一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐，所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐，所述过滤装置为下进上出，圆锥形过滤网的过滤罐体。本实用新型专利技术的过滤罐体中采用圆锥形过滤网，反向过滤，蚀刻液由下往上流动，从而可以使滤渣留存在下方，由于滤渣一般自重比滤液大，其会往下沉淀，从而可通过过滤罐体底端的排污口排出；滤后澄清液可以由下而上通过采出泵泵出过滤罐体，流向成品罐；滤渣不会过多堆积在滤网处，滤网承受的阻力小，拆洗方便，使用寿命长。

A Fabrication Device for Acidic Ammonium Fluoride Etching Solution

The utility model discloses a preparation device of an acid ammonium fluoride etching solution, which comprises an octylamine storage tank, a first mixing tank, a second mixing tank, a regulating valve, a filtering device and a finished product tank connected in turn. The first mixing tank is also connected with an additive storage tank, and the second mixing tank is also connected with an ammonium fluoride storage tank, a hydrofluoric acid storage tank and a deionized water storage tank. The filter tank of the conical filter screen is used for entering and exiting. The filter tank body of the utility model adopts a conical filter screen, which filters backwards, and the etching liquid flows from bottom to top, so that the filter residue can be left below. Because the filter residue generally has a larger self-weight than the filter, it will precipitate downwards, and then it can be discharged through the sewage outlet at the bottom of the filter tank body; the filtered clarified liquid can be discharged from the filter tank body through a pump from bottom to top, and then flow to the finished tank. Slag will not accumulate too much in the filter, the resistance of the filter is small, easy to remove and wash, and the service life is long.

【技术实现步骤摘要】
一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置
本技术涉及蚀刻液的制备
，具体涉及一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置。
技术介绍
FT基板上设置有大量的薄膜、薄层，所以为了防止这些之间发生不希望的电短路，优选将蚀刻后的基板的切断侧面即蚀刻轮廓(profile)均等地倾斜，且下方比上方宽，为钝锥(taper)形状。这是由于蚀刻轮廓为钝锥形状的情况下，所形成的2个以上的薄膜层之间的高度差会减少。蚀刻方法具有利用气体的干式蚀刻和利用蚀刻液的湿式蚀刻，尽管湿式蚀刻具有缺点，但是其工序所需的设备投资费用低，无需将蚀刻环境维持在高真空状态，对掩模和基板均有优异的蚀刻选择性。主要成分为氢氟酸(HF)和氟化铵(NH4F)的酸性氟化铵蚀刻液又称为B.O.E.(BufferedOxideEtch)蚀刻液，在半导体工业中也常广泛使用于蚀刻无光刻胶护罩的氧化层。其中，氢氟酸中的氟化氢是主要的蚀刻成份，氟化铵是作为氟化氢的缓冲剂，以补充氟离子在溶液中因蚀刻反应的消耗，维持蚀刻液中氢离子的浓度，使之保持一定的蚀刻速率。目前，现有的蚀刻液生产系统中，过滤装置通常采用过滤网，将蚀刻液中的杂质等截留在过滤网内部，如此不断的过滤，被本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐，所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐，其特征在于，所述过滤装置包括一个过滤罐体、设置在过滤罐体内部的过滤件及设置在过滤罐体上的进料口、出料口和排污口，所述进料口位于过滤罐体的侧壁处，所述出料口位于过滤罐体的顶部，所述排污口位于过滤罐体底部，所述排污口设有相适配的塞子；所述过滤件为圆锥形滤网，且圆锥形滤网的大端口与过滤罐体内壁密封固定连接，所述过滤罐体出料口后管路上设有采出泵，所述过滤罐体出料口通过管路与采出泵连接后再与成品罐进...

【技术特征摘要】
1.一种酸性氟化铵蚀刻液的制备装置，包括依次连接的辛胺储罐、第一混合罐、第二混合罐、调节阀、过滤装置和成品罐，所述第一混合罐上还连接有添加剂储罐，所述第二混合罐上还连接有氟化铵储罐、氟氢酸储罐和去离子水储罐，其特征在于，所述过滤装置包括一个过滤罐体、设置在过滤罐体内部的过滤件及设置在过滤罐体上的进料口、出料口和排污口，所述进料口位于过滤罐体的侧壁处，所述出料口位于过滤罐体的顶部，所述排污口位于过滤罐体底部，所述排污口设有相适配的塞子；所述过滤件为圆锥形滤网，且圆锥形滤网的大端口与过滤罐体内壁密封固定连接，所述过滤罐体出料口后管路上设有采出泵，所述过滤罐体出料口通过管路与采出泵连接后再与成品罐进口相连。2.根据权利要求1所述的酸...

【专利技术属性】
技术研发人员：戈士勇，
申请(专利权)人：江阴润玛电子材料股份有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32