一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，包括壳体，壳体顶部设置有进原料液管和排气管，壳体底部设置有排料管和惰性气体反吹管，壳体内沿其轴向布置有紫外光照射灯管；本实用新型专利技术与现有技术相比，不会引入活性炭等额外的杂质，降低了纯化介质后续纯化难度和流程，降低了能耗，且缩短了分解产物的停留时间，加快了碳酰氯正向分解反应速率，使纯化介质中的碳酰氯杂质得到更好的分离，提高了分离效果且高效。

【技术实现步骤摘要】
一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置
本技术涉及化工分离
，具体涉及一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置。
技术介绍
三氯化硼，化学式为BCl3，是一种带臭味的无色气体或液体。三氯化硼目前除作为有机合成催化剂和硼及其化合物的原料外，还在半导体集成电路制造行业中广泛用作掺杂剂或蚀刻剂。随着半导体行业的迅猛发展，集成电路精细度越来越高，因此，三氯化硼作为集成电路制造过程使用的原辅助料，它的纯度要求也会越来越高。三氯化硼的提纯方法有多种，如吸附、蒸馏、气提等，申请号为CN201410767703.7的专利文件公开了一种三氯化硼的提纯方法及设备，其设备包括用于装盛三氯化硼原料的气瓶、加热装置、分解反应罐、水冷器、吸附罐、精馏塔和接收钢瓶，所述气瓶、分解反应罐及所述吸附罐的外壁设置有所述加热装置，所述气瓶、分解反应罐、水冷器、吸附罐、精馏塔和接收钢瓶通过提纯管道依次连接。上述设备中的分解反应罐在对碳酰氯进行分解的过程中，采用的是将含有碳酰氯的三氯化硼气化形成气体后以活性碳作为催化剂，通过加热装置使分解反应罐内的反应温度为200℃，将三氯化硼中的碳酰氯分解为氯气和一氧化碳，以达到分离纯化介质(含有杂质碳酰氯的三氯化硼)中的杂质碳酰氯的目的，采用此分解反应罐对碳酰氯进行分解存在以下问题：1、此分解反应罐采用活性炭作为催化剂，碳酰氯在进行分解反应的过程中会引起新的杂质；2、采用加热装置使分解反应罐内的反应温度达到200℃，增加了能耗，且反应温度为200℃的高温状态下对纯化介质中的杂质碳酰氯进行分解，使分解后的产物(氯气和一氧化碳)难以快速冷却，从而导致部分产物会重新合成为碳酰氯，进而降低了碳酰氯的分解率，降低了纯化介质三氯化硼与碳酰氯的分离效果。
技术实现思路
针对现有技术中所存在的不足，本技术的目的在于提供一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离方法，以解决现有技术中，容易引入新的杂质、能耗高以及因碳酰氯的分解率低而降低了纯化介质中三氯化硼与碳酰氯的分离效果的问题。为实现上述目的，本技术采用了如下的技术方案：一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，包括壳体，壳体顶部设置有进原料液管和排气管，壳体底部设置有排料管和惰性气体反吹管，壳体内沿其轴向布置有紫外灯反应管。相比于现有技术，本技术具有如下有益效果：1、本分离装置对纯化介质中的碳酰氯先进行分解，后对分解产物通过汽提方式实现汽液分离的流程，达到将纯化介质中的碳酰氯进行分离的目的，通过紫外灯反应管提供产生紫外光作为碳酰氯进行催化分解的条件，不会引入活性炭等额外的杂质，降低了纯化介质后续纯化难度和流程，且分离装置中对碳酰氯进行分解反应的温度仅通过紫外灯反应管产生的热辐射和分离装置与外界的交换热即可满足，降低了能耗；2、本分离装置中通过惰性气体反吹管向壳体内通过带有压力的惰性气体进行反吹，使壳体内分解后的产物在惰性气体的汽提下快速从排气管中排走，缩短了分解产物的停留时间，加快了碳酰氯正向分解反应速率，使纯化介质中的碳酰氯杂质得到更好的分离，提高了分离效果且高效。附图说明图1为本技术的结构示意图；图2为图1对壳体剖开后的结构示意图；图3为图2中A部的放大图；图4为图1中填料层的结构示意图。具体实施方式下面通过具体实施方式对本技术作进一步详细的说明：说明书附图中的附图标记包括：壳体1、进原料液管2、排料管3、惰性气体反吹管4、紫外灯反应管5、冷凝器6、废气排放管7、液封回流管8、环形连接座9、密封盖10、压盖11、填料层12、紫外线传感器13。实施例参考图1～图4，一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，包括壳体1，壳体1顶部设置有进原料液管2和排气管，壳体1底部设置有排料管3和惰性气体反吹管4，壳体1内沿其轴向布置有紫外灯反应管5；通过从进原料液管2中向壳体1内加入含碳酰氯杂质的纯化介质，该纯化介质在壳体1内自上而下流动，在紫外灯反应管5产生的紫外光的催化作用下进行分解反应，从惰性气体反吹管4中通入带有5.8～6.2bar压力的惰性气体进行反吹，将分解后的产物(一氧化碳和氯气)快速的带入排气管中进行排放。