The invention discloses a laser-induced PVD equipment with circuit protection function, which relates to the technical field of PVD equipment. The laser-induced PVD equipment with circuit protection function includes: fixed chuck head, outer side of top movable connection chuck joint of fixed chuck head, bottom of top fixed connection protective part of fixed chuck head, outer side of bottom movable connection hanger of fixed chuck head, and suspender pole. Grooves are provided at both ends. The laser-induced PVD equipment with circuit protection function ensures the stability of the PVD equipment by fixing the clamp head, facilitates the adjustment of the height of the PVD equipment, facilitates the replacement of the fixed clamp head by connecting the screw board and the screw barrel, and facilitates the lifting of PVD equipment of different specifications. The falling force of the PVD equipment during lifting can be reduced by rubber rod, thus ensuring the safety of the PVD equipment. Limiting rod strengthens the stability of suspender, and under-voltage protection module can effectively protect the circuit safety of PVD equipment.
【技术实现步骤摘要】
一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备
本专利技术涉及PVD设备
，具体为一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备。
技术介绍
物理气相沉积((PVD)是指利用物理过程实现物质转移，将原子或分子由溅射阴极或者蒸镀源转移到基材表面上的过程。当前PVD设备在利用普通吊耳进行吊装时，由于普通吊具的结构设计不合理，在吊装过程中容易损坏PVD设备，且普通吊具受限于厂房高度。在中国专利技术专利申请公开说明书CN206345599U中公开的CVD/PVD设备专用吊具，该CVD/PVD设备专用吊具，解决了当前市场对于CVD及PVD设备的吊装问题，整体结构设计合理，能够在不同的厂房高度环境中使用，解决了因厂房高度不够造成的对设备无法吊装的问题。但是，该CVD/PVD设备专用吊具，在使用时会产生晃动，且牢固性不太理想容易造成设备损坏。
技术实现思路
(一)解决的技术问题针对现有技术的不足，本专利技术提供了一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，解决了现有PVD设备吊具使用时会产生晃动，且牢固性不太理想容易造成设备损坏的问题。(二)技术方案为实现以上目的，本专利技术通过以下技术方...
【技术保护点】
1.一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，其特征在于，包括：固定卡头(1)，所述固定卡头(1)的顶部活动连接卡接头(2)的外侧，所述固定卡头(1)的顶部固定连接保护件(3)的底部，所述固定卡头(1)的底部活动连接吊杆(4)的外侧，所述吊杆(4)的两侧顶部均开设有凹槽(5)；固定架(6)，固定架(6)的两端分别与固定卡头(1)的两侧内壁固定连接，所述固定架(6)的顶部固定连接螺纹筒(7)的底部，螺纹筒(7)的顶部与固定卡头(1)的内顶壁固定连接，所述螺纹筒(7)的内部活动连接有螺纹板(8)；所述固定架(6)的底部两端均通过销轴活动连接连动杆(9)的顶部，所述连动杆(9)的...
【技术特征摘要】
1.一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，其特征在于，包括：固定卡头(1)，所述固定卡头(1)的顶部活动连接卡接头(2)的外侧，所述固定卡头(1)的顶部固定连接保护件(3)的底部，所述固定卡头(1)的底部活动连接吊杆(4)的外侧，所述吊杆(4)的两侧顶部均开设有凹槽(5)；固定架(6)，固定架(6)的两端分别与固定卡头(1)的两侧内壁固定连接，所述固定架(6)的顶部固定连接螺纹筒(7)的底部，螺纹筒(7)的顶部与固定卡头(1)的内顶壁固定连接，所述螺纹筒(7)的内部活动连接有螺纹板(8)；所述固定架(6)的底部两端均通过销轴活动连接连动杆(9)的顶部，所述连动杆(9)的底部一侧固定连接橡胶杆(10)的一端，所述连动杆(9)的底部通过销轴活动连接卡板(11)的顶部，所述卡板(11)的底部两端均固定连接海绵垫(12)的顶部；框架(13)，所述框架(13)的一侧开设有活动槽(14)，所述活动槽(14)的内部固定连接有滑动杆(15)，所述活动槽(14)的内底壁固定连接弹簧(16)的底部，弹簧(16)环绕在滑动杆(15)的外表面，所述滑动杆(15)的外侧活动连接滑动套(17)的内部，所述滑动套(17)的一侧固定连接有限位杆(18)的一端；电源(19)，所述电源(19)的输出端电连接接主控室(20)的输入端，主控室(20)的内部设置有主控CPU(21)和信号收发模块(22)，所述主控室(20)的连接端双向信号连接PVD电路(23)的连接端，PVD电路(23)的内部设置有无线收发模块(24)、电路开关(25)、PVD设备(26)和欠压保护模块(27)。2.根据权利要求1所述的一种具有电路保护功能的激光诱导PVD设备，其特征在于：所述吊杆(4)的顶部位于固定卡头(1)的内部；所述卡接头(2)与保护件(3)活动连接。3.根据权利要求1所述...
【专利技术属性】
技术研发人员：邹朝圣，廖亚琳，林荣川，马肃霜，
申请(专利权)人：厦门市万久物联技术有限公司，
类型：发明
国别省市：福建,35
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