一种坩埚驱动机构制造技术

本实用新型专利技术公开了一种坩埚驱动机构，包括底座、机架以及坩埚轴，所述机架设置在所述底座上，所述机架上设置有导轨，所述坩埚轴通过固定座固定在所述导轨上，所述固定座与所述导轨滑动连接；所述机架上设置有用于控制所述固定座升降的升降机构，所述固定座底部设置有底盘，所述固定座与所述坩埚轴之间设置有轴承座，所述轴承座内设置有空腔；所述固定座上还设置有用于控制所述坩埚轴旋转的旋转机构；所述坩埚轴包括设置在所述轴承座内的支撑部和设置在所述支撑部顶端的连接部，所述连接部与所述支撑部同心设置并且通过第一法兰盘连接。本实用新型专利技术提供的坩埚驱动机构具有方便对坩埚轴进行拆卸的效果。

A Crucible Driving Mechanism

The utility model discloses a crucible driving mechanism, which comprises a base, a frame and a crucible shaft. The frame is arranged on the base, and a guide rail is arranged on the frame. The crucible shaft is fixed on the guide rail through a fixed seat, and the fixed seat is sliding connected with the guide rail. The frame is provided with a lifting mechanism for controlling the lifting of the fixed seat. A chassis is arranged at the bottom of the fixed seat, a bearing seat is arranged between the fixed seat and the crucible shaft, and a cavity is arranged in the bearing seat; a rotating mechanism for controlling the rotation of the crucible shaft is also arranged on the fixed seat; the crucible shaft includes a supporting part arranged in the bearing seat and a connecting part arranged at the top of the supporting part, the connecting part and the supporting part. Concentric setting and connected through the first flange. The crucible driving mechanism provided by the utility model has the effect of convenient disassembly of the crucible shaft.

