一种化学水浴沉积镀膜装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种化学水浴沉积镀膜装置，其包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。本实用新型专利技术的化学水浴沉积镀膜装置，通过第一伸缩机构和第二伸缩机构交替伸缩带动反应装置摆动，使反应装置内的反应药液混合效果较好，镀设的膜层均匀度较高，且反应药液使用量相对较小。

【技术实现步骤摘要】
一种化学水浴沉积镀膜装置
本技术涉及化学水浴沉积
，尤其涉及一种化学水浴沉积镀膜装置。
技术介绍
化学水浴沉积法(ChemicalBathDeposition，简称CBD)近年来广受关注，该方法的优点主要在于：(1)采用中温液相控制，能耗比较少，可以控制粒子的形状和尺寸；(2)原料价格廉价，反应快速、纯度高且结晶良好；(3)在水热过程中，可以通过调节反应液浓度、反应温度、反应时间、溶液PH值等因素，有效地控制反应过程和晶体生长。化学水浴沉积法因其优越性，在太阳能电池领域被广泛应用。但现有技术中的化学水浴沉积镀膜装置的搅拌方式主要有两种：气搅拌和外循环搅拌。气搅拌是在化学水浴沉积镀膜装置内设置气体管路，通过向化学水浴沉积镀膜装置内通入气体搅拌反应液，但镀膜过程中气体管路容易被沉积的化学颗粒堵塞，造成气体管路产生的气泡分布不均，进而造成膜层厚度不均匀；外循环搅拌是在化学水浴沉积镀膜装置外部设置外循环管路，通过抽取药液使其在外循环管路中循环进而实现药液搅拌，镀膜过程中，药液在外循环管路中循环，容易造成热量损失，并且药液容易沉积在外循环管路中，长时间的沉积会造成外循环管路堵塞。
技术实现思路
有鉴于现有技术中存在的上述问题，本技术提供了一种药液混合均匀、镀膜效果较好的化学水浴沉积镀膜装置。为实现上述目的，本技术提供了一种化学水浴沉积镀膜装置，其包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。在一些实施例中，所述化学水浴沉积镀膜装置还包括基座，所述反应装置安装在所述基座上，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均支撑于所述基座的底部，用于通过所述基座带动所述反应装置摆动。在一些实施例中，所述基座为矩形基座，所述矩形基座包括相对的第一边和第二边，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构的数量均为多个，多个所述第一伸缩机构沿所述第一边均匀分布，多个所述第二伸缩机构沿所述第二边均匀分布。在一些实施例中，所述第一伸缩机构包括第一驱动装置和第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的伸出端与所述基座连接，所述第一驱动装置用于驱动所述第一伸缩杆伸缩；所述第二伸缩机构包括第二驱动装置和第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的伸出端与所述基座连接，所述第二驱动装置用于驱动所述第二伸缩杆伸缩。在一些实施例中，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均为气缸。在一些实施例中，所述反应装置相对于水平面的摆动角度小于等于10°。在一些实施例中，所述反应装置包括加热板、围挡和反应盖，所述加热板用于固定待沉积件；所述围挡的底部与所述待沉积件的镀膜面密封连接，所述反应盖盖设在所述围挡的顶部并与所述围挡和所述待沉积件的镀膜面围成用于容纳反应药液的空间；或所述围挡的底部与所述加热板密封连接，所述反应盖盖设在所述围挡的顶部并与所述围挡和所述加热板围成用于容纳反应药液和待沉积件的空间。在一些实施例中，所述加热板上设有多个吸附孔，多个所述吸附孔均与抽气管路连接，多个所述吸附孔用于吸附固定待沉积件。在一些实施例中，多个所述吸附孔在所述加热板上等间距均匀分布。在一些实施例中，相邻所述吸附孔之间的间距为25～30厘米，所述吸附孔的孔径为2～4mm。与现有技术相比，本技术的化学水浴沉积镀膜装置，通过第一伸缩机构和第二伸缩机构交替伸缩带动反应装置摆动，使反应装置内的反应药液混合效果较好，镀设的膜层均匀度较高，且反应药液使用量相对较小。应当理解，前面的一般描述和以下详细描述都仅是示例性和说明性的，而不是用于限制本技术。本申请文件提供本技术中描述的技术的各种实现或示例的概述，并不是所公开技术的全部范围或所有特征的全面公开。附图说明在不一定按比例绘制的附图中，相同的附图标记可以在不同的视图中描述相似的部件。具有字母后缀或不同字母后缀的相同附图标记可以表示相似部件的不同实例。附图大体上通过举例而不是限制的方式示出各种实施例，并且与说明书以及权利要求书一起用于对所公开的实施例进行说明。在适当的时候，在所有附图中使用相同的附图标记指代同一或相似的部分。这样的实施例是例证性的，而并非旨在作为本装置或方法的穷尽或排他实施例。