一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，所述监控系统包括用于检测压缩机吸气口温度的吸气温度探头，用于检测压缩机排气口温度的排气温度探头，分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块以及与温度采集模块连接的控制器。通过本实用新型专利技术，可以很方便地自动采集超低温水汽捕集泵的关键工作参数，可以避免肉眼读数和人工记录时发生的错误，同时PLC的扫描速度非常快，处理能力也非常强，可以同时捕捉到某个时刻的所有工作参数，从而实现对超低温水汽捕集泵的监控。本实用新型专利技术广泛应用于电子监控技术领域。

A Monitoring System for Ultra-low Temperature Water Vapor Trapping Pump

【技术实现步骤摘要】
一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统
本技术涉及电子监控
，尤其是一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统。
技术介绍
在真空系统中，通常会存在着一定的残余气体，其中80％以上是水蒸气、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽。这些残余气体是影响抽真空装置抽气速度的主要因素，使得真空系统的真空度难以达到要求。使用机械泵来抽除残余气体的速度慢、时间长，残余气体还会污染工件和设备，使产品的产量和质量受到影响。因此，在真空系统中通常使用超低温水汽捕集泵来吸附残余气体。超低温水汽捕集泵又叫深冷捕集泵，其原理是将一个温度极低的深冷盘管放置在真空腔室内或者油扩散泵口，根据气体的低温冷凝效应，可以迅速使真空系统中的水蒸气及其它气体凝结在深冷盘管上，由此可以快速达到降低真空腔室内气压的效果，大幅度减少抽真空的时间，同时可使真空度提高半个到一个数量级，因而大大提高生产效率，节约生产成本。在真空系统中使用超低温水汽捕集泵，还必须对其工作参数进行监测，以实现对其整个真空系统的控制。目前常用的超低温水汽捕集泵在运行过程中，需要采集的工作参数包括吸气温度、排气温度、深冷温度、冷凝温度、吸气压力和排气压力等。现有技术中，对上述工本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，其特征在于，所述监控系统包括：安装在压缩机吸气口上的吸气温度探头，用于检测压缩机吸气口的温度；安装在压缩机排气口上的排气温度探头，用于检测压缩机排气口的温度；分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块；与温度采集模块连接的控制器。

【技术特征摘要】
1.一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，其特征在于，所述监控系统包括：安装在压缩机吸气口上的吸气温度探头，用于检测压缩机吸气口的温度；安装在压缩机排气口上的排气温度探头，用于检测压缩机排气口的温度；分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块；与温度采集模块连接的控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，其特征在于，所述监控系统还包括：安装在压缩机吸气口上的吸气压力传感器，用于检测压缩机吸气口的压力；安装在压缩机排气口上的排气压力传感器，用于检测压缩机排气口的压力；分别与吸气压力传感器、排气压力传感器和控制器连接的压力采集模块。3.根据权利要求1或2所述的一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵还包括冷凝器，所述冷凝器设有回流口，其特征在于，所述监控系统还包括安装在冷凝器回流口上的冷凝温度探头，所述冷凝温度探头与温度采集模块连接并用于检测冷凝器回流口的冷凝温度。4.根据权利要求1或2所述的一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵还包括冷阱，所述冷阱设有入口和出口，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张锦铭，
申请(专利权)人：广州协义自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44