【技术实现步骤摘要】
一种坩埚驱动机构
本技术涉及单晶炉
，具体涉及一种坩埚驱动机构。
技术介绍
传统的单晶炉坩埚升降装置主要用于生产硅半导体材料，一般包括支架、滑座、坩埚轴、丝杆、导轨和传动机构，坩埚轴用于支撑单晶硅料。但是，现有技术中的坩埚轴通常为一体设置，并且坩埚轴需要升降和旋转，一体设置的坩埚轴不方便工作人员进行拆卸。因此，亟待设计一种方便拆卸的坩埚驱动机构。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种坩埚驱动机构，其优点是便于对坩埚轴进行观测和维修。本技术的上述技术目的是通过以下技术方案得以实现的：一种坩埚驱动机构，包括底座、机架以及坩埚轴，所述机架设置在所述底座上，所述机架上设置有导轨，所述坩埚轴通过固定座固定在所述导轨上，所述固定座与所述导轨滑动连接；所述机架上设置有用于控制所述固定座升降的升降机构，所述固定座底部设置有底盘，所述固定座与所述坩埚轴之间设置有轴承座，所述轴承座内设置有空腔；所述固定座上还设置有用于控制所述坩埚轴旋转的旋转机构。所述坩埚轴包括设置在所述轴承座内的支撑部和设置在所述支撑部顶端的连接部，所述连接部与所述支撑部同心设置并且通过第一法兰盘连接。进一步的，所述升降机构包括固定设置在所述底座上的第一电机，所述第一电机的输出轴连接有减速器，所述减速器的输出轴连接有竖直设置的丝杠，所述丝杠的另一端延伸至所述机架的顶端；所述固定座中间位置设置有与所述丝杠螺纹连接的螺纹孔。进一步的，所述旋转机构包括设置在所述固定座上的第二电机，所述第二电机输出轴连接有主动轮，所述支撑部底端连接有从动轮，所述主动轮与所述从动轮之间通过皮带连接；所述支撑部与所述轴承座之间通过若干组轴承连接。进一步的，所述丝杠外设置有丝杠护罩，所述丝杠护罩包括第一波纹管和第二波纹管，所述第一波纹管套接在所述机架顶端与所述固定座顶端之间的所述丝杠外，所述第二波纹管套接在所述固定座底端与所述减速器顶端的所述丝杠外。进一步的，所述导轨上下两端设置有行程开关。进一步的，所述机架与所述底座之间设置有倾斜设置的固定架，所述固定架与所述机架以及所述底座构成三角形结构。需要说明的是，本专利技术提供的技术方案不需要同时达到上述所有技术效果。综上所述，本技术提供的一种坩埚驱动机构，具有以下效果：一、升降机构和旋转机构可以同时驱动坩埚轴升降和旋转，互不干扰；二、坩埚轴分两节设计，中间通过第一法兰连接，方便工作人员对坩埚轴进行维修和拆卸；三、丝杠保护罩可以对工作人员起到保护作用，避免肢体误触丝杠造成危险，安全性高。附图说明图1是本实施例的整体结构示意图；图2是体现内部结构的剖视图。图中，1、底座；11、固定架；2、机架；3、坩埚轴；31、支撑部；32、连接部；33、第一法兰；4、固定座；51、第一电机；52、丝杠；53、减速器；61、底盘；62、轴承座；71、第二电机；72、主动轮；73、从动轮；81、丝杠护罩；82、第一波纹管；83、第二波纹管；84、行程开关。具体实施方式本实施例提供了一种坩埚驱动机构，如图1所示，包括底座1、机架2以及坩埚轴3，机架2设置在底座1上，并且机架2与底座1之间通过螺栓固定连接。机架2与底座1之间设置有倾斜设置的固定架11，固定架11与机架2以及底座1构成三角形结构，使机架2的结构更加稳定。机架2由两根完全相同的立柱组成，在每一根立柱上均设置有导轨，导轨上连接有固定座4，固定座4用于连接并固定坩埚轴3。导轨的两侧设置有凹槽，固定座4通过四个接触点与导轨连接，每一个接触点上均设置有与凹槽配合的凸块，使得导轨与固定座4只能在竖直方向上相对移动，从而能使坩埚轴3在导轨上实现升降。机架2上设置有用于控制所述固定座4升降的升降机构，升降机构包括固定设置在机架2顶端的第一电机51，第一电机51的输出轴朝向正下方设置并且连接有竖直设置的丝杠52，固定座4中间位置设置有与丝杠52螺纹连接的螺纹孔。当第一电机51工作时，在丝杠52的转动以及导轨对固定座4的限位作用下，固定座4可以在导轨上实现升降，从而对坩埚轴3的升降实现了自动控制。所述固定座4底部设置有底盘61，固定座4与坩埚轴3之间设置有轴承座62，轴承座62内设置有空腔；坩埚轴3设置在空腔内并且与轴承座62转动连接。底盘61上还设置有用于控制所述坩埚轴3旋转的旋转机构；旋转机构包括设置在底盘61上的第二电机71，第二电机71输出轴连接有主动轮72，支撑部31底端连接有从动轮73，主动轮72与所述从动轮73之间通过皮带连接；坩埚轴3与轴承座62之间通过若干组轴承连接。在本实施例中，轴承座62内的空腔顶端与空腔低端均设置有轴承，坩埚轴3通过两个轴承转动连接在轴承座62内，并且轴承座62与固定座4固定连接，当第二电机71工作时，从动轮73在皮带的驱动下转动，由于坩埚轴3与从动轮73固定连接，使得坩埚轴3可以旋转。并且从动轮73固定在坩埚轴3上，使得升降机构与旋转机构互不干扰，可以同时工作。如图2所示，坩埚轴3包括设置在轴承座62内的支撑部31和设置在所述支撑部31顶端的连接部32，连接部32与所述支撑部31同心设置并且通过第一法兰33盘连接。当需要对坩埚轴3内部进行维护检修或者观察坩埚轴3内部情况时，可以通过第一法兰33盘打开坩埚轴3，方便操作。解决了现有技术中坩埚轴3不方便拆卸，不方便维护检修的问题。如图2所示，在一种实施例中，丝杠52外设置有丝杠52护罩，丝杠52护罩包括第一波纹管82和第二波纹管83，第一波纹管82套接在机架2顶端与固定座4顶端之间的丝杠52外，第二波纹管83套接在固定座4底端与减速器53顶端的丝杠52外。第一波纹管82和第二波纹管83可以可以随着固定座4的上升和下降被拉绳或压缩，使丝杠52始终位于波纹管内部，避免工作人员肢体触碰到丝杠52造成危险。在一种实施例中，导轨上下两端分别设置有行程开关84。每一个行程开关84都与第一电机51连接，当固定座4触碰到其中一个行程开关84时，第一电机51会停止工作，避免固定座4移动出机架2的范围。本领域内的技术人员应明白，本专利技术的实施例可提供为方法、装置、或计算机程序产品。因此，本专利技术可采用完全硬件实施例、完全软件实施例、或结合软件和硬件方面的实施例的形式。而且，本专利技术可采用在一个或多个其中包含有计算机可用程序代码的计算机可用存储介质（包括但不限于磁盘存储器、CD-ROM、光学存储器等）上实施的计算机程序产品的形式。虽然已经通过例子对本专利技术的一些特定实施例进行了详细说明，但是本领域的技术人员应该理解，以上例子仅是为了进行说明，而不是为了限制本专利技术的范围。本领域的技术人员应该理解，可在不脱离本专利技术的范围和精神的情况下，对以上实施例进行修改。本专利技术的范围由所附权利要求来限定。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种坩埚驱动机构，其特征在于，包括底座(1)、机架(2)以及坩埚轴(3)，所述机架(2)设置在所述底座(1)上，所述机架(2)上设置有导轨，所述坩埚轴(3)通过固定座(4)固定在所述导轨上，所述固定座(4)与所述导轨滑动连接；所述机架(2)上设置有用于控制所述固定座(4)升降的升降机构，所述固定座(4)底部设置有底盘(61)，所述固定座(4)与所述坩埚轴(3)之间设置有轴承座(62)，所述轴承座(62)内设置有空腔；所述固定座(4)上还设置有用于控制所述坩埚轴(3)旋转的旋转机构；所述坩埚轴(3)包括设置在所述轴承座(62)内的支撑部(31)和设置在所述支撑部(31)顶端的连接部(32)，所述连接部(32)与所述支撑部(31)同心设置并且通过第一法兰(33)盘连接。

