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本实用新型提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器,其包括:阀口部件,在该阀口部件中设置有第一进气通道;推杆部件,在推杆部件中设置有第一通孔,且在第一通孔中设置有推杆,推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对;并且,推杆通过弹性隔膜与推杆部...该专利属于北京七星华创流量计有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过北京七星华创流量计有限公司授权不得商用。
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本实用新型提供一种气体流量调节装置及质量流量控制器,其包括:阀口部件,在该阀口部件中设置有第一进气通道;推杆部件,在推杆部件中设置有第一通孔,且在第一通孔中设置有推杆,推杆的第一端面与第一进气通道的出气端相对;并且,推杆通过弹性隔膜与推杆部...