晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法技术方案

一种晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法。在一实施例中，晶圆盒包含：腔体，其是配置用以接收和存放晶圆；对位基准点，其位于腔体内，其中：对位基准点包含两条彼此正交的线，以及对位基准点是配置用以被设置在机器手臂上的机器手臂对位感测器检测，其中对位基准点定义一对位方向，其用于机器手臂夹爪进入腔体。

【技术实现步骤摘要】
晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法
关于一种晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法。
技术介绍
现今的组装线生产流程通常是高度自动化以操作材料和装置并且形成成品。品管控制和维护流程常依赖人员技能、知识和专长来检查制造在生产过程以及成为成品中的产品。用于处理晶圆(例如，半导体装置或材料)的典型的组装线生产制程在机器手臂处除了人工检查之外并没有使用特定的检查技术来与晶圆承载盒(也可称为晶圆盒)对位。晶圆盒的例子包含可容纳多个晶圆的标准机械接口(standardmechanicalinterface，SMIF)盒或可容纳较大晶圆的前开式晶圆传送盒(frontopeningunifiedpods，FOUPs)。对于机器手臂而言对位非常重要，原因在于未与晶圆盒对准的机器手臂可能会以损害晶圆的方式从晶圆盒置放晶圆或取出晶圆。举例来说，没有对位的机器手臂可能会通过没有对位的机器手臂携带的晶圆撞击晶圆盒的侧壁、前壁或后壁进而损坏晶圆。然而，传统的人工检查和对位技术需要大量的开销和昂贵的硬件设备，但仍不能产生令人满意的结果。因此，传统的检查技术并不完全令人满意。
技术实现思路
根据本揭露的一态样，一种本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种晶圆盒，其特征在于，包含：一腔体，配置用以接收和存放一晶圆；以及一对位基准点，位于该腔体内，其中：该对位基准点包含两条彼此正交的线，以及该对位基准点是配置用以被设置在一机器手臂上的一机器手臂对位感测器检测，其中该对位基准点定义一对位方向，用于一机器手臂夹爪进入该腔体。

【技术特征摘要】
2017.11.29 US 62/592,068;2018.01.30 US 15/883,5091.一种晶圆盒，其特征在于，包含：一腔体，配置用以接收和存放一晶圆；以及一对位基准点，位于该腔体内，其中：该对位基准点包含两条彼此正交的线，以及该对位基准点是配置用以被设置在一机器手臂上的一机器手臂对位感测器检测，其中该对位基准点定义一对位方向，用于一机器手臂夹爪进入该腔体。2.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，该对位基准点包含位于该晶圆盒的一后壁上的一线以及位于该晶圆盒的一底板上的另一线。3.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，还包含：一中心点感测器，位于该腔体内，其中该中心点感测器是配置用以检测一控片晶圆的一中心点基准何时位于该腔体内的该中心点感测器的上方或下方。4.根据权利要求1所述的晶圆盒，其特征在于，该机器手臂对位感测器是配置用以检测视准光与该对位基准点的对准。5.一种晶圆盒对准系统，其特征在于，包含：一夹爪，是配置用以固定一晶圆；以及一机器手臂，包含一对位感测器，该对位感测器是配置用以检测...

【专利技术属性】
技术研发人员：刘兆祥，
申请(专利权)人：台湾积体电路制造股份有限公司，
类型：发明
国别省市：中国台湾,71