一种双列式玻璃基板搬运机构制造技术

本发明专利技术涉及玻璃基板搬运机器人的端拾器，特别涉及一种双列式玻璃基板搬运机构。包括基座、导轨、真空吸盘、第一组叉头、第二组叉头及叉头驱动装置，其中叉头驱动装置和导轨设置于基座上，第一组叉头和第二组叉头均与导轨滑动连接且与叉头驱动装置传动连接，第一组叉头和第二组叉头均包括至少两个叉头，各叉头上均设有多个真空吸盘，叉头驱动装置用于调节第一组叉头和第二组叉头中叉头的间距。本发明专利技术能够适应各种各样规格的玻璃基板，通过伺服控制叉头间距和真空吸盘的吸附逻辑，进行柔性生产，拾取的任意两次玻璃基板的尺寸规格可以不同，以满足客户的需求。

A Double-row Glass Substrate Handling Mechanism

The invention relates to an end pick-up device of a glass substrate handling robot, in particular to a double-row glass substrate handling mechanism. It includes base, guide rail, vacuum sucker, first group fork head, second group fork head and fork head driving device. The fork head driving device and guide rail are arranged on the base. The first group of fork heads and the second group of fork heads are slidingly connected with the guide rail and drive connected with the fork head driving device. The first group of fork heads and the second group of fork heads both include at least two fork heads, each fork head is provided with a plurality of vacuum suckers. The fork head driving device is used to adjust the spacing between the fork heads in the first and second groups of forks. The invention can adapt to various specifications of glass substrates. Flexible production can be carried out by servo control of spacing between forks and adsorption logic of vacuum suckers. The size specifications of any two glass substrates picked up can be different to meet the needs of customers.

