双甩蜡贴片机制造技术

本实用新型专利技术公开了一种双甩蜡贴片机，包括：机架，包括防护罩和设在所述防护罩内的工作台；上料装置，安装在所述工作台一侧；出料装置，安装在所述工作台的另一侧；双甩蜡组件，在工作台上依次设置的料仓、滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构，设置在所述料仓与所述滴蜡甩蜡机构之间的晶片搬运机械手，以及在滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构之间移动送料的取片移位装置；在工作台上沿上料装置所在侧向出料装置所在侧方向呈直线依次设置的预加热台、加热台和冷却工作台，所述加热台的位置与所述翻转机构对应；双冷压机构，设置在所述加热台上方；以及冷却装置，设置在所述冷却工作台上方。本实用新型专利技术可以提高生产效率，增加产能。

Double wax-flipping patching machine

The utility model discloses a double wax throwing patch machine, which comprises a rack, including a protective cover and a worktable in the protective cover; a feeding device, which is installed on one side of the worktable; a discharging device, which is installed on the other side of the worktable; a double wax throwing component, which is sequentially arranged on the worktable, is provided with a bin, a wax dropping mechanism, a baking heating device and a turning mechanism. The wafer handling manipulator between the silo and the wax dropping and throwing mechanism, and the stripping and shifting device for moving the feeding material between the wax dropping and throwing mechanism, the baking heating device and the turning mechanism; the preheating table, the heating table and the cooling table are arranged in a straight line on the worktable along the side direction of the side discharging device where the feeding device is located, and the position and the position of the heating table are in line with each other. The reverse mechanism corresponds to the double cold pressing mechanism, which is arranged above the heating table, and the cooling device which is arranged above the cooling table. The utility model can improve production efficiency and increase production capacity.

【技术实现步骤摘要】
双甩蜡贴片机
本技术涉及衬底加工领域，特别涉及一种双甩蜡贴片机。
技术介绍
晶片的抛光过程中，需要将晶片固定在保持件(磁盘)上，通常采用的是有蜡抛光工艺，即将待抛光的晶片通过蜡的粘结而固定于磁盘上。现有的贴蜡设备采用流水线生产工艺，即在一整体设备中逐步进行滴蜡、甩蜡、加热、粘结和冷却工艺，由于一些工艺步骤例如滴蜡、甩蜡工艺所消耗的时间较多，导致整个生产制程较慢，造成生产成本过高。
技术实现思路
本技术提供一种双甩蜡贴片机，以解决现有技术中存在的上述技术问题。为解决上述技术问题，本技术提供一种双甩蜡贴片机，包括：机架，包括防护罩和设在所述防护罩内的工作台；上料装置，安装在所述工作台一侧；出料装置，安装在所述工作台的另一侧；双甩蜡组件，在工作台上依次设置的料仓、滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构，设置在所述料仓与所述滴蜡甩蜡机构之间的晶片搬运机械手，以及在滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构之间移动送料的取片移位装置；在工作台上沿上料装置所在侧向出料装置所在侧方向呈直线依次设置的预加热台、加热台和冷却工作台，所述加热台的位置与所述翻转机构对应；双冷压机构，设置在所述加热台上方；以及冷却装置，设本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种双甩蜡贴片机，其特征在于，包括：机架，包括防护罩和设置在所述防护罩内的工作台；上料装置，安装在所述工作台一侧；出料装置，安装在所述工作台的另一侧；双甩蜡组件，包括料仓、翻转机构、设置在所述料仓和翻转机构之间且相互对称的两组滴蜡甩蜡机构和两组烘烤加热装置，设置在所述料仓与所述滴蜡甩蜡机构之间的晶片搬运机械手，以及在滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构之间移动送料的取片移位装置；在工作台上沿上料装置所在侧向出料装置所在侧方向呈直线依次设置的预加热台、加热台和冷却工作台，所述加热台的位置与所述翻转机构对应；双冷压机构，设置在所述加热台上方；以及冷却装置，设置在所述冷却工作台上方。

【技术特征摘要】
1.一种双甩蜡贴片机，其特征在于，包括：机架，包括防护罩和设置在所述防护罩内的工作台；上料装置，安装在所述工作台一侧；出料装置，安装在所述工作台的另一侧；双甩蜡组件，包括料仓、翻转机构、设置在所述料仓和翻转机构之间且相互对称的两组滴蜡甩蜡机构和两组烘烤加热装置，设置在所述料仓与所述滴蜡甩蜡机构之间的晶片搬运机械手，以及在滴蜡甩蜡机构、烘烤加热装置和翻转机构之间移动送料的取片移位装置；在工作台上沿上料装置所在侧向出料装置所在侧方向呈直线依次设置的预加热台、加热台和冷却工作台，所述加热台的位置与所述翻转机构对应；双冷压机构，设置在所述加热台上方；以及冷却装置，设置在所述冷却工作台上方。2.如权利要求1所述的双甩蜡贴片机，其特征在于，所述机架顶部设置有净化装置，所述工作台上设置有吸尘装置。3.如权利要求1所述的双甩蜡贴片机，其特征在于，还包括分别设置在所述上料装置和出料装置端部的料仓移动车。4.如权利要求1所述的双甩蜡贴片机，其特征在于，还包括水平搬运装置，所述水平搬运装置设置在所述工作台的边缘，并在所述预加热台、加热台和冷却工作台之间移动送料。5.如权利要求1所述的双甩蜡贴片机，其特征在于，所述取片移位装置包括位于滴蜡甩蜡机构、烘烤加热...

【专利技术属性】
技术研发人员：胡小辉，
申请(专利权)人：苏州辰轩光电科技有限公司，
类型：新型
国别省市：江苏,32