图1和图2分别为本技术涉及的化学水浴沉积镀膜装置的第一种实施方式的不同视角的结构示意图；图3为本技术涉及的化学水浴沉积镀膜装置的第一种实施方式的加热板的结构示意图；图4和图5分别为本技术涉及的化学水浴沉积镀膜装置的第二种实施方式的不同视角的结构示意图。附图标记：1-反应盖；2-围挡；3-待沉积件；4-加热板；5-吸附孔；6-基座；7-第一伸缩机构；8-第二伸缩机构；9-密封圈。具体实施方式为了使得本技术实施例的目的、技术方案和优点更加清楚，下面将结合本技术实施例的附图，对本技术实施例的技术方案进行清楚、完整地描述。显然，所描述的实施例是本技术的一部分实施例，而不是全部的实施例。基于所描述的本技术的实施例，本领域普通技术人员在无需创造性劳动的前提下所获得的所有其他实施例，都属于本技术保护的范围。除非另外定义，本技术使用的技术术语或者科学术语应当为本技术所属领域内具有一般技能的人士所理解的通常意义。本技术中使用的“第一”、“第二”以及类似的词语并不表示任何顺序、数量或者重要性，而只是用来区分不同的组成部分。“包括”或者“包含”等类似的词语意指出现该词前面的元件或者物件涵盖出现在该词后面列举的元件或者物件及其等同，而不排除其他元件或者物件。“连接”或者“相连”等类似的词语并非限定于物理的或者机械的连接，而是可以包括电性的连接，不管是直接的还是间接的。“上”、“下”、“左”、“右”等仅用于表示相对位置关系，当被描述对象的绝对位置改变后，则该相对位置关系也可能相应地改变。为了保持本技术实施例的以下说明清楚且简明，本技术省略了已知功能和已知部件的详细说明。参见图1、图2所示，为本技术的化学水浴沉积镀膜装置的第一中实施方式，其包括反应装置、第一伸缩机构7和第二伸缩机构8，第一伸缩机构7和第二伸缩机构8均支撑于反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动反应装置摆动。镀膜时，将待沉积件3放置在反应装置内，并在反应装置内填充反应药液，然后控制第一伸缩机构7和第二伸缩机构8交替伸缩，从而带动反应装置摆动，使反应装置内的反应药液达到搅拌混合的目的，反应药液混合效果较好，镀设的膜层均匀度较高，并且解决了现有技术中反应药液在管路中沉积的问题，反应药液使用量相对较小，有益于节约原料，降低生产成本。进一步的，本实施例中该反应装置相对于水平面的摆动角度被设置成小于等于10°。具体的，当第一伸缩机构7伸出且第二伸缩机构8缩回时，该反应装置的相对两侧水平高度不同，也就实现了带动反应装置向一侧摆动；当第一伸缩机构7逐渐缩回且第二伸缩机构8逐渐伸出时，该反应装置的相对两侧的高差逐渐缩小，直至平行于水平面，随着第一伸缩机构7继续缩回和第二伸缩机构8的继续伸出，反应装置向另一侧倾斜，也就实现了带动反应装置向另一侧摆动，当第一伸缩机构7完全缩回、第二伸缩机构8完全伸出时，反应装置与水平面所成角度也就是其摆动角度，通过控制第一伸缩机构7和第二伸缩机构8交替本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种化学水浴沉积镀膜装置，其特征在于，包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构，所述第一伸缩机构和所述第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。

【技术特征摘要】
1.一种化学水浴沉积镀膜装置，其特征在于，包括反应装置、第一伸缩机构和第二伸缩机构，所述第一伸缩机构和所述第二伸缩机构均支撑于所述反应装置的底部并且相对设置，用于交替伸缩以带动所述反应装置摆动。2.根据权利要求1所述的化学水浴沉积镀膜装置，其特征在于，所述化学水浴沉积镀膜装置还包括基座，所述反应装置安装在所述基座上，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构均支撑于所述基座的底部，用于通过所述基座带动所述反应装置摆动。3.根据权利要求2所述的化学水浴沉积镀膜装置，其特征在于，所述基座为矩形基座，所述矩形基座包括相对的第一边和第二边，所述第一伸缩机构和第二伸缩机构的数量均为多个，多个所述第一伸缩机构沿所述第一边均匀分布，多个所述第二伸缩机构沿所述第二边均匀分布。4.根据权利要求2所述的化学水浴沉积镀膜装置，其特征在于，所述第一伸缩机构包括第一驱动装置和第一伸缩杆，所述第一伸缩杆的伸出端与所述基座连接，所述第一驱动装置用于驱动所述第一伸缩杆伸缩；所述第二伸缩机构包括第二驱动装置和第二伸缩杆，所述第二伸缩杆的伸出端与所述基座连接，所述第二驱动装置用于驱动所述第二伸缩杆伸缩。5.根据权利...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘耀军，
申请(专利权)人：北京铂阳顶荣光伏科技有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11