搬运台和使用该搬运台的喷墨装置制造方法及图纸

本发明专利技术提供抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。该搬运台包括：由多个基台构成的基台；能够分别调整上述多个基台的高度的高度调整部；配置在上述基台上且由多个引导件构成的引导件；能够沿着上述引导件移动的可动部；与上述可动部连接且将基板沿扫描方向搬运的搬运工作台；利用气体对上述可动部进行支承的空气轴承部；以及与上述搬运工作台连结的基板搬运部，上述多个引导件的重心位置位于上述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，上述基准构件以外的上述基台的上表面位于上述基准构件的上表面以下。

Ink-jet device of the conveyor and the use of the conveyor

The invention provides an inkjet device for suppressing the vibration of the movable part when traveling along a guide member on a base composed of multiple components. The platform includes: a base station composed of multiple base stations; a height adjusting part capable of adjusting the height of the above-mentioned multiple base stations separately; a guide device arranged on the base platform and composed of multiple guide elements; a movable part capable of moving along the above-mentioned guide elements; a movable stage connected with the movable part and carrying the base plate along the scanning direction; and a movable part using gas to carry out the above-mentioned movable part. The supporting air bearing part and the base plate handling part connected with the above-mentioned handling worktable are positioned at the center of gravity of the guide parts directly above the reference members with the largest volume or weight in the above-mentioned multiple bases, and the upper surface of the base stations other than the reference members is below the upper surface of the above-mentioned reference members.

【技术实现步骤摘要】
搬运台和使用该搬运台的喷墨装置
本专利技术涉及搬运台和使用该搬运台的喷墨装置。尤其是涉及大型搬运台和使用该大型搬运台的喷墨装置。
技术介绍
近年来，使用喷墨装置来制造设备的方法受到关注。喷墨装置具有进行液滴喷出的多个喷嘴，通过一边控制喷嘴与印刷对象物的位置关系一边从喷嘴喷出液滴，从而向印刷对象物涂敷液滴。作为这种喷墨装置之一，已知有具备被称为行式头的沿印刷对象物的宽度方向并列设置的多个模块头(具有多个喷出口的液滴喷出头)的喷墨装置。通过将该行式头沿副扫描方向并列配置，从而能够在一次搬运工序中向宽度大的印刷对象物一并涂敷墨液。此外，虽然需要扫描方向的长度，但通过在扫描方向上还搭载多个沿副扫描方向并列设置的行式头，由此能够在一次搬运工序的期间向印刷对象物一并涂敷例如颜色不同等的多种墨液。根据该结构，针对大型的印刷对象物也能够在一次搬运工序中一并涂敷多种墨液，因此，能够降低向印刷对象物涂敷墨液的生产节拍，并且，容易使墨液涂敷后的干燥条件等变得均匀，因此，具有例如能够均匀地控制墨液膜厚等印刷工艺上的优点。需要说明的是，在上述结构的喷墨装置中，印刷对象物的行进再现性成为决定喷墨装置的喷出精度的重要因素之一，因此，在需要进行高精度的涂敷的情况下，就印刷对象物的搬运方法而言，广泛知晓有利用静压轴承一边支承一边搬运的结构。然而，近年来，为了提高生产率，谋求印刷对象物的进一步的大型化。当印刷对象物变大时，搬运距离相应地变长，搭载印刷对象物并沿扫描方向移动的引导件也必然需要变长。因此，产生无法用一个构件进行加工及制作这样的问题。因此，需要将多个构件拼接来制作引导件。但是，由于接缝部处的高低差和间隙等的影响而产生行进再现性变差这样的问题。利用图11的剖视图对现有技术进行说明。如图11所示，在现有技术中，将构成引导件的多个构件的接缝60设成了作为凹形状61的冕形状。这样，在接缝60处不存在凸部。其结果是，在搬运印刷对象物的可动部11移动时，防止空气轴承部12与凸部的接触，提供高精度的精密工作台(例如专利文献1)。在先技术文献专利文献专利文献1：日本特许第4346067号公报然而，存在作为凹形状61的冕形状的深度越深则在可动部11行进时越会产生振动这样的课题。当产生振动时，例如由于行式头与印刷对象物的角度变化而导致从行式头向印刷对象物涂敷液滴时的精度变差。需要说明的是，虽能够通过使凹形状61的冕形状变浅来缩小振动，但关于使凹形状61的冕形状变浅到何种程度，是由平面度等加工性能来决定的值，并且，难以抑制到使振动完全消失。此外，即便能够以使与空气轴承部对置的引导件精度良好地成为同一平面的方式进行加工，但若搭载引导件的基台上表面不在同一平面，则在并列引导件时产生高低差，导致行进精度变差。因此，谋求如下的方法：即便在引导件及支承引导件的基台由多个构成构件构成的情况下，也进一步减少可动部经由空气轴承部在引导件上扫描时的振动。
技术实现思路
即，本专利技术的课题在于，提供一种抑制了可动部沿着由多个构件构成的基台上的引导件行进时的振动的搬运台以及使用该搬运台的喷墨装置。用于解决课题的方案为了实现上述目的，本专利技术使用一种搬运台，该搬运台包括：基台，其由多个基台构成；高度调整部，其能够分别调整上述多个基台的高度；引导件，其配置在上述基台上，由多个引导件构成；可动部，其能够沿着上述引导件移动；搬运工作台，其与上述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；空气轴承部，其利用气体对上述可动部进行支承；以及基板搬运部，其与上述搬运工作台连结，上述多个引导件的重心位置位于上述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，上述基准构件以外的上述基台的上表面位于上述基准构件的上表面以下。另外，本专利技术使用一种喷墨装置，该喷墨装置具有：至少一个以上的台架，其配置为跨越上述的搬运台；行式头，其固定于上述台架，且向上述搬运工作台上的印刷对象物喷出墨液；印刷位置观测单元，其获取从上述行式头喷出的液滴坐标；以及控制部，其使用由上述印刷位置观测单元获得的上述液滴坐标，来修正从上述行式头喷出墨液的喷出时机。专利技术效果根据本专利技术，与基台及引导件的扫描方向的长度相关的制约不依赖于加工及制作的界限，能够实现长条且高精度的搬运台。因此，例如能够实现在一次搬运中从喷墨喷嘴向大型的印刷对象物高精度地涂敷墨液的装置。由此，能够提高印刷对象物的生产效率。附图说明图1的(a)是俯视观察实施方式1的喷墨装置的印刷动作前的状态的示意俯视图，图1的(b)是俯视观察实施方式1的喷墨装置的印刷动作后的状态的示意俯视图。图2是从正面观察实施方式1的喷墨装置的示意主视图。图3的(a)是以实施方式1的基台与引导件的关系示出了设计上的概念的示意剖视图，图3的(b)是以实施方式1的基台与引导件的关系示出了实际中产生的高低差的概念的示意剖视图。图4的(a)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出用于使引导件上表面成为同一平面的结构的图，图4的(b)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出了引导件上表面不为同一平面的结构例的图，图4的(c)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出了引导件上表面不为同一平面的结构例的图，图4的(d)是示出实施方式1的基台与引导件的关系的剖视图，是示出了行式头的位置的图。图5的(a)是模拟了实施方式2的引导件接缝被加工为平滑的凹形状的图像的示意剖视图，图5的(b)是模拟了实施方式2的引导件接缝被加工为不平滑的凹形状的图像的示意剖视图，图5的(c)是示出实施方式2的引导件接缝与行式头的位置关系的示意剖视图。图6的(a)是搬运工作台在实施方式2的被加工为宽度大的凹形状的拼接部上行进时向各个空气轴承部施加的浮起力的概念剖视图，图6的(b)是搬运工作台在实施方式2的被加工为宽度小的凹形状的拼接部上行进时向各个空气轴承部施加的浮起力的概念剖视图。图7是仰视观察实施方式3的搬运工作台的图，是示出可动部及空气轴承部的配置的示意俯视图。图8的(a)是俯视观察实施方式3的架台及引导件的图，是示出引导件的拼接部处于同一直线状的情况的示意俯视图，图8的(b)是俯视观察实施方式3的架台及引导件的图，是示出引导件的拼接部不为同一直线状的情况的示意俯视图，图8的(c)是实施方式3的架台及引导件的俯视图。图9是示出实施方式4的空气轴承部的刚性与浮起量的特性的概念的特性图。图10是实施方式6中的俯视观察喷墨装置的印刷动作前的状态的示意俯视图。图11是专利文献1的搬运台的侧视图。附图标记说明1基台1a基台1b基台2引导件2a引导件2b引导件3搬运工作台4门型台架5行式头6印刷对象物8高度调整部9基板搬运部F距离L1、L2宽度M刚性N距离X距离11可动部12空气轴承部22箭头31值32峰值41扫描方向42副扫描方向50印刷位置观测单元60接缝61凹形状70接缝具体实施方式以下，参照附图对本专利技术的实施方式进行说明。(实施方式1)图1的(a)、图1的(b)是从印刷对象物6的主面方向示出喷墨装置的俯视图。如图1的(a)所示，喷墨装置具备基台1、引导件2、搬运工作台3、门型台架4以及行式头5。在搬运工作台3如图1的(a)至图1的(b)那样移动的同时，从行式头5喷出墨液，向印刷对象物6的涂敷区域涂敷本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种搬运台，其特征在于，包括：基台，其由多个基台构成；高度调整部，其能够分别调整所述多个基台的高度；引导件，其配置在所述基台上，由多个引导件构成；可动部，其能够沿着所述引导件移动；搬运工作台，其与所述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；空气轴承部，其利用气体对所述可动部进行支承；以及基板搬运部，其与所述搬运工作台连结，所述多个引导件的重心位置位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，所述基准构件以外的所述基台的上表面位于所述基准构件的上表面以下。

