一种磁靴可升降的阴极平台制造技术

本实用新型专利技术公开了一种磁靴可升降的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的阴极体包括由下至上设置的底板、中板、靶材和用于压紧靶材的第一压板；所述的底板通过若干个绝缘支架固定在底座上；所述的中板上设有环形凹槽，环形凹槽内装有磁靴；所述磁靴的下表面通过若干个穿过中板的升降部件与底板相连。该装置中的磁靴可在升降部件的控制下上下移动从而达到改变磁场分布的效果。

A cathode platform with lifting magnetic boots

The utility model discloses a cathode platform which can be lifted and lowered by magnetic boots, comprising a base, a gas supply device fixed on the base and two cathode bodies symmetrically arranged on both sides of the gas supply device; the cathode body comprises a bottom-to-top bottom bottom plate, a middle plate, a target material and a first pressure plate for pressing the target material; the bottom plate is fixed on the base through several insulating supports; An annular groove is arranged on the middle plate, and a magnetic boot is arranged in the annular groove; the lower surface of the magnetic boot is connected with the bottom plate through several lifting parts passing through the middle plate. The magnetic boots in the device can move up and down under the control of lifting parts, thus changing the magnetic field distribution.

【技术实现步骤摘要】
一种磁靴可升降的阴极平台
本技术涉及真空镀膜生产线
，具体来说，是涉及一种真空镀膜生产线用阴极平台。
技术介绍
真空镀膜是一种在真空中制备膜层产生薄膜材料的技术，有三种形式，即蒸发镀膜、溅射镀膜和离子镀。其中溅射镀膜是真空镀膜中最主要的方法，该技术是在真空中利用荷能粒子轰击靶表面，使被轰击出的粒子沉积在基片上。在磁控溅射镀膜工艺中，对磁控溅射镀膜设备的质量要求很高，而在磁控溅射镀膜设备中，磁场的设置尤为重要。目前普遍采用平面磁控溅射阴极(简称“平面阴极”)，平面阴极均是采用在磁靴中安装磁铁的方法来获得加速磁场，但现有的磁靴位置无法调整，不但会造成靶材的浪费且无法获得最优的镀膜效果。
技术实现思路
本技术的目的是为了解决以上现有技术的不足，提供一种磁靴位置可调的阴极平台。一种磁靴可升降的阴极平台，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的阴极体包括由下至上设置的底板、中板、靶材和用于压紧靶材的第一压板；所述的底板通过若干个绝缘支架固定在底座上；所述的中板上设有环形凹槽，环形凹槽内装有磁靴；所述磁靴的下表面通过若干个穿过中板的升降部件与底板相连。优选结构一本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种磁靴可升降的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的阴极体包括由下至上设置的底板、中板、靶材和用于压紧靶材的第一压板；所述的底板通过若干个绝缘支架固定在底座上；所述的中板上设有环形凹槽，环形凹槽内装有磁靴；所述磁靴的下表面通过若干个穿过中板的升降部件与底板相连。

【技术特征摘要】
1.一种磁靴可升降的阴极平台，其特征在于，包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体；所述的阴极体包括由下至上设置的底板、中板、靶材和用于压紧靶材的第一压板；所述的底板通过若干个绝缘支架固定在底座上；所述的中板上设有环形凹槽，环形凹槽内装有磁靴；所述磁靴的下表面通过若干个穿过中板的升降部件与底板相连。2.根据权利要求1所述的一种磁靴可升降的阴极平台，其特征在于，所述的升降部件为伸缩气缸，所述伸缩气缸的主体部分固定在底板上表面，伸缩气缸的推杆穿过中板并与磁靴的下表面相连。3.根据权利要求1所述的一种磁靴可升降的阴极平台，其特征在于，所述的升降部件由导套座和导柱组成，所述的导套座固定在底板上表面，所述的导柱穿过中板并与磁靴的下表面相连。4.根据权利要求3所述的一种磁靴可升降的阴极平台，其特征在于，所述导柱与导套座之间装有若干个垫片。5.根据权利要求1所述的一种磁靴可升降的阴极平台，其特征在于，中板与靶材之间还设有液冷板、铜背板和用于压紧铜背板的第二压板，所述的液冷板上表面与所述的环形凹槽相对应位置处设置有环形凸槽，所述的环形凸槽伸入环形凹槽内，且该环形凸槽的外形与环形凹槽内部的形状相匹配，所述的环形凸槽背面经铜背板封闭形成冷却腔体；所述冷却腔体的底部设有冷却液的出、入口。6.根据权利要求1-5任一权利要求所述的一种磁靴可升降的阴极平台，其...

【专利技术属性】
技术研发人员：匡国庆，
申请(专利权)人：镇江市德利克真空设备科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32