一种CMP抛光设备用夹持装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术涉及一种CMP抛光设备用夹持装置，包括工作台，所述工作台上表面一侧焊接有挡板，所述挡板的一端通过螺栓固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端通过螺栓连接有夹板，所述工作台表面一侧开设有通槽，所述工作台的另一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部放置有连接板，该CMP抛光设备用夹持装置，通过工作台上方的一侧设置有第二电动推杆，通过相对应的两个第二电动推杆推动两个夹板，然后将需要加工的物件放置在两个夹板之间，直至将物件给夹紧，进而方便操作人员对物件的固定，由于夹板是由两个卡板和弹簧组合而成的，进而在夹持的过程中，在夹持的过程中起到一个缓冲的作用。

A clamping device for CMP polishing equipment

The utility model relates to a clamping device for CMP polishing equipment, which comprises a worktable, one side of the upper surface of the worktable is welded with a baffle, one end of the baffle is fixed with a second electric push rod through a bolt, the expansion end of the second electric push rod is connected with a splint through a bolt, a through groove is arranged on one side of the worktable surface, and a slide groove is arranged on the other side of the worktable. The inner part of the chute is provided with a connecting plate, and the clamping device for the CMP polishing equipment is provided with a second electric push rod on one side above the workbench. The two splints are pushed by two corresponding second electric push rods. Then the processed objects are placed between the two splints until the objects are clamped, thus facilitating the fixing of the objects by the operators. The two clamps and springs are combined to play a buffer role in the clamping process.

