一种真空镀膜设备的产品装夹装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术公开了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有驱动马达，所述旋转驱动轴上套有偏压支架，且位于驱动齿轮的上方，本实用新型专利技术涉及真空镀膜设备技术领域,调节电压，使离子束流排出尖角效应的干扰，达到深孔内表面镀膜，复杂曲面镀膜的目的，该装置为两套独立的旋转偏压系统。

A Product Clamping Device for Vacuum Coating Equipment

The utility model discloses a product clamping device for vacuum coating equipment, which comprises a rotary drive shaft with a coated protective baffle, a first insulating device installed on the coated protective baffle, a first bearing sleeve with a first carbon brush conductive mechanism, and a first carbon brush conductive mechanism installed inside the first carbon brush conductive mechanism. A sealed part is provided with a driving gear sleeve on the rotating driving shaft, and a second set of insulation device is arranged between the driving gear and the rotating driving shaft. The driving motor is meshed at the edge of the driving gear. The rotating driving shaft sleeve is provided with a bias bracket and is located above the driving gear. The utility model relates to the technical field of vacuum coating equipment, adjusting voltage and making ion beam row. The interference of sharp angle effect can achieve the purpose of deep hole inner surface coating and complex surface coating. The device is two sets of independent rotary bias system.

【技术实现步骤摘要】
一种真空镀膜设备的产品装夹装置
本技术涉及真空镀膜设备
，具体为一种真空镀膜设备的产品装夹装置。
技术介绍
所谓真空镀膜就是置待镀材料和被镀基板于真空室内，采用加热蒸发、磁控溅射、真空电弧或者化学气相沉积方式激发出等离子体，并飞行溅射到被镀基板表面凝聚成膜的工艺。目前，只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面，因此设计一种真空镀膜设备的产品装夹装置很有必要。
技术实现思路
针对现有技术的不足，本技术提供了一种真空镀膜设备的产品装夹装置，解决了现有的只有1路和真空镀膜腔室绝缘的产品装夹装置，偏压直接施加在产品上，由于尖角效应，无法镀制深孔产品内表面的问题。为实现以上目的，本技术通过以下技术方案予以实现：一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴,所述旋转驱动轴上套有镀膜保护挡板，所述镀膜保护挡板上安装有第一套绝缘装置，所述旋转驱动轴上套有第一轴承，所述第一轴承外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴上套有驱动齿轮，所述驱动齿轮与旋转驱动轴之间设有第二套绝缘装置，所述驱动齿轮边缘处啮合有本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴(6),其特征在于，所述旋转驱动轴(6)上套有镀膜保护挡板(7)，所述镀膜保护挡板(7)上安装有第一套绝缘装置(8)，所述旋转驱动轴(6)上套有第一轴承(9)，所述第一轴承(9)外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴(6)上套有驱动齿轮(2)，所述驱动齿轮(2)与旋转驱动轴(6)之间设有第二套绝缘装置(3)，所述驱动齿轮(2)边缘处啮合有驱动马达(1)，所述旋转驱动轴(6)上套有偏压支架(12)，且位于驱动齿轮(2)的上方，所述偏压支架(12)与驱动齿轮(2)之间设有第三套绝缘装置(11)，所述偏压支架...

【技术特征摘要】
1.一种真空镀膜设备的产品装夹装置，包括旋转驱动轴(6),其特征在于，所述旋转驱动轴(6)上套有镀膜保护挡板(7)，所述镀膜保护挡板(7)上安装有第一套绝缘装置(8)，所述旋转驱动轴(6)上套有第一轴承(9)，所述第一轴承(9)外套有第一碳刷导电机构，所述第一碳刷导电机构内安装有第一密封零件，所述旋转驱动轴(6)上套有驱动齿轮(2)，所述驱动齿轮(2)与旋转驱动轴(6)之间设有第二套绝缘装置(3)，所述驱动齿轮(2)边缘处啮合有驱动马达(1)，所述旋转驱动轴(6)上套有偏压支架(12)，且位于驱动齿轮(2)的上方，所述偏压支架(12)与驱动齿轮(2)之间设有第三套绝缘装置(11)，所述偏压支架(12)上设有第二碳刷导电机构，所述第二碳刷导电机构上设有第二轴承(15)，所述旋转驱动轴(6)下表面安装有旋转板(10)，所述旋转板(10)上表面边缘处设有产品支架(4)，所述旋转板(10)上表面边缘处且靠近产品支架(4)处设有偏压板(5)，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张心凤，尹辉，夏正卫，
申请(专利权)人：安徽纯源镀膜科技有限公司，
类型：新型
国别省市：安徽,34