一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统技术方案

本实用新型专利技术公开了一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，所述监控系统包括用于检测压缩机吸气口温度的吸气温度探头，用于检测压缩机排气口温度的排气温度探头，分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块以及与温度采集模块连接的控制器。通过本实用新型专利技术，可以很方便地自动采集超低温水汽捕集泵的关键工作参数，可以避免肉眼读数和人工记录时发生的错误，同时PLC的扫描速度非常快，处理能力也非常强，可以同时捕捉到某个时刻的所有工作参数，从而实现对超低温水汽捕集泵的监控。本实用新型专利技术广泛应用于电子监控技术领域。

A Monitoring System for Ultra-low Temperature Water Vapor Trapping Pump

【技术实现步骤摘要】
一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统
本技术涉及电子监控
，尤其是一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统。
技术介绍
在真空系统中，通常会存在着一定的残余气体，其中80％以上是水蒸气、油蒸汽及其它高沸点的蒸汽。这些残余气体是影响抽真空装置抽气速度的主要因素，使得真空系统的真空度难以达到要求。使用机械泵来抽除残余气体的速度慢、时间长，残余气体还会污染工件和设备，使产品的产量和质量受到影响。因此，在真空系统中通常使用超低温水汽捕集泵来吸附残余气体。超低温水汽捕集泵又叫深冷捕集泵，其原理是将一个温度极低的深冷盘管放置在真空腔室内或者油扩散泵口，根据气体的低温冷凝效应，可以迅速使真空系统中的水蒸气及其它气体凝结在深冷盘管上，由此可以快速达到降低真空腔室内气压的效果，大幅度减少抽真空的时间，同时可使真空度提高半个到一个数量级，因而大大提高生产效率，节约生产成本。在真空系统中使用超低温水汽捕集泵，还必须对其工作参数进行监测，以实现对其整个真空系统的控制。目前常用的超低温水汽捕集泵在运行过程中，需要采集的工作参数包括吸气温度、排气温度、深冷温度、冷凝温度、吸气压力和排气压力等。现有技术中，对上述工作参数的监测是通过在超低温水汽捕集泵的相应部件上安装表式或者数显式探测器，然后通过人眼识别的方式从这些探测器读取各工作参数，自动化程度低，因此效率低且容易出错。而且超低温水汽捕集泵工作过程中工作参数的变化会非常频繁，靠人工记录很难同时捕捉某个时刻所有的工作参数，对设备运行的监控不利。
技术实现思路
为了解决上述技术问题，本技术的目的在于提供一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统。本技术所采取的技术方案是：一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，所述监控系统包括：安装在压缩机吸气口上的吸气温度探头，用于检测压缩机吸气口的温度；安装在压缩机排气口上的排气温度探头，用于检测压缩机排气口的温度；分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块；与温度采集模块连接的控制器。进一步地，所述监控系统还包括：安装在压缩机吸气口上的吸气压力传感器，用于检测压缩机吸气口的压力；安装在压缩机排气口上的排气压力传感器，用于检测压缩机排气口的压力；分别与吸气压力传感器、排气压力传感器和控制器连接的压力采集模块。进一步地，所述超低温水汽捕集泵还包括冷凝器，所述冷凝器设有回流口，所述监控系统还包括安装在冷凝器回流口上的冷凝温度探头，所述冷凝温度探头与温度采集模块连接并用于检测冷凝器回流口的冷凝温度。进一步地，所述超低温水汽捕集泵还包括冷阱，所述冷阱设有入口和出口，所述监控系统还包括：安装在冷阱入口上的回流温度探头，用于检测冷阱入口的回流温度；安装在冷阱出口上的输出温度探头，用于检测冷阱出口的输出温度；所述回流温度探头和输出温度探头均与温度采集模块连接。进一步地，所述超低温水汽捕集泵的与冷阱入口连接的管道上安装有手动隔离阀，所述手动隔离阀设有入口管道，所述监控系统还包括安装在手动隔离阀的入口管道上的深冷温度探头，所述深冷温度探头与温度采集模块连接并用于检测深冷温度。进一步地，所述超低温水汽捕集泵还包括由换热器、平衡阀和节流元件构成的平衡压力恢复系统，所述平衡阀设有入口管道，所述监控系统还包括安装在平衡阀的入口管道上的平衡温度探头，所述平衡温度探头与温度采集模块连接并用于检测平衡阀的温度。进一步地，所述监控系统还包括与控制器连接的触摸显示屏。进一步地，所述监控系统还包括网络模块，所述控制器通过网络模块连接到互联网。本技术的有益效果是：通过本技术，可以很方便地自动采集超低温水汽捕集泵的关键工作参数，这个过程无需人工参与，因此可以避免肉眼读数和人工记录时发生的错误，同时PLC的扫描速度非常快，处理能力也非常强，因此可以同时捕捉到某个时刻的所有工作参数。PLC可以将采集到的工作参数存储起来，或者发送给其他终端来进行进一步处理，从而实现对超低温水汽捕集泵的监控。附图说明图1为实施例1中一种超低温水汽捕集泵的结构图以及监控系统各部分的安装位置示意图；图2为实施例2中一种超低温水汽捕集泵的结构图以及监控系统各部分的安装位置示意图。具体实施方式实施例1本技术是对监控系统的改进，而对本技术的应用对象——超低温水汽捕集泵本身没有进行改进，因此本实施例所述的超低温水汽捕集泵及其部件和结构可以按公知的概念去理解。图1示意了一种可以应用本技术技术的超低温水汽捕集泵。下面结合具体实施例和图1来对本技术进行说明。附图中的箭头表示水汽捕集泵工作时液体或气体的流向。图1附图标记：1为压缩机，2为油分离器，3为冷凝器，4为干燥过滤器，5为回热器，6和10为气液分离器，7、11、14和16为换热器，8为平衡阀，9、12、15、17、20和27为节流元件，13为气液分离器，18和21为手动隔离阀，19和26为电磁阀，22为冷阱，23为除霜手动隔离阀，24为除霜电磁阀，25为贮气罐，A为吸气压力传感器，B为排气压力传感器，C为输出温度探头，D为回流温度探头，E为冷凝温度探头，F为排气温度探头，G为吸气温度探头，H为平衡温度探头，I为深冷温度探头。本技术一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机1，所述压缩机1设有吸气口和排气口，所述监控系统包括：安装在压缩机吸气口上的吸气温度探头G，用于检测压缩机吸气口的温度；安装在压缩机排气口上的排气温度探头F，用于检测压缩机排气口的温度；分别与吸气温度探头G、排气温度探头F连接的温度采集模块；与温度采集模块连接的控制器。其中，控制器可以使用适合工业控制的PLC，如西门子公司的S7-200PLC。温度采集模块可以使用跟西门子PLC配套的温度采集模块，如EM2FCNAI4*TC等现有产品，其具有多路输入接口，可以与多个温度探头连接，同时接收多个温度探头采集到的温度信息并将其传输给PLC。本实施例中的各温度探头，可以根据所安装位置的温度范围以及安装条件来选择市面上现有的产品。通过本技术，可以很方便地自动采集压缩机1的吸气温度和排气温度这两个关键数据，这个过程无需人工参与，因此可以避免肉眼读数和人工记录时发生的错误，同时温度采集模块的扫描速度非常快，PLC的处理能力也非常强，因此可以同时捕捉到某个时刻的所有工作参数。PLC一般内置有很大的存储空间，可以将采集到的工作参数存储起来，或者发送给其他终端来进行进一步处理。本技术可以实现对超低温水汽捕集泵的无间断实时监控。通过对本技术采集到的数据的分析，第一，可以及时发现水汽捕集泵以及应用水汽捕集泵的真空镀膜机的运行异常情况，提前安排预防性维修计划避免突发故障，第二、采集的数据忠实反应了镀膜工艺的节拍，可以掌握设备的时间和性能利用率，通过数据的波动反映出操作人员的效率异常和设备性能的下滑，及时提醒生产管理人员分析原因采取相应措施。进一步作为优选的实施方式，所述监控系统还包括：安装在压缩机吸气口上的吸气压力传感器A，用于检测压缩机吸气口的压力；安装在压缩机排气口上的排气压力传感器B，用于检测压缩机排气口的压力；分别与吸气压力传感器A、排气压力传感器B和控制器连接的压力采集模块。压力采本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，其特征在于，所述监控系统包括：安装在压缩机吸气口上的吸气温度探头，用于检测压缩机吸气口的温度；安装在压缩机排气口上的排气温度探头，用于检测压缩机排气口的温度；分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块；与温度采集模块连接的控制器。

