The utility model relates to the technical field, in particular to a liquid source supply device for realizing over-current alarm, including a liquid source tank device, a process surface coil circuit and a centralized control module. The utility model is characterized by liquid supply branch, a push gas branch, a purge branch, a vacuum exhaust branch and a pre-pumping vacuum branch. Compared with the existing technology, the utility model uses gas. The volume overcurrent switch replaces the commonly used liquid flowmeter, which reduces the cost significantly and makes it easier to disassemble and assemble. The pre-vacuum branch is added to solve the problem of single vacuum source. When the sensor detects abnormal changes in gas pressure, the switch can be cut off immediately to avoid a large amount of liquid leaking out to pollute the environment.
【技术实现步骤摘要】
一种实现过流报警的液态源供应装置
本技术涉及半导体制造
,具体地说是一种实现过流报警的液态源供应装置。
技术介绍
半导体、液晶面板、光纤、光伏等泛半导体制造行业,某些工艺会使用到如SiCl4,TMA,TCS等液态源化学品,通常把液态源源瓶安装连接在供应装置后,使用高纯的Ar或N2作为推送气体,把源瓶内的液态源以设定流量压力缓慢压送至工艺生产机台。当输送管路系统发生意外泄漏时,带压液体会从泄漏点喷出,造成毒性或腐蚀性环境污染,或者自燃引起火灾等安全事故。因此,现有技术还有待发展。
技术实现思路
鉴于上述现有技术的不足之处,本技术的目的在于提供一种实现过流报警的液态源供应装置,旨在解决液态源供应装置安全稳定性差,真空源单一的问题。为了达到上述目的,本技术采取了以下技术方案:本技术提供一种实现过流报警的液态源供应装置,包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块,其特征在于,还包括液体供应支路、推送气体支路、真空排气支路、吹扫支路、预抽真空支路;所述液态源源罐装置包括气相口、液相口、液态源罐、气相控制阀和液相控制阀,所述气相口一端位于液态源罐内靠近罐顶处,另一端与真空排气支路及推送气体支路相连,所述气相控制阀设置液态源罐外的气相口上;所述液相口一端位于液态源罐内靠近罐底处,另一端与液体供应支路及吹扫支路相连,所述液相控制阀设置在液态源罐外的液相口上;所述推送气体支路包括推送气体管、第一手动隔膜阀、推送气体减压阀、气体过流开关、第一气动隔膜阀和进气压力传感器,所述推送气体管一端连接推送气体输入端,另一端连接气相控制阀;所述第一手动隔膜阀、推送气体减压阀、气体过流开 ...
【技术保护点】
1.一种实现过流报警的液态源供应装置,包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块,其特征在于,还包括液体供应支路、推送气体支路、真空排气支路、吹扫支路、预抽真空支路;所述液态源源罐装置包括气相口、液相口、液态源罐(1)、气相控制阀(2)和液相控制阀(3),所述气相口一端位于液态源罐(1)内靠近罐顶处,另一端与真空排气支路及推送气体支路相连,所述气相控制阀(2)设置液态源罐(1)外的气相口上;所述液相口一端位于液态源罐(1)内靠近罐底处,另一端与液体供应支路及吹扫支路相连,所述液相控制阀(3)设置在液态源罐(1)外的液相口上;所述推送气体支路包括推送气体管、第一手动隔膜阀(4)、推送气体减压阀(18)、气体过流开关(20)、第一气动隔膜阀(7)和进气压力传感器(15),所述推送气体管一端连接推送气体输入端,另一端连接气相控制阀(2);所述第一手动隔膜阀(4)、推送气体减压阀(18)、气体过流开关(20)、第一气动隔膜阀(7)和进气压力传感器(15)沿气体输送方向依次设置在推送气体管上;所述液体供应支路包括液体供应管、第三手动隔膜阀(6)、第二气动隔膜阀(8)、出料压力传感器(16), ...
【技术特征摘要】
1.一种实现过流报警的液态源供应装置,包括液态源源罐装置、工艺面盘管路、集中控制模块,其特征在于,还包括液体供应支路、推送气体支路、真空排气支路、吹扫支路、预抽真空支路;所述液态源源罐装置包括气相口、液相口、液态源罐(1)、气相控制阀(2)和液相控制阀(3),所述气相口一端位于液态源罐(1)内靠近罐顶处,另一端与真空排气支路及推送气体支路相连,所述气相控制阀(2)设置液态源罐(1)外的气相口上;所述液相口一端位于液态源罐(1)内靠近罐底处,另一端与液体供应支路及吹扫支路相连,所述液相控制阀(3)设置在液态源罐(1)外的液相口上;所述推送气体支路包括推送气体管、第一手动隔膜阀(4)、推送气体减压阀(18)、气体过流开关(20)、第一气动隔膜阀(7)和进气压力传感器(15),所述推送气体管一端连接推送气体输入端,另一端连接气相控制阀(2);所述第一手动隔膜阀(4)、推送气体减压阀(18)、气体过流开关(20)、第一气动隔膜阀(7)和进气压力传感器(15)沿气体输送方向依次设置在推送气体管上;所述液体供应支路包括液体供应管、第三手动隔膜阀(6)、第二气动隔膜阀(8)、出料压力传感器(16),所述液体供应管一端连接外部液体供应管网,另一端连接所述液相控制阀(3);所述出料压力传感器(16)、第二气动隔膜阀(8)和第三手动隔膜阀(6)沿液体输送方向依次设置在液体供应管上;所述真空排气支路包括真空排气管、第七气动隔膜阀(13)、排气压力传感器(17)、第五气动隔膜阀(11)、第三气动隔膜阀(9),所述真空排气管一端连接外部真空泵,另一端连入推送气体支路和气相控制阀(2),所述第三气动隔膜阀(9)、第五气动隔膜阀(11)、排气压力传感器(17)、第七气动隔膜阀(13)沿气体输送方向依次设置在真空排气管上;所述吹扫支路包括吹扫管、吹扫支管、第二手动隔膜阀(5)、吹扫气体减压阀(19)、第四气动隔膜阀(10)、第六气动隔膜阀(...
【专利技术属性】
技术研发人员:薛元,连海洲,吴海华,
申请(专利权)人:上海至纯洁净系统科技股份有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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