The present invention provides a substrate processing method, which uses a substrate processing device to process the substrate. The substrate processing device comprises a reaction chamber and an auxiliary chamber surrounding the reaction chamber. The substrate processing method includes: placing the substrate in the reaction chamber; and carrying out a process of lifting the pressure of the reaction chamber and the auxiliary chamber, in order to improve the pressure of the reaction chamber and the auxiliary chamber. The pressure in the auxiliary chamber is between one atmospheric pressure and the pressure in the reaction chamber; the temperature in the reaction chamber is increased; and the substrate is subjected to the supercritical fluid treatment in the reaction chamber.
【技术实现步骤摘要】
衬底的处理方法
本专利技术涉及一种衬底的处理方法,更具体而言,涉及一种使用超临界流体处理衬底方法。
技术介绍
由于超临界流体具有高渗透性与高溶解度等优点,因此,在半导体工业中,超临界流体常被应用于对具有缺陷的半导体衬底的内部进行修补。然而,超临界流体由于具有极大的临界压力(以超临界二氧化碳为例,超临界二氧化碳的临界压力为72.8atm),因此用来容纳超临界流体的反应腔室也需因应设计以承受高压,进而使得反应腔室的表面积难以增大而仅能处理表面积较小的半导体衬底。目前现有的反应腔室的表面积仅为370mmx470mm。
技术实现思路
[要解决的技术问题]本专利技术提供一种可提升衬底处理设备的反应腔室的表面积的衬底的处理方法。本专利技术的其他目的和优点将通过以下描述得到理解,并且通过本专利技术公开的具体实施方式将使本专利技术更加明显。[技术方案]本专利技术是针对一种衬底的处理方法,其使用衬底处理设备处理所述衬底,所述衬底处理设备包括反应腔室以及围绕所述反应腔室的辅助腔室,其中所述衬底的处理方法包括:将所述衬底置于所述反应腔室内;进行提升所述反应腔室及所述辅助腔室内的压力的工艺,以使所述辅助腔室内的压力介于一大气压与所述反应腔室内的压力之间,包括进行以下步骤的至少一循环:将超临界流体与反应料供应至所述反应腔室内,以使所述反应腔室内的压力上升;以及提高所述辅助腔室内的压力;提升所述反应腔室内的温度;以及使衬底于所述反应腔室内经受所述超临界流体处理。根据本专利技术的实施例,所述衬底处理设备还包括反应腔室供应口及反应腔室排放口,其各自与所述反应腔室连接;以及辅助腔室供应口及辅助 ...
【技术保护点】
1.一种衬底的处理方法,其特征在于,使用衬底处理设备处理所述衬底,所述衬底处理设备包括反应腔室以及围绕所述反应腔室的辅助腔室,其中所述方法包括:将所述衬底置于所述反应腔室内;进行提升所述反应腔室及所述辅助腔室内的压力的工艺,以使所述辅助腔室内的压力介于一大气压与所述反应腔室内的压力之间,包括进行以下步骤的至少一循环:将超临界流体与反应料供应至所述反应腔室内,以使所述反应腔室内的压力上升;以及提高所述辅助腔室内的压力;提升所述反应腔室内的温度;以及使衬底于所述反应腔室内经受所述超临界流体处理。
【技术特征摘要】
1.一种衬底的处理方法,其特征在于,使用衬底处理设备处理所述衬底,所述衬底处理设备包括反应腔室以及围绕所述反应腔室的辅助腔室,其中所述方法包括:将所述衬底置于所述反应腔室内;进行提升所述反应腔室及所述辅助腔室内的压力的工艺,以使所述辅助腔室内的压力介于一大气压与所述反应腔室内的压力之间,包括进行以下步骤的至少一循环:将超临界流体与反应料供应至所述反应腔室内,以使所述反应腔室内的压力上升;以及提高所述辅助腔室内的压力;提升所述反应腔室内的温度;以及使衬底于所述反应腔室内经受所述超临界流体处理。2.根据权利要求1所述的衬底的处理方法,其中所述衬底处理设备还包括:反应腔室供应口及反应腔室排放口,各自与所述反应腔室连接;以及辅助腔室供应口及辅助腔室排放口,各自与所述辅助腔室连接。3.根据权利要求2所述的衬底的处理方法,其中所述超临界流体与所述反应料通过所述反应腔室供应口而供应至所述反应腔室内。4.根据权利要求2所述的衬底的处理方法,其中将空气通过所述辅助腔室供...
【专利技术属性】
技术研发人员:张锡明,姜信铨,黄彦余,
申请(专利权)人:中华映管股份有限公司,
类型:发明
国别省市:中国台湾,71
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