因分解产物中会夹带有少量的纯化介质，为了提高纯化介质的利用率，减少损失，在壳体1顶部还设置有冷凝器6，冷凝器6的底部进料口与排气管连通，冷凝器6的顶部设置有废气排放管7，且冷凝器6的底部与壳体1顶部之间还通过液封回流管8连通；通过冷凝器6冷凝之后，通过反吹气夹带的少量纯化介质冷凝形成液体通过液封回流管8流回壳体1内，分解产物从废气排放管7中排走。为了方便对紫外灯反应管5进行检测、更换、维修以及避免紫外灯反应管5的紫外光照射到壳体1外，紫外灯反应管5上端穿出壳体1顶部后通过密封组件进行密封，密封组件包括套设在紫外灯反应管5外侧与壳体1固定相连的环形连接座9，环形连接座9外侧螺纹连接有呈环形台阶状的密封盖10，紫外灯反应管5的上端部置于密封盖10内，密封盖10的上台阶直径小于其下台阶直径，密封盖10的上台阶外侧可拆卸密封套设有压盖11；为了进一步提高密封组件的密封性能，密封盖10的内侧台阶转折处与环形连接座9的上端部之间相抵有环形垫圈和第一O形套管，环形垫圈和第一O形套管均套设在紫外灯反应管5外侧，且环形垫圈置于第一O形套管上方，密封盖10的外侧台阶转折处与压盖11的下端之间相抵有第二O形套管，第二O形套管套设在密封盖10外侧。为了加快冷凝器6内的冷凝的纯化介质快速通过液封回流管8流回壳体1内，液封回流管8包括与冷凝器6相连的第一水平管段，第一水平管段通过变径管段连接有U形管段，U形管段远离变径管段的一端光滑过渡连接有第二水平管段，第二水平管段与壳体1顶部连通；变径管段的管径从与第一水平管段相连的一端向另一端逐渐缩小；采用变径管段的管径变化加快在液封回流管8内纯化介质的流速，且液封回流管8的结构设置延长了纯化介质的流通路从而增加了纯化介质的冷却效果；废气排放管7包括与冷凝器6相连的第三水平管段，第三水平管段通过节流管段光滑过渡连接有竖直管段，节流管段的管径从与第三水平管段相连的一端向另一端逐渐缩小，且竖直管段的排气口朝下，废气排放管7的结构设置加快的废气的流动速度。为了增加含碳酰氯杂质的纯化介质进入壳体1内的流通路径以达到提高碳酰氯杂质的分解效率，在壳体1内设置有套设在紫外灯反应管5外侧的填料网层，填料网层包括若干填料层12堆叠而成，每个填料层12包括同心布置的内支撑圈和外支撑圈，内支撑圈和外支撑圈之间通过若干交错布置的连接条形成网状结构；网状结构的填料层12既增大了纯化介质的气液相接触效率，同时还对紫外灯反应管5进行支撑固定。本方案中的壳体1包括下端为开口的壳身，壳身的下端通过法兰连接有下底盖，下底盖和壳身的顶部均固定设置有安装架，且壳身的顶部设置有手孔管，人孔管螺纹连接有密封壳，壳身外壁上设置有紫外线传感器13，便于工作人员进行远程监控和操作紫外灯反应管5的运行状态和光照强度的调节。本方案中的“第一”、“第二”和“第三”仅用于命名上的区别。最后说明的是，以上实施例仅用以说明本技术的技术方案而非限制，尽管参照较佳实施例对本技术进行了详细说明，本领域的普通技术人员应当理解，可以对本技术的技术方案进行修改或者等同替换，而不脱离本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，其特征在于，包括壳体，壳体顶部设置有进原料液管和排气管，壳体底部设置有排料管和惰性气体反吹管，壳体内沿其轴向布置有紫外灯反应管。

【技术特征摘要】
1.一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，其特征在于，包括壳体，壳体顶部设置有进原料液管和排气管，壳体底部设置有排料管和惰性气体反吹管，壳体内沿其轴向布置有紫外灯反应管。2.根据权利要求1所述的一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，其特征在于：所述壳体顶部还设置有冷凝器，冷凝器的底部进料口与排气管连通，冷凝器的顶部设置有废气排放管，且冷凝器的底部与壳体顶部之间还通过液封回流管连通。3.根据权利要求1所述的一种用于纯化介质中分离碳酰氯的分离装置，其特征在于：所述紫外灯反应管上端穿出壳体顶部后通过密封组件进行密封，密封组件包括套设在紫外灯反应管外侧与壳体固定相连的环形连接座，环形连接座外侧螺纹连接有呈环形台阶状的密封盖，紫外灯反应管的上端部置...

【专利技术属性】
技术研发人员：雷海平，李相勳，张建长，吕其明，吴海峰，
申请(专利权)人：欧中电子材料重庆有限公司，
类型：新型
国别省市：重庆,50