【技术实现步骤摘要】
一种CMP抛光设备用夹持装置
本技术涉及材料加工
，具体为一种CMP抛光设备用夹持装置。
技术介绍
一种CMP抛光设备用定位夹具作为运用于半导体晶元材料上的一种夹持装置，也在不断地更新和改进，在使用CMP抛光设备对半导体芯片等材料进行抛光处理时，取得的重大成功和突破，一部分原因是因为技术的创新和进步，另一部分原因就是因为一种CMP抛光设备用定位夹持装置的使用，使得对半导体晶元材料的夹持比较稳定，从而提高了产品的质量和抛光的成功率。现有的用于CMP抛光设备的夹持装置，在使用的过程中，存在以下问题：由于半导体晶元材料有许多种，且半导体晶元材料形状各有不同，在对其进行抛光的过程中，需要用到不同种类的固定装置，进而使得操作起来十分的繁琐。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种CMP抛光设备用夹持装置，具备能固定不同形状的半导体晶元材料等优点，解决了现有的用于CMP抛光设备的夹持装置在使用过程中存在的以下问题：由于半导体晶元材料有许多种，且半导体晶元材料形状各有不同，在对其进行抛光的过程中，需要用到不同种类的固定装置，进而使得操作起来十分的繁琐的问题。为实现上述固定不同形状的半导体晶元材料目的，本技术提供如下技术方案：一种CMP抛光设备用夹持装置，包括工作台，所述工作台上表面一侧焊接有挡板，所述挡板的一端通过螺栓固定有第二电动推杆，所述第二电动推杆的伸缩端通过螺栓连接有夹板，所述工作台表面一侧开设有通槽，所述工作台的另一侧开设有滑槽，所述滑槽的内部放置有连接板，所述连接板的一侧通过螺丝固定有第一电动推杆，一个所述第一电动推杆的伸缩端通过螺丝连接有第二夹块，另一个所述第一电动推杆的伸缩端通过螺丝连接有第一夹块，所述工作台的前表面开设有螺纹孔，且螺纹孔与滑槽相连通，调节螺杆旋合进所述滑槽的内部，且调节螺杆的一端与连接板焊接固定在一起，所述第二电动推杆和第一电动推杆与电源电性连接。优选的，所述夹板包括两个卡板和第一弹簧，其中，两个卡板的中间位置处设置有第一弹簧，且第一弹簧的两端分别与卡板通过铆钉固定连接在一起。优选的，所述第二夹块和所述第一夹块的一侧均开设有半圆形凹槽，所述第二夹块的一侧表面一体成型有卡槽，所述第一夹块的一侧表面一体成型有卡柱，且所述卡柱与所述卡槽卡合固定。优选的，所述半圆形凹槽的内部设置有夹片，且夹片与半圆形凹槽之间通过第二弹簧固定连接。优选的，所述卡板与第一弹簧的下表面均焊接有滑块，且滑块与通槽滑动连接。优选的，所述工作台的下表面四个拐角处通过螺钉固定有底脚，且底脚的下表面粘合有胶垫。与现有技术相比，本技术提供了一种CMP抛光设备用夹持装置，具备以下有益效果：1、该CMP抛光设备用夹持装置，通过工作台上方的一侧设置有第二电动推杆，通过相对应的两个第二电动推杆推动两个夹板，然后将需要加工的物件放置在两个夹板之间，直至将物件给夹紧，进而方便操作人员对物件的固定，由于夹板是由两个卡板和弹簧组合而成的，进而在夹持的过程中，在夹持的过程中起到一个缓冲的作用，防止用力过大对物件造成损伤。2、该CMP抛光设备用夹持装置，通过在工作台的另一侧设置有第一电动推杆，在第一电动推杆的伸缩端连接有第一夹块和第二夹块，第一夹块的一侧表面设置有卡槽，第二夹块的表面设置有卡柱，通过第一电动推杆伸缩端的伸缩，直至卡柱与卡槽卡合在一起，便可对圆形的物件进行固定，还在工作台的表面开设有滑槽，连接板的底端放置在滑槽的内部，连接板的一侧连接有调节螺杆，通过拧动调节螺杆，带动连接板前后移动，进而调节两个夹块间的距离，可以固定不同长度的圆形物件。附图说明图1为本技术结构示意图；图2为本技术俯视结构示意图；图3为本技术图1中a处的放大结构示意图；图4为本技术图2中A-A向结构示意图。图中：1、工作台；2、底脚；3、调节螺杆；4、螺纹孔；5、第一夹块；6、卡柱；7、卡槽；8、第二夹块；9、第一电动推杆；10、连接板；11、夹板；111、卡板；112、第一弹簧；12、第二电动推杆；13、挡板；14、通槽；15、夹片；16、第二弹簧；17、滑槽。具体实施方式结合图1-4，一种CMP抛光设备用夹持装置，包括工作台1，工作台1上表面一侧焊接有挡板13，挡板13的一端通过螺栓固定有第二电动推杆12，第二电动推杆12的伸缩端通过螺栓连接有夹板11，工作台1表面一侧开设有通槽14，通槽14共开设两条，且两条通槽14呈横向位置平行分布，工作台1的另一侧开设有滑槽17，滑槽17共开设两条，且两条滑槽17呈纵向分布，滑槽17的内部放置有连接板10，连接板10的一侧通过螺丝固定有第一电动推杆9，一个第一电动推杆9的伸缩端通过螺丝连接有第二夹块8，另一个第一电动推杆9的伸缩端通过螺丝连接有第一夹块5，工作台1的前表面开设有螺纹孔4，且螺纹孔4与滑槽17相连通，调节螺杆3旋合进滑槽17的内部，且调节螺杆3的一端与连接板10焊接固定在一起，第二电动推杆12和第一电动推杆9与电源电性连接。进一步的，夹板11包括两个卡板111和第一弹簧112，其中，两个卡板111的中间位置处设置有第一弹簧112，且第一弹簧112的两端分别与卡板111通过铆钉固定连接在一起，第二夹块8和第一夹块5的一侧均开设有半圆形凹槽，第二夹块8的一侧表面一体成型有卡槽7，第一夹块5的一侧表面一体成型有卡柱6，且卡柱6与卡槽7卡合固定，半圆形凹槽的内部设置有夹片15，且夹片15与半圆形凹槽之间通过第二弹簧16固定连接，为了使得其在夹持圆形物件的时候，能够夹持的更紧，且不损伤圆形物件本身，卡板111与第一弹簧112的下表面均焊接有滑块，且滑块与通槽14滑动连接，工作台1的下表面四个拐角处通过螺钉固定有底脚2，且底脚2的下表面粘合有胶垫，本实施例中的第一电动推杆9和第二电动推杆12的型号为EC2-CA。工作原理：本实用型安装完之后便可使用，当操作人员使用时，首先根据物件的形状来选择用那种夹持方式，若物件为方形结构，只需将该物件放置在两个夹板11之间，接着通过第二电动推杆12推动两个夹板11直至将该物件给夹紧，由于夹板11的长度较长，可以同时夹紧多个物件，然后同时对该物件进行加工，极大的提高了工作效率，若物件为圆形结构，只需将物件放置在第一夹块5与第二夹块8之间，接着通过第一电动推杆9的推动使得第二夹块8与第一夹块5贴合在一起，直至卡柱6卡合进卡槽7的内部，将该圆形物件给固定紧，还可根据圆形的物件的长度，来拧动调节螺杆3，进而使得连接板10在滑槽17的内部滑动，调节在同一滑槽17内部两个连接板10的距离，来固定不同长度的圆形物件，操作简单，且功能更加全面。在以上的描述中阐述了很多具体细节以便于充分理解本技术。但是以上描述仅是本技术的较佳实施例而已，本技术能够以很多不同于在此描述的其它方式来实施，因此本技术不受上面公开的具体实施的限制。同时任何熟悉本领域技术人员在不脱离本技术技术方案范围情况下，都可利用上述揭示的方法和
技术实现思路
对本技术技术方案做出许多可能的变动和修饰，或修改为等同变化的等效实施例。凡是未脱离本技术技术方案的内容，依据本技术的技术实质对以上实施例所做的任何简单修改、等同变化及修饰，均仍属于本技术技术方本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种CMP抛光设备用夹持装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面一侧焊接有挡板(13)，所述挡板(13)的一端通过螺栓固定有第二电动推杆(12)，所述第二电动推杆(12)的伸缩端通过螺栓连接有夹板(11)，所述工作台(1)表面一侧开设有通槽(14)，所述工作台(1)的另一侧开设有滑槽(17)，所述滑槽(17)的内部放置有连接板(10)，所述连接板(10)的一侧通过螺丝固定有第一电动推杆(9)，一个所述第一电动推杆(9)的伸缩端通过螺丝连接有第二夹块(8)，另一个所述第一电动推杆(9)的伸缩端通过螺丝连接有第一夹块(5)，所述工作台(1)的前表面开设有螺纹孔(4)，且螺纹孔(4)与滑槽(17)相连通，调节螺杆(3)旋合进所述滑槽(17)的内部，且调节螺杆(3)的一端与连接板(10)焊接固定在一起，所述第二电动推杆(12)和第一电动推杆(9)与电源电性连接。

