一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置制造方法及图纸

本实用新型专利技术一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板、软胶套管、吸盘和内筒，所述底板的底端均匀安装有移动轮，所述底板顶端的左侧固定安装有负压箱，所述负压箱的顶端固定安装有连接管道，所述连接管道的顶端设置有连接头，所述负压箱顶端的右侧固定安装有放置架，且放置架的顶端设置有手握管，所述吸盘的内部设置有棉絮包，所述外套筒的顶端设置有环形槽，所述环形槽与环形块连接。本实用新型专利技术通过调节吸盘的角度，避免吸盘将半导体晶粒压坏，在底板顶端增加结构稳定合理的存储结构，提升实用性，加强连接头与连接管道之间的连接，保障装置的稳定性。

【技术实现步骤摘要】
一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置
本技术涉及半导体晶粒移动设备领域，具体为一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置。
技术介绍
现有的半导体晶粒生产加工工艺过程中经常需要将半导体晶粒从石墨舟搬移到其他物体上，在搬移过程中，吸盘座常会与石墨舟发生磕碰，容易造成晶粒被压坏，移动过程中没有设置暂时存放的结构，容易造成晶粒的脱落，吸气软管与负压箱之间的连接处容易出现松动，导致负压吸引失败，导致无法移动半导体晶粒。
技术实现思路
本技术的目的在于提供一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，以解决上述
技术介绍
中提出的容易造成晶粒被压坏，移动过程中没有设置暂时存放的结构以及吸气软管与负压箱之间的连接处容易出现松动的问题。为实现上述目的，本技术提供如下技术方案：一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板、软胶套管、吸盘和内筒，所述底板的底端均匀安装有移动轮，所述底板顶端的左侧固定安装有负压箱，且负压箱的左侧设置有漏气管，所述漏气管的内部安装有漏气塞，所述负压箱的正面设置有抽气管，所述负压箱的顶端固定安装有连接管道，所述连接管道的顶端设置有连接头，且连接头的外壁包裹有箍环，所述连接头的顶端设置有气管软管，所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板(1)、软胶套管(9)、吸盘(16)和内筒(23)，其特征在于：所述底板(1)的底端均匀安装有移动轮(2)，所述底板(1)顶端的左侧固定安装有负压箱(3)，且负压箱(3)的左侧设置有漏气管(4)，所述漏气管(4)的内部安装有漏气塞(5)，所述负压箱(3)的正面设置有抽气管(28)，所述负压箱(3)的顶端固定安装有连接管道(6)，所述连接管道(6)的顶端设置有连接头(7)，且连接头(7)的外壁包裹有箍环(8)，所述连接头(7)的顶端设置有气管软管(12)，所述负压箱(3)顶端的右侧固定安装有放置架(18)，且放置架(18)的顶端设置有手握管(13...

【技术特征摘要】
1.一种用于移动石墨舟上半导体晶粒的装置，包括底板(1)、软胶套管(9)、吸盘(16)和内筒(23)，其特征在于：所述底板(1)的底端均匀安装有移动轮(2)，所述底板(1)顶端的左侧固定安装有负压箱(3)，且负压箱(3)的左侧设置有漏气管(4)，所述漏气管(4)的内部安装有漏气塞(5)，所述负压箱(3)的正面设置有抽气管(28)，所述负压箱(3)的顶端固定安装有连接管道(6)，所述连接管道(6)的顶端设置有连接头(7)，且连接头(7)的外壁包裹有箍环(8)，所述连接头(7)的顶端设置有气管软管(12)，所述负压箱(3)顶端的右侧固定安装有放置架(18)，且放置架(18)的顶端设置有手握管(13)，所述气管软管(12)贯穿手握管(13)，所述手握管(13)的外壁包裹有防滑套(14)，所述手握管(13)顶端的左侧固定安装有滑动套(15)，所述气管软管(12)远离连接头(7)的一端安装有吸盘(16)，所述滑动套(15)的内部设置有滑动杆(17)，所述吸盘(16)的开口端固定安装有硅胶圈(19)，所述吸盘(16)的内部设置有棉絮包(20)，所述底板(1)顶端的左侧固定安装有外套筒(21)，且外套筒(21)的顶端设置有放置片(22)，所述放置片(22)的底端固定安装有内筒(23)...

【专利技术属性】
技术研发人员：陈国华，陈贇，王广稀，
申请(专利权)人：杭州澳凌制冷设备有限公司，
类型：新型
国别省市：浙江,33