一种矩形压电振子驱动微流体阀制造技术

本实用新型专利技术涉及一种矩形压电振子驱动微流体阀，包括：矩形压电振子（1）、柔性支架（2）、阀座（3）、弹性悬架（4）、柔性阀塞（5）、和阀盖（6），其中：所述阀座上加工有流体进出口通道；所述柔性支架下端面利用环氧树脂胶粘贴于阀座上，其上端面将矩形压电振子粘贴于其上；所述弹性悬架粘贴于两个柔性阀塞的凹槽底部；所述柔性阀塞布置于流体进口的正上方，用来控制流体通断；当矩形压电振子通电时，其往复弯曲振动的同时，会在水平方向产生伸缩变形，带动与其连接的柔性支架以及弹性悬架的水平方向伸缩变形，引起柔性阀塞沿竖直方向上下运动，达到开闭阀的目的，同时，将矩形压电振子的水平伸缩位移进行了放大，提升了阀的流量调节范围。

A Rectangular Piezoelectric Vibrator Driven Microfluidic Valve

The utility model relates to a rectangular piezoelectric oscillator-driven micro-fluid valve, which comprises a rectangular piezoelectric oscillator (1), a flexible bracket (2), a seat (3), an elastic suspension (4), a flexible plug (5) and a valve cover (6), wherein a fluid inlet and outlet passage is machined on the valve seat; the lower end face of the flexible bracket is pasted on the valve seat by epoxy resin, and the upper end face is moment-shifted. The elastic suspension is attached to the bottom of the grooves of the two flexible plugs; the flexible plug is arranged directly above the fluid inlet to control the fluid opening; when the rectangular piezoelectric oscillator is electrified, the reciprocating bending vibration of the rectangular piezoelectric oscillator will produce the expansion deformation in the horizontal direction, driving the flexible support connected with it and the horizontal direction of the elastic suspension. The expansion deformation causes the flexible plug to move up and down along the vertical direction to open and close the valve. At the same time, the horizontal expansion displacement of the rectangular piezoelectric oscillator is enlarged, which enhances the flow regulation range of the valve.

【技术实现步骤摘要】
一种矩形压电振子驱动微流体阀
本技术属于流体驱动与控制领域的流量阀，具体涉及一种矩形压电振子驱动微流体阀。
技术介绍
在整个液、气压系统及相关应用设备中，阀作为该系统中的重要元件，实现对流体压力、流量和流向的控制，直接影响着液、气压系统的整个工作过程和工作性能。传统应用领域中对阀的要求主要是适合高压、大流量输出和精确控制。然而在过去的二十年中，伴随着微（纳）机电系统（MEMS/NEMS）的迅速发展，产生了一个新的领域被称为微（纳）流体。微流体技术中，往往需要微小型的器械甚至是微纳米级的控制和输出元件，如微（纳）流体阀、微（纳）流体泵、微（纳）压缩器等。目前压电驱动器应用在微流体中主要集中在微小型的截止阀或开关阀上。压电振子的频响高、输出精度高、功耗小，但其输出位移小，对阀的流量的调制范围有了很大的限制。
技术实现思路
为了解决现有矩形压电振子驱动微流体阀中压电振子输出位移小导致的阀的流量调制范围有限的问题，提出了一种矩形压电振子驱动微流体阀，该矩形压电振子驱动微流体阀由矩形压电振子（1）、柔性支架（2）、阀座（3）、弹性悬架（4）、柔性阀塞（5）、和阀盖（6）组成，当矩形压电振子通电时，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种矩形压电振子驱动微流体阀，包括：矩形压电振子（1）、柔性支架（2）、阀座（3）、弹性悬架（4）、柔性阀塞（5）、和阀盖（6），其中，所述阀座（3）上布置有流体入口（31）和流体出口（32），所述流体入口（31）位于所述阀座（3）的中心位置；所述两个柔性支架（2）布置于所述阀座（3）的上表面，且关于所述流体入口（31）对称；所述矩形压电振子（1）粘接在所述两个柔性支架（2）上端面；所述两个柔性支架（2）靠近所述阀盖（6）的一侧均布置有凹槽（21），且所述凹槽（21）位于所述两个柔性支架（2）的偏上位置；所述弹性悬架（4）布置于所述两个柔性支架（2）上的凹槽（21）内，且所述弹性悬架（4）...

【技术特征摘要】
1.一种矩形压电振子驱动微流体阀，包括：矩形压电振子（1）、柔性支架（2）、阀座（3）、弹性悬架（4）、柔性阀塞（5）、和阀盖（6），其中，所述阀座（3）上布置有流体入口（31）和流体出口（32），所述流体入口（31）位于所述阀座（3）的中心位置；所述两个柔性支架（2）布置于所述阀座（3）的上表面，且关于所述流体入口（31）对称；所述矩形压电振子（1）粘接在所述两个柔性支架（2）上端面；所述两个柔性支架（2）靠近所述阀盖（6）的一侧均布置有凹槽（21），且所述凹槽（21）位于所述两个柔性支架（...

【专利技术属性】
技术研发人员：吴越，刘江伟，
申请(专利权)人：长春隆美科技发展有限公司，
类型：新型
国别省市：吉林,22