【技术特征摘要】
2017.11.10 JP 2017-216852;2018.09.03 JP 2018-164571.一种搬运台，其特征在于，包括：基台，其由多个基台构成；高度调整部，其能够分别调整所述多个基台的高度；引导件，其配置在所述基台上，由多个引导件构成；可动部，其能够沿着所述引导件移动；搬运工作台，其与所述可动部连接，将基板沿扫描方向搬运；空气轴承部，其利用气体对所述可动部进行支承；以及基板搬运部，其与所述搬运工作台连结，所述多个引导件的重心位置位于所述多个基台中的体积最大或重量最重的基准构件的正上方，所述基准构件以外的所述基台的上表面位于所述基准构件的上表面以下。2.根据权利要求1所述的搬运台，其中，与所述空气轴承部对置的所述引导件之间的接缝形成为凹形状，所述凹形状的所述扫描方向上的宽度比所述空气轴承部的所述扫描方向上的宽度的一半小。3.根据权利要求1所述的搬运台，其中，多个所述引导件的接缝设置为，在与所述扫描方向垂直的方向即副扫描方向的同一线上不存在多个所述接缝。4.根据权利要求1所述的搬运台，其中，在将从所述搬运工作台的中心轴到所述空气轴承部的最近的端部为止的扫描方向上的距离设为N、将从所述搬运工作台的中心轴到所述空气轴承部的最远的端部为止的...

【专利技术属性】
技术研发人员：末益智志，山口明德，井上隆史，
申请(专利权)人：松下知识产权经营株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP