一种冗余压力传感器及制备方法技术

本发明专利技术公开了一种冗余压力传感器，包括弹性元件和引压元件，弹性元件的背面设有压力腔，压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片；压力腔正对的弹性元件的正面制备有多个相互独立的应变电桥；弹性元件的背面周侧与引压元件密封连接，引压元件上设置有与压力腔相连通的引压孔。本发明专利技术的压力传感器具有体积小、重量轻等优点。本发明专利技术还公开了一种制备方法，包括步骤：S01、在弹性元件的背面开设压力腔，压力腔与弹性元件的正面之间形成弹性膜片；S02、在弹性膜片上制作多个应变电桥，形成芯片；S03、将芯片中的弹性元件的背面周侧与引压元件焊接形成密封腔；S04、引线封装，完成装配。本发明专利技术的方法具有工艺简单、操作简便等优点。

【技术实现步骤摘要】
一种冗余压力传感器及制备方法
本专利技术主要涉及压力传感器
，特指一种冗余压力传感器及制备方法。
技术介绍
传感器信息通道的高可靠性是电子监测、控制系统等正常工作的前提保证，而传感器冗余设计与测量是提高可靠性的重要手段，可避免单信号采集传感器发生故障而导致的工作中断甚至损毁，造成不可挽回的重大经济损失与人员伤亡，在航空航天、兵器、船舶、工业等领域得到越来越多的应用。现有压力冗余测量设计，主要是采用双芯片或多芯片进行封装测量，甚至直接采用两个或多个传感器安装在同一管道接口4上测量，如图1所示，从而造成传感器冗余安装所需的体积和重量大，无法满足冗余设计对小体积、轻重量的发展需求。
技术实现思路
本专利技术要解决的技术问题就在于：针对现有技术存在的技术问题，本专利技术提供一种体积小、重量轻的冗余压力传感器，并相应提供一种操作简单、工艺简单的制备方法。为解决上述技术问题，本专利技术提出的技术方案为：一种冗余压力传感器，包括弹性元件和引压元件，所述弹性元件的背面设有盲孔以形成压力腔，所述压力腔与所述弹性元件的正面之间形成弹性膜片；所述压力腔正对的弹性元件的正面制备有多个相互独立的应变电桥；所本文档来自技高网...

【技术保护点】
1.一种冗余压力传感器，其特征在于，包括弹性元件(1)和引压元件(3)，所述弹性元件(1)的背面设有盲孔以形成压力腔(101)，所述压力腔(101)与所述弹性元件(1)的正面之间形成弹性膜片(102)；所述压力腔(101)正对的弹性元件(1)的正面制备有多个相互独立的应变电桥(2)；所述弹性元件(1)的背面周侧与所述引压元件(3)密封连接，所述引压元件(3)上设置有引压孔(301)，所述引压孔(301)与所述压力腔(101)相连通。

【技术特征摘要】
1.一种冗余压力传感器，其特征在于，包括弹性元件(1)和引压元件(3)，所述弹性元件(1)的背面设有盲孔以形成压力腔(101)，所述压力腔(101)与所述弹性元件(1)的正面之间形成弹性膜片(102)；所述压力腔(101)正对的弹性元件(1)的正面制备有多个相互独立的应变电桥(2)；所述弹性元件(1)的背面周侧与所述引压元件(3)密封连接，所述引压元件(3)上设置有引压孔(301)，所述引压孔(301)与所述压力腔(101)相连通。2.根据权利要求1所述的冗余压力传感器，其特征在于，所述压力腔(101)的数量为多个，各应变电桥(2)分别设置于各压力腔(101)对应的弹性膜片(102)上。3.根据权利要求2所述的冗余压力传感器，其特征在于，多个压力腔(101)相互独立且以所述弹性元件(1)的轴线为中心均匀分布在弹性元件(1)上。4.根据权利要求3所述的冗余压力传感器，其特征在于，所述盲孔的数量为三个。5.根据权利要求2至4中任意一项所述的冗余压力传感器，其特征在于，所述弹性...

【专利技术属性】
技术研发人员：蓝镇立，谢锋，周国方，谢明，
申请(专利权)人：中国电子科技集团公司第四十八研究所，
类型：发明
国别省市：湖南,43