The utility model discloses a photoresistive filter. The photoresistive filter comprises a trough body, a trough cover and a filter barrel. The groove body has a holding groove. The groove cover is arranged at the top of the groove body, and the groove holding ground is sealed. The filter barrel is arranged in the receiving tank. The filter bucket is connected with the groove body and/or the groove cover. The filter barrel has a chamber. The filter barrel is provided with a plurality of filtering through holes. The filter through hole connects the cavity and the receiving groove. The photoresistive filter has a simple structure and good filtering performance.
【技术实现步骤摘要】
光阻过滤器
本技术涉及一种半导体处理设备,特别是一种光阻过滤器。
技术介绍
在半导体加工处理过程中,往往需要采用诸如光阻的光敏材料。光阻,亦称光阻剂,可以应用于很多工业制程中。在对半导体部件进行处理后,往往需要将相应的光阻进行剥离。一般地,在进行光阻剥离过程中会产生体积不一、无法溶解在化学处理液中的块状光阻。块状光阻的积累容易导致循环管路堵塞。
技术实现思路
本技术的目的之一是为了克服现有技术中的不足,提供一种过滤性能佳的光阻过滤器。为实现以上目的,本技术通过以下技术方案实现:本技术提供一种光阻过滤器。所述光阻过滤器包括槽体、槽盖及过滤桶。所述槽体具有容纳槽。所述槽盖设置在所述槽体的顶端,并密封所述容纳槽地设置。所述过滤桶容置在所述容纳槽内。所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述过滤桶具有容腔。所述过滤桶设置有多个过滤通孔。所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽。优选地,所述的光阻过滤器还包括第二过滤桶。所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内。所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置。所述第二过滤桶具有第二容腔。所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔。所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔。优选地,所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。优选地,所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。优选地,所述槽体的侧壁上设置有注液通孔。所述注液通孔与所述容纳槽连通,以可导入参杂有光阻的处理液。所述槽盖设置有出液通孔。所述出液通孔与所述第二容腔连通,以可导出滤除了光阻的处理液。优选地,所述槽体的底壁上设置有排放通孔。所述排放通孔与所述容纳槽连通,以可排出 ...
【技术保护点】
1.一种光阻过滤器,其特征在于,包括:槽体,所述槽体具有容纳槽;槽盖,所述槽盖设置在所述槽体的顶端,并密封所述容纳槽地设置;及过滤桶,所述过滤桶容置在所述容纳槽内;所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置;所述过滤桶具有容腔;所述过滤桶设置有多个过滤通孔;所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽。
【技术特征摘要】
2017.12.20 CN 20172179640751.一种光阻过滤器,其特征在于,包括:槽体,所述槽体具有容纳槽;槽盖,所述槽盖设置在所述槽体的顶端,并密封所述容纳槽地设置;及过滤桶,所述过滤桶容置在所述容纳槽内;所述过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置;所述过滤桶具有容腔;所述过滤桶设置有多个过滤通孔;所述过滤通孔连通所述容腔与所述容纳槽。2.根据权利要求1所述的光阻过滤器,其特征在于,还包括:第二过滤桶,所述第二过滤桶设置在所述过滤桶的容腔内;所述第二过滤桶与所述槽体和/或所述槽盖连接设置;所述第二过滤桶具有第二容腔;所述过滤桶设置有多个第二过滤通孔;所述第二过滤通孔连通所述第二容腔与所述容腔。3.根据权利要求2所述的光阻过滤器,其特征在于:所述第二过滤通孔的密度大于所述过滤通孔的密度。4.根据权利要求2所述的光阻过滤器,其特征在于:所述第二过滤桶的顶端可拆卸地设置在槽盖的底端。5.根据权利要求2所述的光阻过滤器,其特征在于:所述槽体的侧壁上设置有注...
【专利技术属性】
技术研发人员:卡尔·罗伯特·修斯特,史蒂芬·贺·汪,金金明,刘四化,
申请(专利权)人:新阳硅密上海半导体技术有限公司,硅密常州电子设备有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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