The utility model discloses a point needle detection device with environmental simulation, which comprises a controller, a shielding box, a microscope head, an array of point needles, a working table and a sample table. The controller is arranged outside the shielding box, a working table is arranged inside the shielding box, a microscope head and a point needle are respectively arranged on the working table through a bracket, and a microscope head and a point needle are arranged on the working table through a signal. The converter is connected with the controller, in which the sample table includes a first sample table with a heating plate and a second sample table with a refrigerating plate, and the first sample table and the second sample table can be movably switched to the working position on the working table. The first sample table with heating plate and the second sample table with refrigerating plate can be switched to the working position on the working table movably and singly, so that the chip can be tested in a variety of testing environments, so that the chip can be tested in a realistic working environment, which can ensure the authenticity of the test results and improve the accuracy of the test results.
【技术实现步骤摘要】
一种具有环境模拟的点针检测装置
本技术涉及芯片检测设备
,尤其涉及一种具有环境模拟的点针检测装置。
技术介绍
点针检测装置主要用于半导体集成电路的芯片检测和故障分析。现有技术的点针检测装置在对芯片功能检测或者失效分析检测时,其提供的是常温环境的检测环境。通常,芯片的工作环境并非一直保持在常温下,针对一些例如高温环境或低温环境等特定环境下工作的设备,芯片的性能参数难以通过常温环境检测得出精度要求高的检测结果,导致检测结果真实性比较差。
技术实现思路
本技术的目的是提供一种具有环境模拟的点针检测装置,以解决现有技术中点针检测装置测试环境单一,导致检测结果真实性比较差的技术问题。为实现上述目的,本技术的技术方案是:本技术的一种具有环境模拟的点针检测装置,包括控制器、屏蔽箱体、显微镜头、数组点针头、工作台面、样品台,所述控制器设置于所述屏蔽箱体外,所述工作台面设置于所述屏蔽箱体内,所述显微镜头、点针头分别通过支架设置于所述工作台面之上,所述显微镜头、点针头通过信号转换器与所述控制器连接,所述样品台包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台,所述第一样品台、第二样品台可活动地切换至所述工作台面上的工作位。进一步改进在于,所述工作位位于所述显微镜头的正下方,所述第一样品台、第二样品台通过可水平移动的基座设置于所述工作台面上,以使所述第一样品台、第二样品台中的其中一个位于所述工作位上。进一步改进在于,所述基座包括可水平旋转的基板,所述基板通过转轴设置于所述工作台面上。进一步改进在于,所述基座包括可水平直线移动的基板,所述基板通过线性导轨设置于所述工作台面上。进一步 ...
【技术保护点】
1.一种具有环境模拟的点针检测装置,其特征在于,包括控制器、屏蔽箱体、显微镜头、数组点针头、工作台面、样品台,所述控制器设置于所述屏蔽箱体外,所述工作台面设置于所述屏蔽箱体内,所述显微镜头、点针头分别通过支架设置于所述工作台面之上,所述显微镜头、点针头通过信号转换器与所述控制器连接,所述样品台包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台,所述第一样品台、第二样品台可活动地切换至所述工作台面上的工作位。
【技术特征摘要】
1.一种具有环境模拟的点针检测装置,其特征在于,包括控制器、屏蔽箱体、显微镜头、数组点针头、工作台面、样品台,所述控制器设置于所述屏蔽箱体外,所述工作台面设置于所述屏蔽箱体内,所述显微镜头、点针头分别通过支架设置于所述工作台面之上,所述显微镜头、点针头通过信号转换器与所述控制器连接,所述样品台包括具有加热板的第一样品台、具有制冷板的第二样品台,所述第一样品台、第二样品台可活动地切换至所述工作台面上的工作位。2.根据权利要求1所述的点针检测装置,其特征在于,所述工作位位于所述显微镜头的正下方,所述第一样品台、第二样品台通过可水平移动的基座设置于所述工作台面上,以使所述第一样品台、第二样品台中的其中一个位于所述工作位上。3.根据权...
【专利技术属性】
技术研发人员:尚跃,余夕霞,
申请(专利权)人:上海聚跃检测技术有限公司,
类型:新型
国别省市:上海,31
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