【技术特征摘要】
1.一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵包括压缩机，所述压缩机设有吸气口和排气口，其特征在于，所述监控系统包括：安装在压缩机吸气口上的吸气温度探头，用于检测压缩机吸气口的温度；安装在压缩机排气口上的排气温度探头，用于检测压缩机排气口的温度；分别与吸气温度探头、排气温度探头连接的温度采集模块；与温度采集模块连接的控制器。2.根据权利要求1所述的一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，其特征在于，所述监控系统还包括：安装在压缩机吸气口上的吸气压力传感器，用于检测压缩机吸气口的压力；安装在压缩机排气口上的排气压力传感器，用于检测压缩机排气口的压力；分别与吸气压力传感器、排气压力传感器和控制器连接的压力采集模块。3.根据权利要求1或2所述的一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵还包括冷凝器，所述冷凝器设有回流口，其特征在于，所述监控系统还包括安装在冷凝器回流口上的冷凝温度探头，所述冷凝温度探头与温度采集模块连接并用于检测冷凝器回流口的冷凝温度。4.根据权利要求1或2所述的一种用于超低温水汽捕集泵的监控系统，所述超低温水汽捕集泵还包括冷阱，所述冷阱设有入口和出口，其特征在于，...

【专利技术属性】
技术研发人员：张锦铭，
申请(专利权)人：广州协义自动化科技有限公司，
类型：新型
国别省市：广东,44