【技术特征摘要】
1.一种CMP抛光设备用夹持装置，包括工作台(1)，其特征在于：所述工作台(1)上表面一侧焊接有挡板(13)，所述挡板(13)的一端通过螺栓固定有第二电动推杆(12)，所述第二电动推杆(12)的伸缩端通过螺栓连接有夹板(11)，所述工作台(1)表面一侧开设有通槽(14)，所述工作台(1)的另一侧开设有滑槽(17)，所述滑槽(17)的内部放置有连接板(10)，所述连接板(10)的一侧通过螺丝固定有第一电动推杆(9)，一个所述第一电动推杆(9)的伸缩端通过螺丝连接有第二夹块(8)，另一个所述第一电动推杆(9)的伸缩端通过螺丝连接有第一夹块(5)，所述工作台(1)的前表面开设有螺纹孔(4)，且螺纹孔(4)与滑槽(17)相连通，调节螺杆(3)旋合进所述滑槽(17)的内部，且调节螺杆(3)的一端与连接板(10)焊接固定在一起，所述第二电动推杆(12)和第一电动推杆(9)与电源电性连接。2.根据权利要求1所述的一种CMP抛光设备用夹持装置，其特征在于：所述夹板(11)包括两个卡板(111)和第一弹...

【专利技术属性】
技术研发人员：常强，肖学才，方明喜，
申请(专利权)人：爱利彼半导体设备中国有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32