【技术特征摘要】
1.一种坩埚驱动机构，其特征在于，包括底座(1)、机架(2)以及坩埚轴(3)，所述机架(2)设置在所述底座(1)上，所述机架(2)上设置有导轨，所述坩埚轴(3)通过固定座(4)固定在所述导轨上，所述固定座(4)与所述导轨滑动连接；所述机架(2)上设置有用于控制所述固定座(4)升降的升降机构，所述固定座(4)底部设置有底盘(61)，所述固定座(4)与所述坩埚轴(3)之间设置有轴承座(62)，所述轴承座(62)内设置有空腔；所述固定座(4)上还设置有用于控制所述坩埚轴(3)旋转的旋转机构；所述坩埚轴(3)包括设置在所述轴承座(62)内的支撑部(31)和设置在所述支撑部(31)顶端的连接部(32)，所述连接部(32)与所述支撑部(31)同心设置并且通过第一法兰(33)盘连接。2.根据权利要求1所述的一种坩埚驱动机构，其特征在于，所述升降机构包括固定设置在所述底座(1)上的第一电机(51)，所述第一电机(51)的输出轴连接有减速器(53)，所述减速器(53)的输出轴连接有竖直设置的丝杠(52)，所述丝杠(52)的另一端延伸至所述机架(2)的顶端；所述固定座(4)中间位置设置有与所...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈世斌，
申请(专利权)人：北京北方华创真空技术有限公司，
类型：新型
国别省市：北京,11