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一种晶圆盒、晶圆盒对准系统及晶圆盒对准方法。在一实施例中，晶圆盒包含：腔体，其是配置用以接收和存放晶圆；对位基准点，其位于腔体内，其中：对位基准点包含两条彼此正交的线，以及对位基准点是配置用以被设置在机器手臂上的机器手臂对位感测器检测，其中...
该专利属于台湾积体电路制造股份有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过台湾积体电路制造股份有限公司授权不得商用。

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