气体流量调节装置及质量流量控制器制造方法及图纸

本实用新型专利技术提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器，其包括：阀口部件，在该阀口部件中设置有第一进气通道；推杆部件，在推杆部件中设置有第一通孔，且在第一通孔中设置有推杆，推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对；并且，推杆通过弹性隔膜与推杆部件弹性连接；驱动组件用于驱动推杆沿靠近或远离第一进气通道的方向移动，以使推杆的第一端面与第一进气通道的出气端接触密封或者分离。本实用新型专利技术提供的气体流量调节装置，其不仅可以简化结构、减少与气体接触的零件数量，而且可以避免因簧片失效而带来的故障。

Gas Flow Regulating Device and Mass Flow Controller

The utility model provides a gas flow regulating device and a mass flow controller, which comprises: a valve port component with a first inlet passage; a push rod component with a first through hole in the push rod component and a push rod in the first through hole, the first end face of the push rod is opposite to the outlet end of the first inlet passage; and the push rod passes through an elastic diaphragm; Elastically connected with the push rod component; the drive assembly is used to drive the push rod to move in the direction near or far from the first intake passage, so that the first end face of the push rod contacts and seals or separates from the exhaust end of the first intake passage. The gas flow regulating device provided by the utility model can not only simplify the structure, reduce the number of parts in contact with the gas, but also avoid the failure caused by the failure of the reed.

【技术实现步骤摘要】
气体流量调节装置及质量流量控制器
本技术涉及流量控制领域，具体地，涉及一种气体流量调节装置及质量流量控制器。
技术介绍
气体质量流量控制器(MassFlowController，MFC)用于对气体质量流量进行精密测量及控制。它们在半导体和集成电路工艺、特种材料学科、化学工业、石油工业、医药、环保和真空等多种领域的科研和生产中有着重要的应用。气体质量流量控制器通常由分流器、流量测量装置、流量调节装置以及控制电路板等装置组成。分流器用于按预定流量比例将气体分流至流量测量装置和分流器的内部通道中；气体流量调节装置设置在气体通道上，用于调节气体通道中的气体流量。控制电路板用于接收来自流量测量装置发送的流量检测信号，并根据该流量检测信号进行计算，并根据计算结果控制气体流量调节装置调节通过气体通道中的气体流量，直至该气体流量与设定流量值一致。现有的流量调节装置的阀芯部件、阀口部件结构复杂，制造加工难度大，废品率高，而且与气体接触的零件数量较多，由于对与气体接触的零件有特殊的材料要求和表面处理要求，导致零件加工难度、制作成本较高。此外，现有的流量调节装置利用两个簧片的弹性作用来实现阀芯部件与阀口部本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种气体流量调节装置，其特征在于，包括：阀口部件，在所述阀口部件中设置有第一进气通道；推杆部件，在所述推杆部件中设置有第一通孔，且在所述第一通孔中设置有推杆，所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端相对；并且，所述推杆通过弹性隔膜与所述推杆部件弹性连接；驱动组件，用于驱动所述推杆沿靠近或远离所述第一进气通道的方向移动，以使所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端接触密封或者分离。

【技术特征摘要】
1.一种气体流量调节装置，其特征在于，包括：阀口部件，在所述阀口部件中设置有第一进气通道；推杆部件，在所述推杆部件中设置有第一通孔，且在所述第一通孔中设置有推杆，所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端相对；并且，所述推杆通过弹性隔膜与所述推杆部件弹性连接；驱动组件，用于驱动所述推杆沿靠近或远离所述第一进气通道的方向移动，以使所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端接触密封或者分离。2.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，在所述阀口部件与推杆部件之间设置有环形的开度调整垫片，用于调节在所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端接触密封时，所述弹性隔膜的形变量。3.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述驱动组件包括：固定件，位于所述推杆部件的远离所述推杆的第一端面的一侧；压缩弹簧，设置在所述固定件与所述推杆之间；连接腔体，位于所述固定件的远离所述压缩弹簧的一侧，且所述连接腔体的一端贯穿所述固定件，并与所述压缩弹簧的靠近所述推杆的一端连接；所述连接腔体与所述固定件形成封闭空间，且在所述封闭空间中填充有压电材料；通过调节向所述压电材料施加的电压大小，来调节所述压电材料的伸长量，从而调节所述连接腔体随所述压电材料的伸长沿远离所述推杆的方向的位移量。4.根据权利要求3所述的气体流量调节装置，其特征在于，所述压缩弹簧处于被压缩状态，以在所述压电材料未通电时，在所述压缩弹簧的弹性作用下，使所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端接触密封。5.根据权利要求1所述的气体流量调节装置，其特征在于，在所述阀口部件中还设置有第一出气通道，所述第一出气通道的进气端在所述推杆的第一端面与所述第一进气通道的出气端分离时，与所述第一进气通道的出气端连通；所述气体流量调节装置还包括通道部件，所述通道部件位于所述阀口部件的远离所述推杆部件的一侧，且与所述阀口部件相互叠置，并且在所述通道部件中设置有第二进气通道和第二出气通道，其中，所述第二进气通道的出气...

【专利技术属性】
技术研发人员：杜井庆，何漫丽，苏乾益，
申请(专利权)人：北京七星华创流量计有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11