The present invention aims to provide a position compensation method for calibration plate of direct-writing exposure machine to solve the problems of large calibration error and inadequate position accuracy in the prior art, including establishing a plane coordinate system on the calibration plate of the base plate platform, calibrating the position relationship between the fixed first phase camera and the movable second phase camera, and determining to The offset error values of a pair of phase cameras and a second pair of phase cameras; (2) Calculate the offset vectors for each calibration point along the X-axis and Y-axis directions of the coordinate system respectively, and obtain the error compensation values for each calibration point; (2) Calculate the error compensation values of coordinate point P on PCB board on the substrate platform by linear interpolation method, and compensate the position of coordinate point P by the calculated error compensation values. The real coordinates of coordinate point P are obtained.
【技术实现步骤摘要】
一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法
本专利技术涉及光刻
,具体是一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法。
技术介绍
光刻技术是用于在衬底表面上印刷具有特征的构图。这样的衬底可包括用于制造半导体器件、多种集成电路、平面显示器(例如液晶显示器)、电路板、生物芯片、微机械电子芯片、光电子线路芯片等的基片。直写光刻技术以替代传统的掩膜版或菲林底片等曝光的影像直接转移技术,在半导体及PCB生产领域有着非常重要的作用。直写式光刻机在生产装配过程中,因基板平台、系统及曝光组件等都存在一定的误差和位置偏差,导致在后期调试测量时会存在曝光基底的不同区域所使用的曝光参数和对准参数不同,有一定的误差,影响曝光不同区域成像结果的质量。为此,需要对基板平台上的PCB板Mark点的标定,现有技术中,PCB板上Mark点的标定采用一维标定的方法,通过测量标定板上面刻蚀图案标志的坐标,通常是直接将测量得到的实际坐标值减去理想的坐标值,由于标定板的涨缩特性,导致标定误差较大,现有技术中的方法精度不够,为了获取准确的图案标志的坐标位置,有必要提供一种标定板的位置补偿方法来解决以上不足之处。
技术实现思路
本专利技术旨在提供一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法,以解决现有技术中标定误差较大、位置精度不够的问题。其技术方案是这样的:一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1:在基板平台的标定板上建立平面坐标系,对固定设置的第一对位相机和能够移动的第二对位相机的位置关系进行标定,确定到第一对位相机与第二对位相机的偏移误差值;步骤S2:分别沿坐 ...
【技术保护点】
1.一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1:在基板平台的标定板上建立平面坐标系,对固定设置的第一对位相机和能够移动的第二对位相机的位置关系进行标定,确定到第一对位相机与第二对位相机的偏移误差值;步骤S2:分别沿坐标系的X轴和Y轴方向对每个标定点计算偏移向量,得到每个标定点的误差补偿值;步骤S3:通过线性插值法计算基板平台上的PCB板上坐标点P的误差补偿值,将计算得到的误差补偿值对坐标点P进行位置补偿,得到坐标点P的真实坐标。
【技术特征摘要】
1.一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法,其特征在于,包括以下步骤:步骤S1:在基板平台的标定板上建立平面坐标系,对固定设置的第一对位相机和能够移动的第二对位相机的位置关系进行标定,确定到第一对位相机与第二对位相机的偏移误差值;步骤S2:分别沿坐标系的X轴和Y轴方向对每个标定点计算偏移向量,得到每个标定点的误差补偿值;步骤S3:通过线性插值法计算基板平台上的PCB板上坐标点P的误差补偿值,将计算得到的误差补偿值对坐标点P进行位置补偿,得到坐标点P的真实坐标。2.根据权利要求1所述的一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法,其特征在于,步骤S1具体如下:以基板平台的标定板的一个顶角为原点、标定板的横向为X轴、标定板的纵向为Y轴建立坐标系,基板平台移动到标定点Mark1位置,第一对位相机抓取标定点Mark1,移动向量为第二对位相机移动抓取标定点Mark1,移动向量则第一对位相机与第二对位相机的位置关系为得到第一对位相机与第二对位相机的偏移误差值:其中,和分别为X轴和Y轴上的偏移向量。3.根据权利要求2所述的一种用于直写式曝光机的标定板的位置补偿方法,其特征在于,步骤S2具体如下:基板平台沿X轴方向移动进行标定,每次步进距离为StepX,移动向量设定下一个标定点为标定点Mark2X,则标定点Mark2X相对于标定点Mark1的偏移向量为依次标定X轴方向上的所有标定点,标定点MarknX相对于标定点Mark(n-1)X的偏移向量为在X轴方向上的第二对位相机的偏移向量的集合通过矩阵AX表...
【专利技术属性】
技术研发人员:廖绍良,徐国栋,张雷,李伟成,
申请(专利权)人:苏州源卓光电科技有限公司,
类型:发明
国别省市:江苏,32
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