微悬臂梁传感器主要为矩形状,在单晶硅的微悬臂梁骨架上键合一层特异性的吸附层,利用分子的特异吸附性将被测分子吸附到吸附层,从而达到检测分子的目的。但这种微悬臂梁的不足之处在于无法对液相的检测物进行检测,且无法工作在液体环境中。微流控芯片的目标是把整个化验室的功能,包括采样、稀释、加试剂、反应、分离、检测等集成在微芯片上,是当前微全分析系统领域发展的重点,但其缺少传感的特性。申请号为2016104117634的专利文献中公开了“一种称量DNA分子质量的微悬臂梁装置”,所提出的微悬臂梁装置上层有所需要称重DNA的吸附层,自由端上下侧各有一个微位移传感器,通过DNA吸附层吸附所称量的DNA分子,从而使微悬臂梁自由端发生弯曲形变,再由微位移传感器检测出形变量。但是,这种微悬臂梁装置在DNA分子 ...
【技术保护点】
1.一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构,其特征在于,包括相连接的固定端(102)和梁,所述梁至少为两个,所述梁均有固定端(102),梁可以互连也可单独配置;各梁的自由端连接在一起;各梁的内部通道在梁的自由端处相交;所述梁的底部是衬底,梁的上端面是盖板(103),衬底和盖板(103)之间为内嵌通道(105),内嵌通道(105)至少带有内嵌通道微流体入口(101),所述衬底、盖板(103)和固定端(102)为一体结构。
【技术特征摘要】
1.一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构,其特征在于,包括相连接的固定端(102)和梁,所述梁至少为两个,所述梁均有固定端(102),梁可以互连也可单独配置;各梁的自由端连接在一起;各梁的内部通道在梁的自由端处相交;所述梁的底部是衬底,梁的上端面是盖板(103),衬底和盖板(103)之间为内嵌通道(105),内嵌通道(105)至少带有内嵌通道微流体入口(101),所述衬底、盖板(103)和固定端(102)为一体结构。2.根据权利要求1所述的一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构,其特征在于,整个内嵌通道(105)根据需要成一字型,或者矩形通道,或者环形通道,或者蛇形通道,或者树状型通道,或者十字分叉通道。3.根据权利要求1所述的一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构,其特征在于,所述梁为等截面梁或者变截面梁。4.根据权利要求1所述的一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构,其特征在于,当固定端(102)为双侧时,多个内嵌通道式的微悬臂梁的梁平行排列,梁两端的固定端(102)之间依次固连组成平行内嵌通道式的微悬臂梁并联结构阵列。5.根据权利要求1所述的一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构,其特征在于,当固定端(102)为单侧或者环形固定端时,根据需要增加梁的数量,进而构成单侧内嵌通道式的微悬臂梁阵列或者环形内嵌通道式的微悬臂梁并联结构。6.一种根据权利要求1-5任意一项所述的一种内嵌通道式的微悬臂梁并联结构的加工...
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