一种氟化铵的综合利用系统技术方案

技术编号:20301246 阅读:40 留言:0更新日期:2019-02-11 06:58
本实用新型专利技术属于无机化工领域,具体涉及一种氟化铵的综合利用系统。目的是提供一种氟化铵的综合利用系统。采用的技术方案是:包括氟化铵储罐、树胺料斗、反应釜、氨气储罐、电热反应釜、氟化氢储罐、混合罐、刻蚀工作台、废液收集槽;氟化铵储罐与反应釜相连,树胺料斗与反应釜相连,反应釜与氨气储罐相连,反应釜与电热反应釜相连,电热反应釜与氟化氢储罐相连,电热反应釜与树胺料斗相连;氟化氢储罐与混合罐相连,混合罐与刻蚀工作台相连,刻蚀工作台与废液收集槽相连,氨气储罐与废液收集槽相连。整个系统充分的利用了各个流程的产物,实现了氟化铵的综合利用,且简单可靠、对环境影响小、经济效益高,适合工业化生产。

【技术实现步骤摘要】
一种氟化铵的综合利用系统
本技术属于无机化工领域,具体涉及一种氟化铵的综合利用系统。
技术介绍
使用氟化氢刻蚀二氧化硅制品时,还需要使用氟化铵做缓冲溶剂,完成刻蚀工序后,产生的刻蚀废液,通常是运送到其他地方处理;在这过程中,废液中的氨受热分解出氨气,同时也容易生成四氟化硅气体逸出,造成环境的污染和资源的浪费。再者,许多生产经营者往往为了缩减处理工序、节约成本,利用氧化钙对刻蚀后的废液进行处理,将生成氟化钙污泥掩埋,消耗了石灰并造成了氟资源的浪费,同时也给环境治理带来负担。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种氟化铵的综合利用系统。为实现上述目的,本技术采用的技术方案是:包括氟化铵储罐、树胺料斗、反应釜、氨气储罐、电热反应釜、氟化氢储罐、混合罐、刻蚀工作台、废液收集槽;所述氟化铵储罐出料口与反应釜第一进料口相连,所述树胺料斗出料口与反应釜第二进料口相连,所述反应釜排气口与氨气储罐进气口相连,所述反应釜排料口与电热反应釜进料口相连,所述电热反应釜排气口与氟化氢储罐进气口相连,所述电热反应釜排料口与树胺料斗进料口相连;所述氟化氢储罐出料口与混合罐进料口相连,所述混合罐出料口与刻蚀工作台进液口相本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种氟化铵的综合利用系统,其特征在于:包括氟化铵储罐(1)、树胺料斗(2)、反应釜(3)、氨气储罐(4)、电热反应釜(5)、氟化氢储罐(6)、混合罐(8)、刻蚀工作台(9)、废液收集槽(10);所述氟化铵储罐(1)出料口与反应釜(3)第一进料口相连,所述树胺料斗(2)出料口与反应釜(3)第二进料口相连,所述反应釜(3)排气口与氨气储罐(4)进气口相连,所述反应釜(3)排料口与电热反应釜(5)进料口相连,所述电热反应釜(5)排气口与氟化氢储罐(6)进气口相连,所述电热反应釜(5)排料口与树胺料斗(2)进料口相连;所述氟化氢储罐(6)出料口与混合罐(8)进料口相连,所述混合罐(8)出料口与刻蚀...

【技术特征摘要】
1.一种氟化铵的综合利用系统,其特征在于:包括氟化铵储罐(1)、树胺料斗(2)、反应釜(3)、氨气储罐(4)、电热反应釜(5)、氟化氢储罐(6)、混合罐(8)、刻蚀工作台(9)、废液收集槽(10);所述氟化铵储罐(1)出料口与反应釜(3)第一进料口相连,所述树胺料斗(2)出料口与反应釜(3)第二进料口相连,所述反应釜(3)排气口与氨气储罐(4)进气口相连,所述反应釜(3)排料口与电热反应釜(5)进料口相连,所述电热反应釜(5)排气口与氟化氢储罐(6)进气口相连,所述电热反应釜(5)排料口与树胺料斗(2)进料口相连;所述氟化氢储罐(6)出料口与混合罐(8)进料口相连,所...

【专利技术属性】
技术研发人员:杨红权庞枫林
申请(专利权)人:多氟多昆明科技开发有限公司
类型:新型
国别省市:云南,53

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