【技术实现步骤摘要】
一种双列式玻璃基板搬运机构
本专利技术涉及玻璃基板搬运机器人的端拾器，特别涉及一种双列式玻璃基板搬运机构。
技术介绍
平板显示(FlatPaneldisplay，FPD)是继集成电路(IC)之后发展起来的又一大型产业，它与IC一起成为电子信息产业的核心与基础。目前，FPD产业的世界销售额已达到1000亿美元，并仍将以15％的年增长率快速发展，所以FPD有望成为世界上最具发展潜力的产业之一。玻璃基板是FPD产业的关键基础材料之一，其对于FPD的重要性不亚于硅晶圆在半导体产业中的地位。在FPD产品生产过程中，玻璃基板不仅要承受强酸强碱和高温环境，还要具备较精密的表面平整度与平面起伏度。同时，FPD产业的制造过程要求高度自动化、无人化。因此，搬运机器人被引入到FPD产业中，代替人工搬运，实现玻璃基板的平稳搬运和精确定位。玻璃基板搬运机器人是一种应用于无尘或真空环境下的传输用工业机器人，它主要应用在FPD产业中，联结前后段制程，并在各过程中实现玻璃基板的交换与传递。目前，客户需求个性化越来越强烈，所以对于玻璃基板的规格也越来越多样，现有的玻璃基板搬运机器人的端拾器还不能够适应各种各样的规格，难以满足客户的需求。
技术实现思路
针对上述问题，本专利技术的目的在于提供一种双列式玻璃基板搬运机构，以解决现有的玻璃基板搬运机器人的端拾器不能适应各种各样规格的玻璃基板，难以满足客户的需求的问题。为了实现上述目的，本专利技术采用以下技术方案：一种双列式玻璃基板搬运机构，包括基座、导轨、真空吸盘、第一组叉头、第二组叉头及叉头驱动装置，其中叉头驱动装置和导轨设置于基座上，所述第一组叉头和第二组叉头均与所述导轨滑动连接且与所述叉头驱动装置传动连接，所述第一组叉头和所述第二组叉头均包括至少两个叉头，各叉头上均设有多个真空吸盘，所述叉头驱动装置用于调节所述第一组叉头和所述第二组叉头中叉头的间距。所述第二组叉头平均分布在所述基板的对称中线两侧，所述第一组叉头平均分布在所述第二组叉头的两侧，所述第一组叉头和所述第二组叉头通过所述叉头驱动装置的驱动同步向所述对称中线靠近或远离所述对称中线。所述叉头驱动装置包括伺服电机、前齿形带、后齿形带及同步轴，其中前齿形带和后齿形带均与所述导轨平行地设置于所述基座上，所述后齿形带的一端与所述伺服电机的输出轴传动连接，另一端通过同步轴与后齿形带传动连接，所述后齿形带与所述第一组叉头连接，所述前齿形带与所述第二组叉头连接。所述前齿形带和所述后齿形带均环绕于所述第一组叉头和所述第二组叉头的外侧，所述第一组叉头中位于所述对称中线左侧的叉头的底部与所述后齿形带，位于所述对称中线右侧的叉头的顶部与所述后齿形带连接；所述第二组叉头中位于所述对称中线左侧的叉头的底部与所述前齿形带连接，位于所述对称中线右侧的叉头的顶部与所述前齿形带连接。所述前齿形带的转动速度大于所述后齿形带的转动速度。所述前齿形带的两端分别通过大直径主动带轮和大直径从动轮支撑，所述大直径主动带轮可转动地安装在大轮连接板上、且与所述伺服电机的输出轴连接，所述大直径从动轮设置于所述同步轴的一端上，所述同步轴可转动地安装在支撑左座上；所述前齿形带的两端分别通过小主动带轮和小从动带轮支撑，所述小主动带轮设置于所述同步轴的另一端，所述小从动带轮可转动地安装在小轮连接板上。所述前齿形带和所述后齿形带分别通过一涨紧机构涨紧。所述基座上设有两个相互平行的所述导轨，各导轨的两端分别设有一机械限位。所述基座上设有与所述真空吸盘连接的真空组件。本专利技术的优点及有益效果是：本专利技术提供的双列式玻璃基板搬运机构能够适应各种各样规格的玻璃基板，通过伺服控制叉头间距和真空吸盘的吸附逻辑，进行柔性生产，拾取的任意两次玻璃基板的尺寸规格可不同，以满足客户的需求。本专利技术通过内部含有一定阻尼和弹性的同步带及碳纤维构件，达到减少高速运动产生的振动问题。附图说明图1是本专利技术的轴测图之一；图2是本专利技术的轴测图之二；图3是图2的I处放大图；图4是图2的II处放大图；图5是图2的III处放大图；图6是本专利技术的俯视图；图7是图6的C-C剖视图；图8是图6的D-D剖视图。图中：1为基座，101为对称中线，2为前齿形带，3为伺服电机，4为大轮连接板，5为后齿形带，6为导轨，7为后连接块，8为前连接块，9为支座，11为真空组件，13为真空吸盘，1301为真空外吸盘，1302为真空中吸盘，1303为真空外吸盘，14为机械限位，15为叉头，1501为左外叉头，1502为左中叉头，1503为右中叉头，1504为右外叉头，16为大直径主动带轮，17为大压板，19为支撑左座，20为同步轴，21为中球轴承，22为小主动带轮，23为下压板，24为轴承座端盖，25为大直径从动轮，26为小轮连接板，27为小球轴承，28为大球轴承，29为小从动带轮，30为转轴，31为盖板，32为螺栓，33为固定螺钉，35为涨紧螺钉，36为滑块。具体实施方式为了使本专利技术的目的、技术方案和优点更加清楚，下面结合附图和具体实施例对本专利技术进行详细描述。如图1-2所示，本专利技术提供的一种双列式玻璃基板搬运机构，包括基座1、导轨6、真空吸盘13、第一组叉头、第二组叉头及叉头驱动装置，其中基座1连接玻璃基板搬运机器人的末端，叉头驱动装置和导轨6设置于基座1上，第一组叉头和第二组叉头均与导轨6滑动连接且与叉头驱动装置传动连接，第一组叉头和第二组叉头均包括至少两个叉头15，各叉头15上均设有多个真空吸盘13，叉头驱动装置用于调节第一组叉头和第二组叉头中叉头15的间距。进一步地，第二组叉头平均分布在基板1的对称中线101两侧，第一组叉头平均分布在第二组叉头的两侧，第一组叉头和第二组叉头通过叉头驱动装置的驱动同步向对称中线101靠近或远离对称中线101，如图6所示。如图3-4、图7-8所示，叉头驱动装置包括伺服电机3、前齿形带2、后齿形带5及同步轴20，其中前齿形带2和后齿形带5均与导轨6平行地设置于基座1上，后齿形带5的一端与伺服电机3的输出轴传动连接，另一端通过同步轴20与后齿形带5传动连接，后齿形带5与第一组叉头连接，前齿形带2与第二组叉头连接。进一步地，前齿形带2和后齿形带5均环绕于第一组叉头和第二组叉头的外侧，第一组叉头中位于对称中线101左侧的叉头15的底部通过一后连接块7与后齿形带5，位于对称中线101右侧的叉头15的顶部通过另一后连接块7与后齿形带5连接，后齿形带5带动对称中线101两侧的叉头15沿相反方向运动，如图3所示。第二组叉头中位于对称中线101左侧的叉头15的底部通过一前连接块8与前齿形带2连接，位于对称中线101右侧的叉头15的顶部通过另一前连接块8与前齿形带2连接，前齿形带2带动对称中线101两侧的叉头15沿相反方向运动，如图5所示。进一步地，前齿形带2的转动速度大于后齿形带5的转动速度，从而可调整第一组叉头和第二组叉头之间的间距。前齿形带2的两端分别通过大直径主动带轮16和大直径从动轮25支撑，大直径主动带轮16可转动地安装在大轮连接板4上、且与伺服电机3的输出轴连接，如图3、图8所示。大直径从动轮25设置于同步轴20的一端上，同步轴20可转动地安装在支撑左座19上，如图4所示；前齿形带2的两端分别通过小主动带轮22和小从动带轮29支撑，本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双列式玻璃基板搬运机构，其特征在于，包括基座(1)、导轨(6)、真空吸盘(13)、第一组叉头、第二组叉头及叉头驱动装置，其中叉头驱动装置和导轨(6)设置于基座(1)上，所述第一组叉头和第二组叉头均与所述导轨(6)滑动连接且与所述叉头驱动装置传动连接，所述第一组叉头和所述第二组叉头均包括至少两个叉头(15)，各叉头(15)上均设有多个真空吸盘(13)，所述叉头驱动装置用于调节所述第一组叉头和所述第二组叉头中叉头(15)的间距。

