一种具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器制造技术

本发明专利技术涉及一种具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器，包括衬底层，衬底层的上方设置有相互间隔的引线电极以及高折射率层；高折射率层的上方设置有低折射率层，低折射率层的上方设置有石墨烯导电层，石墨烯导电层的上方设置有对数周期天线；对数周期天线的上方设置有介质层，介质层上设置有劈裂栅极，以及与劈裂栅极电连接的引线电极；该具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器，通过将热量聚集在对数周期天线下方，同时将石墨烯导电层设置于对数周期天线下方，使得石墨烯导电层在进行导电的时候能够吸收更多的热量，载流子的浓度更高，从而提高了探测光波的敏感度，提高了亚太赫兹波探测器的灵敏度。

An Asia-Pacific Hertz Wave Detector with Temperature Regulation Characteristics

【技术实现步骤摘要】
一种具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器
本专利技术属于亚太赫兹波探测
，具体涉及一种具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器。
技术介绍
太赫兹波是频率0.1～10THz(1THz＝1012Hz)范围内的电磁波，波长范围为3mm～30μm，位于毫米波(亚毫米波)与红外波之间。太赫兹光子对应能量范围为0.414～41.4meV，与分子和材料的低频振动和转动能量范围相匹配。这些决定了太赫兹波在电磁频谱中的特殊位置以及在传播、散射、反射、吸收、穿透等方面与毫米波、红外线显著不同的特点和应用，也将为人们对物质的表征和操控提供很大的自由空间。太赫兹波具有很多独特的性质如宽频性、透视性、安全性等，它在物理、化学、生物医学等基础领域，以及反恐、有无损成像、光谱分析和雷达通讯方面有着重要的应用前景：(1)太赫兹波在生物医学上的应用具有很大的吸引力。在皮肤癌的诊断和治疗、太赫兹波断层成像以及药物的分析和检测等方面都显示了其强大的功能和成效。由于生物大分子的振动和转动频率均在太赫兹波段，而且太赫兹波辐射技术又可提取DNA的重要信息，因此，太赫兹波在植物，特别是粮食选种，优良菌种的选择等方面可以起重要的作本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器，包括衬底层(1)，其特征在于：所述衬底层(1)的上方设置有相互间隔的引线电极(3)以及高折射率层(4)，所述高折射率层(4)设置于引线电极(3)之间；所述高折射率层(4)的上方设置有低折射率层(5)，所述低折射率层(5)的上方设置有石墨烯导电层(6)，所述石墨烯导电层(6)的上方设置有对数周期天线(7)，所述对数周期天线(7)的两臂分别与对应的引线电极(3)电连接，所述对数周期天线(7)的两臂通过石墨烯导电层(6)形成导电沟道；所述对数周期天线(7)的上方设置有介质层(8)，所述介质层(8)上设置有劈裂栅极(9)，以及与劈裂栅极(9)电连接的引线电极...

【技术特征摘要】
1.一种具有温度调控特性的亚太赫兹波探测器，包括衬底层(1)，其特征在于：所述衬底层(1)的上方设置有相互间隔的引线电极(3)以及高折射率层(4)，所述高折射率层(4)设置于引线电极(3)之间；所述高折射率层(4)的上方设置有低折射率层(5)，所述低折射率层(5)的上方设置有石墨烯导电层(6)，所述石墨烯导电层(6)的上方设置有对数周期天线(7)，所述对数周期天线(7)的两臂分别与对应的引线电极(3)电连接，所述对数周期天线(7)的两臂通过石墨烯导电层(6)形成导电沟道；所述对数周期天线(7)的上方设置有介质层(8)，所述介质层(8)上设置有劈裂栅极(9)，以及与劈裂栅极(9)电连接的引...

【专利技术属性】
技术研发人员：不公告发明人，
申请(专利权)人：金华伏安光电科技有限公司，
类型：发明
国别省市：浙江,33