下载一种磁靴可升降的阴极平台的技术资料

文档序号:21085168

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本实用新型公开了一种磁靴可升降的阴极平台,包括底座、固定在底座上的供气装置和对称设置在供气装置两侧的两个阴极体;所述的阴极体包括由下至上设置的底板、中板、靶材和用于压紧靶材的第一压板;所述的底板通过若干个绝缘支架固定在底座上;所述的中板上设...
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