【技术特征摘要】
1.一种双列式玻璃基板搬运机构，其特征在于，包括基座(1)、导轨(6)、真空吸盘(13)、第一组叉头、第二组叉头及叉头驱动装置，其中叉头驱动装置和导轨(6)设置于基座(1)上，所述第一组叉头和第二组叉头均与所述导轨(6)滑动连接且与所述叉头驱动装置传动连接，所述第一组叉头和所述第二组叉头均包括至少两个叉头(15)，各叉头(15)上均设有多个真空吸盘(13)，所述叉头驱动装置用于调节所述第一组叉头和所述第二组叉头中叉头(15)的间距。2.根据权利要求1所述的双列式玻璃基板搬运机构，其特征在于，所述第二组叉头平均分布在所述基板(1)的对称中线(101)两侧，所述第一组叉头平均分布在所述第二组叉头的两侧，所述第一组叉头和所述第二组叉头通过所述叉头驱动装置的驱动同步向所述对称中线(101)靠近或远离所述对称中线(101)。3.根据权利要求2所述的双列式玻璃基板搬运机构，其特征在于，所述叉头驱动装置包括伺服电机(3)、前齿形带(2)、后齿形带(5)及同步轴(20)，其中前齿形带(2)和后齿形带(5)均与所述导轨(6)平行地设置于所述基座(1)上，所述后齿形带(5)的一端与所述伺服电机(3)的输出轴传动连接，另一端通过同步轴(20)与后齿形带(5)传动连接，所述后齿形带(5)与所述第一组叉头连接，所述前齿形带(2)与所述第二组叉头连接。4.根据权利要求3所述的双列式玻璃基板搬运机构，其特征在于，所述前齿形带(2)和所述后齿形带(5)均环绕于所述第一组叉头和所述第二组叉头的外侧，所述第一组叉头中位于所述对称中线(101)左侧的叉头(...

【专利技术属性】
技术研发人员：朱维金，刘亚超，王凤利，陈立博，孙宝龙，周斌，王金涛，程虎丰，
申请(专利权)人：沈阳新松机器人自动化股份有限公司，
类型：发明
国别省市：辽宁,21