转印装置及转印方法制造方法及图纸

一种转印装置及转印方法，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，该转印装置具备用于将未固化的树脂喷涂在基板上的喷涂部；定位并一体地设置基板的基板设置部；设置片状的模具的模具设置部；转印辊；和用于在将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上后，向从基板的树脂剥开的模具照射等离子体来清洁模具的等离子体单元，从基板的树脂剥开的模具，在由等离子体单元照射等离子体进行了清洁后，再次在转印图案的转印中使用。

Transfer device and transfer method

A transfer device and a transfer method are used for transferring fine transfer patterns formed on the die to resin sprayed on the substrate. The transfer device has a spraying part for spraying uncured resin on the substrate; a base plate setting part for positioning and integrating the substrate; a die setting part for setting sheet-shaped dies; a transfer roller; and a shape for spraying. After the fine transfer pattern on the die is transferred to the resin sprayed on the substrate, the plasma is irradiated to the mould stripped from the substrate to clean the plasma unit of the die. The mould stripped from the substrate is cleaned by the plasma unit after the plasma is irradiated by the plasma unit, and then used in the transfer of the transfer pattern.

【技术实现步骤摘要】
转印装置及转印方法
本专利技术涉及转印装置及转印方法，特别是涉及用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上的转印装置及转印方法。
技术介绍
已知用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上(参照US9,604,402B2)的以往例的转印装置。在以往例的转印装置中，在转印中使用的模具在模具卷材和卷取辊之间延伸。在以往例的转印装置中，为了减少模具的使用量，存在通过将在转印中使用的模具(在模具卷材和卷取辊之间延伸的模具)多次反复使用，向多张基板进行转印的情况。
技术实现思路
在以往的转印装置中，由于多次反复使用模具，所以有可能产生模具的开模性的恶化(将转印图案压靠在基板的树脂上，在树脂固化后模具从树脂剥开的难度增大)、因微细的垃圾等向模具的转印图案的附着物的增加等导致的转印到基板上的图案的形状的恶化。本申请是鉴于上述问题点而做出的，其目的在于提供一种转印装置，该转印装置将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，即使在反复多次使用模具的情况下，也能防止模具的开模性的恶化、转印到基板上的图案的形状的恶化。本申请的第一方式涉及一种转印装置，该转印装置本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种转印装置，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，该转印装置具备用于将未固化的所述树脂喷涂在所述基板上的喷涂部；定位并一体地设置所述基板的基板设置部；设置片状的所述模具的模具设置部；用于将形成在所述模具上的所述微细的转印图案转印到喷涂在所述基板上的所述树脂上的转印辊；和用于在将形成在所述模具上的所述转印图案转印到喷涂在所述基板上的所述树脂上后，向从所述基板的所述树脂剥开的所述模具照射等离子体来清洁所述模具的等离子体单元，从所述基板的所述树脂剥开的所述模具，在由所述等离子体单元照射等离子体进行了清洁后，再次在所述转印图案的转印中使用。

【技术特征摘要】
2017.10.25 JP 2017-205735;2017.10.25 JP 2017-205731.一种转印装置，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，该转印装置具备用于将未固化的所述树脂喷涂在所述基板上的喷涂部；定位并一体地设置所述基板的基板设置部；设置片状的所述模具的模具设置部；用于将形成在所述模具上的所述微细的转印图案转印到喷涂在所述基板上的所述树脂上的转印辊；和用于在将形成在所述模具上的所述转印图案转印到喷涂在所述基板上的所述树脂上后，向从所述基板的所述树脂剥开的所述模具照射等离子体来清洁所述模具的等离子体单元，从所述基板的所述树脂剥开的所述模具，在由所述等离子体单元照射等离子体进行了清洁后，再次在所述转印图案的转印中使用。2.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，所述等离子体单元构成为与所述模具进行了所述转印的次数相应地改变等离子体的向所述模具的照射量。3.如权利要求1所述的转印装置，其特征在于，还具备卷绕所述模具的卷材模具和卷取从所述卷材模具抽出的所述模具的卷取辊，在所述转印辊上卷挂了在所述卷材模具和所述卷取辊之间延伸的所述模具，通过在用所述转印辊将所述模具压靠在所述树脂上的状态下移动所述转印辊的辊转印，来执行所述模具向所述树脂的压靠和所述模具从所述树脂的剥开，在所述模具从所述树脂的剥开结束后，所述等离子体单元向被剥离的所述模具照射等离子体。4.如权利要求3所述的转印装置，其特征在于，在通过所述等离子体单元进行的所述模具的清洁不充分的情况下，所述卷取辊卷取从所述树脂剥开了的所述模具的部位，并将所述模具的新的部位从所述卷材模具抽出。5.如权利要求4所述的转印装置，其特征在于，还具备用于检测进行了从所述树脂的剥开的所述模具的污染的模具检测部，与由所述模具检测部的检测结果相应地判断通过所述等离子体单元进行的所述模具的清洁是否不充分。6.一种转印装置，该转印装置用于将形成在模具上的微细的转印图案转印到喷涂在基板上的树脂上，该转印装置具备用于将未固化的所述树脂喷涂在所述基板上的喷涂部；定位并一体地设置所述基板的基板设置部；设置片状的所述模具的模具设置部；用于将形成在所述模具上的所述微细的转印图案转印到喷涂在所述基板上的所述树脂上的转印辊；和用于向所述基板照射等离子体的等离子体单元，所述等离子体单元具备头和驱动部，所述喷涂部和所述等离子体单元相对于所述基板同时移动，一边由所述等离子体单元向所述基板照射等离子体，一边由所述喷涂部向所述基板喷涂未固化的所述树脂。7.如权利要求6所述的转印装置，其特征在于，所述等离子体单元构成为向在所述转印后从所述基板的所述树脂剥开的所述模具也照射等离子体，所述等离子体单元的所述驱动部被支承在所述喷涂部，从由所述等离子体单元的所述驱动部驱动的...

【专利技术属性】
技术研发人员：小久保光典，马场丘人，后藤利章，
申请(专利权)人：东芝机械株式会社，
类型：发明
国别省市：日本,JP