The invention discloses a CrSi2 thin film resistor of the invention. Through the design of the resistance structure of CrSi2 thin film and the optimization of the laser trimming method, the resistance design structures of five-stage parallel adjustable region and two continuous trimming adjustable regions are developed, so that most of the interrupted CrSi2 thin film resistors after trimming do not participate in conduction, and the influence of laser trimming on the resistance stability of CrSi2 thin film is minimized. A laser trimming method for CrSi2 thin film resistance is also disclosed, in which different adjustable zones are selected according to the actual value of the resistance. When the test accuracy exceeds the accuracy of the laser trimmer itself, the trimmed accuracy is tested with an external measuring table, which overcomes the restriction of the precision resolution of the laser trimmer on the measured data and further improves the accuracy. The temperature coefficient of resistance of Si2 thin film reaches (+10 ppm/). The accuracy of resistance reaches (+0.01%).
【技术实现步骤摘要】
一种CrSi2薄膜电阻及其激光修调方法
本专利技术属于薄膜电阻结构修调
,尤其是一种CrSi2薄膜电阻及其激光修调方法。
技术介绍
混合集成电路是一种将各种功能的IC芯片在预先做好导体、电感、电容等组合图案的绝缘基片上进行电气互联的组装电路。基片上的薄膜电阻在电路中起到信号分流等作用,其精度、稳定性等电性能直接影响着电路精度和分辨率。随着混合集成电路向高精度、高稳定性方向发展,对薄膜电阻电性能提出了更高的要求。尤其是精密电流基准源、过流保护器、高共模差分运算放大器等电路,要求薄膜电阻温度系数TCR为±10ppm/℃;电阻精度为±0.01%。通常情况下CrSi2薄膜电阻其成膜阻值一致性为30%左右,通过激光修调工艺实现电路要求标称值及精度,由于CrSi2薄膜结构特性以及激光修调的影响,目前生产线常规CrSi2薄膜电阻温度系数TCR为±50ppm/℃;且激光修调机的测量精度只有±0.1%、电阻修调精度为±0.1%,无法满足高精密电路设计需求。
技术实现思路
本专利技术的目的在于克服上述现有技术的缺点,提供一种CrSi2薄膜电阻及其激光修调方法。为达到上述目的,本专利技术采用以下技术方案予以实现:一种CrSi2薄膜电阻,包括五级并联可调区和两个连续修调可调区,五级并联可调区包括依次并联的第一可调区、第二可调区、第三可调区、第四可调区和第五可调区,两个连续修调可调区包括第六可调区和第七可调区;其中,第一可调区、第二可调区、第三可调区、第四可调区和第五可调区分别包括待打断部分和导电部分,待打断部分为1方数,导电部分方数之比依次为16:8:4:2:2。一种CrSi2 ...
【技术保护点】
1.一种CrSi2薄膜电阻,其特征在于,包括五级并联可调区和两个连续修调可调区,五级并联可调区包括依次并联的第一可调区(1)、第二可调区(2)、第三可调区(3)、第四可调区(4)和第五可调区(5),两个连续修调可调区包括第六可调区(6)和第七可调区(7);其中,第一可调区(1)、第二可调区(2)、第三可调区(3)、第四可调区(4)和第五可调区(5)分别包括待打断部分和导电部分,待打断部分为1方数,导电部分方数之比依次为16:8:4:2:2。
【技术特征摘要】
1.一种CrSi2薄膜电阻,其特征在于,包括五级并联可调区和两个连续修调可调区,五级并联可调区包括依次并联的第一可调区(1)、第二可调区(2)、第三可调区(3)、第四可调区(4)和第五可调区(5),两个连续修调可调区包括第六可调区(6)和第七可调区(7);其中,第一可调区(1)、第二可调区(2)、第三可调区(3)、第四可调区(4)和第五可调区(5)分别包括待打断部分和导电部分,待打断部分为1方数,导电部分方数之比依次为16:8:4:2:2。2.一种根据权利要求1所述的CrSi2薄膜电阻的激光修调方法,其特征在于,包括以下操作:当70%≤R<83.33%时,则打断第一可调区(1);当83.33%≤R<90.91%时,则打断第二可调区(2);当90.91%≤R<95.24%时,则打断第三可调区(3);当95.24%≤R<97.56%时,则打断第四可调区(4)或第五可调区(5);当97.56%≤R<99.92%时,则连续修调第六可调区(6);当99.92%≤R<100.01%时,则连续修调第七可调区(7);其中,R为Rs/Rb...
【专利技术属性】
技术研发人员:杨小爱,袁忠文,王勇,
申请(专利权)人:西安微电子技术研究所,
类型:发明
国别省市:陕西,61
还没有人留言评论。发表了对其他浏览者有用的留言会获得科技券。