用于MBE设备的载片夹具制造技术

本实用新型专利技术属于电子元器件技术领域，涉及一种用于MBE设备的载片夹具，包括基板、在基板上围绕一个中心设置的若干夹持装置以及被夹持装置夹住的载片，所述载片上设有多个收容槽。这种载片夹具结构简单，占用空间小，不光可以夹持圆形的MBE产品，还可以承载不规则的MBE产品，使用方便灵活。

Slice clamp for MBE equipment

The utility model belongs to the technical field of electronic components, and relates to a chip clamp used for MBE equipment, including a substrate, several clamping devices arranged around a center on the substrate, and a chip clamped by the clamping device, on which a plurality of receptacles are arranged. The clamp has the advantages of simple structure and small space occupation. It can not only clamp round MBE products, but also carry irregular MBE products. It is convenient and flexible to use.

【技术实现步骤摘要】
用于MBE设备的载片夹具
本技术涉及电子元器件
，特别涉及一种用于MBE设备的载片夹具。
技术介绍
载片夹具已经被广泛的应用于工业制造的各个环节中，类型和功能也多种多样，应用环境和场所也纷繁复杂，在航空航天，电子工业，军工，光学等行业都有十分广泛的应用。现有的载片夹具和设计大多为固定式的单一尺寸固定方式，使用中存在以下问题：1、因为夹具样式固定，所以只能适用于某一种固定产品生产工艺需求，对不同形状规格，大小及厚度的产品适用性较差，尤其是针对不规则形貌的产品加工时，无法有效的夹持住产品，使用局限性高；2、每次加工正产时只能状态一个产品，无法实现对多个产品的加载能力，生产的效率低；3、采用单载片的设计方案，在产品实际工艺调试过程中需要对产品进行抽样检测时，就需要提取出完整的产品对其进行工艺参数的检测对比和分析，而单个样本的成本高昂，单次量产的量又少，如此，没批产品都需要检测的话，那将会造成巨大的浪费，成产成本高昂。
技术实现思路
本技术的主要目的在于提供一种用于MBE设备的载片夹具，能方便灵活地托载不同形状的MEE产品。本技术通过如下技术方案实现上述目的：一种用于MBE设备的载片夹具，包括基板、在基板上围绕一个中心设置的若干夹持装置以及被夹持装置夹住的载片，所述载片上设有多个收容槽。具体的，所述载片上还设有样品收容槽。具体的，所述夹持装置围绕所述中心均布，所述夹持装置至少有3个。进一步的，所述夹持装置包括主体、水平穿设于主体内的活动杆和位于活动杆的外端的夹持块，所述夹持块面向所述中心，所述主体包括一个收容腔，所述收容腔内设有能够抵住活动杆的内端的弹簧。进一步的，所述本体上还穿设有固定螺丝，所述固定螺丝的内端能够抵住活动杆并使其无法轴向窜动。进一步的，所述夹持块具有U形槽结构，所述U形槽沿水平方向延伸。采用上述技术方案，本技术技术方案的有益效果是：这种载片夹具结构简单，占用空间小，不光可以夹持圆形的MBE产品，还可以承载不规则的MBE产品，使用方便灵活。附图说明图1为实施例载片夹具的俯视图；图2为夹持装置的剖视图。图中标记为：1-夹持装置，11-主体，111-收容腔，12-活动杆、121-夹持块、13-弹簧，14-固定螺丝；2-载片，21-收容槽，22-样品收容槽；3-基板。具体实施方式下面结合具体实施例对本技术作进一步详细说明。实施例：如图1和图2所示，一种用于MBE设备的载片夹具，包括基板3、在基板3上围绕一个中心设置的若干夹持装置1以及被夹持装置1夹住的载片2，载片2上设有多个收容槽21。产品置于载片2的收容槽21内，然后将载片2夹在支持装置1中间，这样就能开始作业。载片2的收容槽21可以是圆形也可以不是圆形，适合多种形状的产品。这种载片夹具结构简单，占用空间小，不光可以夹持圆形的MBE产品产品，还可以承载不规则的MBE产品，使用方便灵活。如图1所示，载片2上还设有样品收容槽22。生产时，MBE样品放在样品收容槽22，MBE产品放在收容槽21内，样品和产品在相同的条件下处理。完成作业之后，只要对样品进行实验就能表征产品状况，不需要再对产品进行破坏性实验而带来损失。如图1所示，夹持装置1围绕中心均布，夹持装置1至少有3个。三个夹持装置1提供了三个夹持点，这样夹持装置1可以从载片2的四周提供夹持力，夹持比较平稳，使载片2不会翻落。按照实际需要也可以设置4个、5个、6个夹持装置1。如图2所示，夹持装置1包括主体11、水平穿设于主体11内的活动杆12和位于活动杆12的外端的夹持块121，夹持块121面向中心，主体11包括一个收容腔111，收容腔111内设有能够抵住活动杆12的内端的弹簧13。每个夹持装置1都有一个可伸缩的夹持块121，弹簧13提供夹持载片2的弹性力。使用中让其一夹持装置1的夹持块121缩进，将载片2置于其余夹持块121当中，载片2放平后让夹持块121抵住载片2，稳定后即可开始进行工作。如图2所示，本体1上还穿设有固定螺丝14，固定螺丝14的内端能够抵住活动杆12并使其无法轴向窜动。载片2在放入夹持装置1之间时，所有弹簧13会自动到达各自的平衡位置，此时用固定螺丝14将活动杆12位置固定，这样在受到震动的时候载片2就不会因为夹持块121松动而掉落。如图2所示，夹持块121具有U形槽结构，U形槽沿水平方向延伸。U形槽结构的夹持块121能够挡住载片2边缘的上下位置，避免载片2翻落。以上所述的仅是本技术的一些实施方式。对于本领域的普通技术人员来说，在不脱离本技术创造构思的前提下，还可以做出若干变形和改进，这些都属于本技术的保护范围。本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于MBE设备的载片夹具，其特征在于：包括基板、在基板上围绕一个中心设置的若干夹持装置以及被夹持装置夹住的载片，所述载片上设有多个收容槽，所述夹持装置围绕所述中心均布，所述夹持装置至少有3个。

【技术特征摘要】
1.一种用于MBE设备的载片夹具，其特征在于：包括基板、在基板上围绕一个中心设置的若干夹持装置以及被夹持装置夹住的载片，所述载片上设有多个收容槽，所述夹持装置围绕所述中心均布，所述夹持装置至少有3个。2.根据权利要求1所述的载片夹具，其特征在于：所述载片上还设有样品收容槽。3.根据权利要求1所述的载片夹具，其特征在于：所述夹持装置包括主体、水平穿设于主...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈意桥，马栋梁，
申请(专利权)人：苏州焜原光电有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32