The invention discloses a method for cold bonding of quartz glass, which comprises the following steps: step 1: adding NaOH solution between two pieces of quartz glass and putting it into the mould; step 2: putting the mould of step 1 into the cold isostatic press to realize bonding; step 3: heating the quartz glass processed by the cold isostatic press at a heating temperature not exceeding 80 C. Compared with the traditional quartz glass wafer bonding technology, the invention has better mechanical properties, lower experimental temperature, and can meet the requirements of energy saving and environmental protection.
【技术实现步骤摘要】
一种石英玻璃冷连接方法
本专利技术涉及石英玻璃
，具体涉及一种石英玻璃冷连接方法。
技术介绍
石英玻璃是一种只含二氧化硅的非晶态材料，其微观结构是由二氧化硅四面体结构单元组成的网状结构。因为Si-O化学键的键能很高，结构也很紧密，所以石英玻璃具有非常好的力学性能。石英玻璃具有较低的热膨胀系数，高的耐温性(1100-1200℃)，极好的化学稳定性，对除氢氟酸、热磷酸以外的酸具有良好的耐腐蚀性；同时，它具有优良的电绝缘性、低而稳定的超声延迟性能、最佳的透紫外光谱性能以及透可见光及近红外光谱性能。因此，石英玻璃是近代尖端技术中空间技术、原子能工业、国防装备、自动化系统，以及半导体、冶金、化工、电光源、通讯、轻工、建材等工业中不可缺少的优良材料之一。虽然至今还没有实现SiO2-SiO2的键合，但是已经实现了Si-Si键合，但都是在高温条件下进行的。专利CN87108314提供了一种硅片键合方法，首先将两块硅片进行抛光处理，采用等离子体对硅片表面进行激活，然后将硅片浸入酸、碱表面活性剂溶液中，使硅片表面亲水；将硅片进行清洗、吹干，再把硅片面对面地装入夹具中夹紧，在20...
【技术保护点】
1.一种石英玻璃冷连接方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在两片石英玻璃之间滴加NaOH溶液后放入模具；步骤2：将步骤1的模具放入冷等静压机中实现键合；步骤3：将经过冷等静压机处理的石英玻璃加热，加热温度不超过80℃。
【技术特征摘要】
1.一种石英玻璃冷连接方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤1：在两片石英玻璃之间滴加NaOH溶液后放入模具；步骤2：将步骤1的模具放入冷等静压机中实现键合；步骤3：将经过冷等静压机处理的石英玻璃加热，加热温度不超过80℃。2.根据权利要求1所述的一种石英玻璃冷连接方法，其特征在于，上述石英玻璃为纯度为99.99％的石英玻璃片，并将石英玻璃片进行预处理，预处理为在酒精中超声清洗...
【专利技术属性】
技术研发人员：索尔沃托瑞·格拉索，胡春峰，朱德贵，柯道瑶，
申请(专利权)人：西南交通大学，
类型：发明
国别省市：四川,51
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